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90°反射式相位延遲器的設(shè)計

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銅蒸氣激光反射鏡在非正入射的時候 ,兩個不同的偏振態(tài)之間會產(chǎn)生不同的相移。通過優(yōu)化設(shè)計 ,在4 90～ 5 30nm之間p、s波獲得了 90°的相移 ,同時也使反射率在 99 998%以上。Ag層的厚度對于相移不敏感 ,并且當(dāng)其厚度大于一定值的時候 ,對反射率沒有影響。根據(jù)誤差分析 ,制備薄膜時其沉積速率精度控制在± 1%以下 ,在光譜范圍內(nèi)能達到± 15 2 8°的相移誤差 ,相移均在 5 0 4nm處附近存在有一個收斂值。折射率的變化控制在± 1%以下 ,在光譜范圍內(nèi)能達到± 12 77°的相移誤差。最外一層厚度變化± 1% ,其相移變化達到± 5 5°,2～ 5層和 9～ 16層對相移的影響也在 0 .5°之上 ,其余各層對相移影響非常的小。使用時的入射角控制在± 1°時 ,在光譜范圍內(nèi)能達到± 2 .86°的相移誤差。在 5 30nm附近的波段對入射角不敏感。

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寬角度反射式相位延遲器的設(shè)計

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金屬增強型反射鏡在入射光非正入射的時候,兩個不同的偏振態(tài)之間會產(chǎn)生不同的相移。利用最優(yōu)技術(shù)設(shè)計了一種相位延遲器,其工作波長在640-670nm之間,入射角在40-50°范圍內(nèi)時,反射率>99%且相移為90°±20°。波長在670nm附近時相移對入射角不敏感。膜層厚度誤差對相移影響最大。

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