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更新時(shí)間：2024.12.29
QSY，DSY透明石英玻璃儀器

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筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃儀器 本標(biāo)準(zhǔn)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學(xué)研 究等所用透明石英玻璃儀器之技術(shù)要求均可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。 透明石英玻璃儀器有 QSY 透明石英玻璃儀器和 DSY 透明石英玻璃儀器兩種。 技術(shù)要求 1．透明石英玻璃儀器的化學(xué)成分，熱穩(wěn)定性，抗結(jié)晶性和高溫變色性，均不低 于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應(yīng)盡量消除應(yīng)力，必須保證在常溫下逐步 升溫至 1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標(biāo)分為二級(jí)（見下表）。 項(xiàng) 目 一 級(jí) 二級(jí) 加工過程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允許數(shù)量（個(gè)/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口應(yīng)做到軸向平行

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筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃儀器 本標(biāo)準(zhǔn)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學(xué)研 究等所用透明石英玻璃儀器之技術(shù)要求均可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。 透明石英玻璃儀器有 QSY 透明石英玻璃儀器和 DSY 透明石英玻璃儀器兩種。 技術(shù)要求 1．透明石英玻璃儀器的化學(xué)成分，熱穩(wěn)定性，抗結(jié)晶性和高溫變色性，均不低 于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過程中，應(yīng)盡量消除應(yīng)力，必須保證在常溫下逐步 升溫至 1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標(biāo)分為二級(jí)（見下表）。 項(xiàng) 目 一 級(jí) 二級(jí) 加工過程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允許數(shù)量（個(gè)/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口應(yīng)做到軸向平行

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