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更新時(shí)間:2024.12.29
觸針式輪廓儀彈性測(cè)量桿的設(shè)計(jì)

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針對(duì)傳統(tǒng)的觸針式輪廓儀杠桿式測(cè)量桿的轉(zhuǎn)動(dòng)支點(diǎn)由于滾動(dòng)體跳動(dòng)容易引入隨機(jī)誤差的問(wèn)題,提出并設(shè)計(jì)了一種基于彈性變形理論的輪廓儀測(cè)量桿。利用高精度電容傳感器測(cè)量測(cè)量桿的彈性變形量,然后利用懸臂梁的撓曲線公式求出觸針針尖的位移量從而得到待測(cè)面的微觀不平度信息,消除了杠桿式測(cè)量桿引入的隨機(jī)誤差,進(jìn)一步提高了粗糙度測(cè)量精度。

基于Wyko NT1100表面輪廓儀的光纖端面檢測(cè)

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采用表面輪廓儀測(cè)定了光纖和濕法刻蝕加工的單模與多模光纖端面粗糙度,并與光學(xué)顯微鏡檢測(cè)的結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。結(jié)果表明:表面輪廓儀表適合檢測(cè)光纖端面及刻蝕加工后的三維特征,反映濕法刻蝕加工光纖端面的刻蝕深度和微腔形貌。

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