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采用PEV-1型壓電陶瓷閥作為濺射氣體Ar流量輸出的驅(qū)動元件,用于真空磁控濺射鍍膜中濺射氣體恒壓力控制。應(yīng)用過程中發(fā)現(xiàn)壓電陶瓷閥本身的遲滯特性和溫度特性對氣體輸出流量有較大影響。試驗(yàn)分析得到壓電陶瓷閥偏振電壓變化過程中,氣體輸出流量的遲滯曲線。當(dāng)壓電陶瓷閥環(huán)境溫度升高時(shí),該遲滯特性會減弱,氣體輸出流量隨偏振電壓變化速率變大。
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