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隨著大規(guī)模集成電路的不斷發(fā)展,電遷移引起的集成電路可靠性問題日益凸現(xiàn)。本文介紹了電遷移的基本理論,綜述了集成電路互連引線電遷移的研究進(jìn)展。研究表明,互連引線的尺寸、形狀和微觀組織結(jié)構(gòu)對電遷移有重要影響;溫度、電流密度、應(yīng)力梯度、合金元素及工作電流模式等也對電遷移壽命有重要影響。同時指出了電遷移研究亟待解決的問題。
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