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更新時(shí)間:2025.05.17
拋光石英玻璃亞表面缺陷研究

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針對拋光石英玻璃表面經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后,出現(xiàn)麻點(diǎn)、劃痕等缺陷;本文對出現(xiàn)的亞表面缺陷進(jìn)行了分類,并研究了各種缺陷經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后形態(tài)變化;結(jié)合石英玻璃加工過程對各類亞表缺陷的成因進(jìn)行了分析。

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針對拋光石英玻璃表面經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后,出現(xiàn)麻點(diǎn)、劃痕等缺陷;本文對出現(xiàn)的亞表面缺陷進(jìn)行了分類,并研究了各種缺陷經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后形態(tài)變化;結(jié)合石英玻璃加工過程對各類亞表缺陷的成因進(jìn)行了分析。

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