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更新時間：2025.03.29
MEMS國內外發(fā)展

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個人收集整理 僅供參考學習 MEMS 國內外發(fā)展狀況及我國 MEMS 發(fā)展戰(zhàn)略的思考 孫立寧 1，周兆英 2，龔振邦 3 (1. 哈爾濱工業(yè)大學 機器人研究所，黑龍江 哈爾濱 150001) (2. 清華大學 精密儀器系，北京 100084) (3. 上海大學，上海 200072) 摘要：針對國際 MEMS 發(fā)展趨勢和未來的產業(yè)化前景，結合我國 社會經濟發(fā)展的需要和國家競爭前的核心技術發(fā)展戰(zhàn)略，國家科技 部擬將 MEMS 確定為“十五”863計劃重大專項。針對這一形勢， 在前期 MEMS 發(fā)展戰(zhàn)略研究的基礎上，介紹了 MEMS 國內外發(fā)展 狀況，并對我國 MEMS 發(fā)展的總體目標、主要研究內容、預期成 果和運行機制等問題進行了探討，以期為開展 MEMS 的研究與開 發(fā)提供參考。 關鍵詞：微機電系統(tǒng)（ MEMS）；MEMS 器件；微系統(tǒng) 中 圖 分 類 號 ： TP242 文 獻 標

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