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通過對(duì)幕墻鍍膜生產(chǎn)線的改造，用矩形平面磁控濺射靶大面積生產(chǎn)氧化銦錫（ＩＴＯ）膜，并對(duì)其主要工藝參數(shù)介紹了一些淺顯的看法。
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本設(shè)備采用二級(jí)計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制,本機(jī)分為自動(dòng)上板段清洗段,磁控鍍膜真空室段,自動(dòng)測(cè)量段及自動(dòng)裝卸段組成。鍍膜段又分成8個(gè)真空室,6個(gè)磁控靶組成,可以進(jìn)行三種膜系
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