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更新時間：2024.12.28
CMP阻燃要求電線

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CMP 要求電線 阻燃電纜是指在規(guī)定試驗條件下， 樣品被燃燒， 在撤去試驗火源后， 殘焰或殘灼在限定 時間內(nèi)能自行熄滅的電纜。 阻燃電纜在火災(zāi)發(fā)生的情況下有可能被燒壞而不能運行， 但有時 能夠減緩火災(zāi)蔓延， 為直接有效地?fù)錅缁馂?zāi)， 減少人員傷亡和財產(chǎn)損失創(chuàng)造有利條件。 阻燃 電纜的基本結(jié)構(gòu)和普通電纜基本相同， 不同的是它的絕緣層、 護(hù)套、外護(hù)層以及輔助材料 (如 包帶和填充 )可能部分或全部采用阻燃材料。 愛達(dá)訊布線工程師認(rèn)為， 在綜合布線系統(tǒng)中， 雙絞線、 光纜最常見的材料就是聚氯乙烯 （PVC）、聚乙烯（PE）。PVC 和 PE 在火災(zāi)中分解、 氧化和燃燒時可以產(chǎn)生氯甲烷、 氯化氫、 苯、一氧化碳、 二氧化碳等多種有毒或腐蝕性產(chǎn)物，對人造成傷害。電纜涉及火災(zāi)安全的主 要技術(shù)指針是 電纜的阻燃性、煙霧的密度和氣體的有毒性。 UL 標(biāo)準(zhǔn)組織定義了以下幾個標(biāo)準(zhǔn)： CMP、CMR、CM、CMG

300mm銅膜低壓CMP速率及一致性

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隨著銅互連結(jié)構(gòu)中低k介質(zhì)的應(yīng)用,要求CMP拋光過程中必須將壓力減小到6.89kPa以下,傳統(tǒng)的化學(xué)機(jī)械拋光已不符合當(dāng)前的工藝要求,如何兼顧超低壓力下拋光速率和速率一致性成為關(guān)鍵問題。對300mm Blanket銅膜進(jìn)行了低壓化學(xué)機(jī)械拋光實驗,分析研究了堿性拋光液組分及拋光工藝參數(shù)對銅膜去除速率及其一致性的影響。通過實驗可得,在低壓力1kPa,流量200mL/min,轉(zhuǎn)速30r/min,氧化劑體積分?jǐn)?shù)2%,磨料體積分?jǐn)?shù)30%,螯合劑體積分?jǐn)?shù)3%時,拋光速率為330nm/min,表面非均勻性為0.049,拋光后表面粗糙度為0.772nm,得到了較為理想的實驗結(jié)果。

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