和石英玻璃基片上膜真空紫外反射特性研究

石英玻璃介紹 石英玻璃是一種只含二氧化硅(sio2)單一成份的高純特種工業(yè) 技術(shù)玻璃。由于其具有其他材料不能取代的一系列特殊性能， 既非常低的熱導(dǎo)率，極好的抗熱振性，很高的變形溫度和軟化 溫度，很低的熱傳導(dǎo)能力，很低的介電損失和從紫外線到紅外 線的極寬的光譜范圍內(nèi)的光學(xué)透過能力。使其在現(xiàn)代工業(yè)和高 科技領(lǐng)域發(fā)揮了非常重要的作用。 力學(xué)性能 石英玻璃是脆硬材料，其抗拉強(qiáng)度很低而抗壓強(qiáng)度很高，后者是 前者的20倍。 性能名稱單位 機(jī)械性能 透明石英玻璃不透明石英玻 璃 密度克/厘米32.212.06~2.184 硬度莫氏5~75~6 抗壓強(qiáng)度公斤/厘米28000~10，0004134~8130 抗折強(qiáng)度公斤/厘米 2 600~700400~600 抗拉強(qiáng)度公斤/厘米2490350 抗沖擊強(qiáng)度公斤-厘米/厘 米 2 1.080

石英玻璃技術(shù) 摘要：石英玻璃是特種工業(yè)技術(shù)玻璃，由于其具有其他材料不能代替的特殊性能，在國民經(jīng)濟(jì)和國防建設(shè) 中起著非常重要的作用。本文試圖從使用石英玻璃的各領(lǐng)域來討論我國石英玻璃技術(shù)的現(xiàn)狀和未來發(fā)展方 向。 關(guān)鍵詞：石英玻璃技術(shù) 1電光源 電光源大量使用石英玻璃管，得益于電連熔技術(shù)和真空脫羥技術(shù)的發(fā)展，我國可以生產(chǎn)供照明電光源 用的石英玻璃管，年產(chǎn)量達(dá)到兩萬余噸，產(chǎn)值約6億元人民幣，產(chǎn)品大量出口。我國從2o世紀(jì)70年代起就 開始研制石英玻璃連熔工藝，進(jìn)展較慢。1991年從英國bg公司引進(jìn)連熔爐，仿制、改進(jìn)20多套，在江蘇東 海建立了電連熔基地，照明電光源用石英玻璃才有了飛躍性的發(fā)展。在特種電光源用石英玻璃管方面主要 有用于紫外殺菌燈，紫外光固化燈，紅外加熱燈等的透明和乳白管，產(chǎn)量較前者為少。中國建材院先后研 制出，摻鈦石英玻璃、摻鈰石英玻璃、濾紫外石英玻璃等系列產(chǎn)品，為制造

石英玻璃 石英玻璃管 二氧化硅單一組分的玻璃。這種玻璃硬度大可達(dá)莫氏七級(jí)，具有耐高溫、膨脹系數(shù)低、耐熱 震性、化學(xué)穩(wěn)定性和電絕緣性能良好，并能透過紫外線和紅外線。除氫氟酸、熱磷酸外，對(duì) 一般酸有較好的耐酸性。按透明度分為透明和不透明兩大類。按純度分為高純、普通和摻雜 三類。用水晶，硅石，硅化物為原料，經(jīng)高溫熔化或化學(xué)氣相沉積而成。熔制方法有電熔法、 氣煉法等。 目錄 基本概述 純度 失透性 化學(xué)性能 離子擴(kuò)散及透氣性 電學(xué)性能 光學(xué)性能 熱學(xué)性能 石英玻璃 基本概述 簡(jiǎn)介 外文名稱：quartzglass；silicaglass；fusedquartz；fusedsilica；vycorglasses 形成用途 石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光 源器、半導(dǎo)通信裝置、激光器，光學(xué)儀器

石英玻璃 石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結(jié)果。用于制作半導(dǎo)體、電光源器、半導(dǎo)通信裝置、激 光器、光學(xué)儀器、實(shí)驗(yàn)室儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器、化工、電子、冶金、建 材以及國防等工業(yè)，應(yīng)用十分廣泛。高純石英玻璃可制光導(dǎo)纖維。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如，直拉法把多晶轉(zhuǎn)化成單 晶硅；清洗時(shí)用的清洗槽；擴(kuò)散時(shí)用的擴(kuò)散管、刻槽舟；離子注入時(shí)用的鐘罩等等。 石英玻璃是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不同，國外常常叫做硅酸玻 璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英，以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。 我國統(tǒng)稱石英玻璃，多按工藝方法、用途及外觀來分類，如電熔透明石英玻璃、連熔石英玻璃、氣煉透明 石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光學(xué)石英玻璃、半導(dǎo)體用石英玻璃、電光源用石英玻

石英玻璃參數(shù) 光學(xué)石英玻璃牌號(hào)與名稱 牌號(hào)名稱應(yīng)用光譜波段范圍（μｍ） jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃0.185――2.5 jgs2紫外光學(xué)石英玻璃0.220――2.5 jgs3紅外光學(xué)石英玻璃0.260――3.5 jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃分類 類別厚度10mm毛坯的透過率（%） 0.185μｍ0.200μｍ0.220μｍ0.240μｍ0.300μｍ0.185－1.2μｍ 1＞85＞85＞85＞87＞90無吸收峰 2＞70＞80＞80＞80＞85無吸收峰 3＞70＞70＞70＞80允許有吸收峰 jgs2遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃分類 類別厚度10mm毛坯的透過率（%） 0.220μｍ0.240μｍ0.300μｍ 1＞80＞75＞80 2＞75＞70＞75 3＞65＞70 jgs3

石英玻璃 石英玻璃是由二氧化硅單一組分組成的玻璃。這種玻璃硬度大可達(dá)莫氏七級(jí)，膨脹系數(shù)低， 耐高溫，化學(xué)穩(wěn)定性、電絕緣性都比較好，除氫氟酸、熱磷酸外，對(duì)一般酸有較好的耐酸性。 透明的石英玻璃有良好的透紫外線性能和光學(xué)性能。用于制造光學(xué)儀器、電學(xué)設(shè)備、醫(yī)療設(shè) 備和耐高溫耐腐蝕的化學(xué)儀器。高純石英玻璃可制光導(dǎo)纖維。 隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，石英玻璃被廣泛的用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的各項(xiàng)工序中。比如，直拉 法把多晶轉(zhuǎn)化成單晶硅；清洗時(shí)用的清洗槽；擴(kuò)散時(shí)用的擴(kuò)散管、刻槽舟；離子注入時(shí)用的 鐘罩等等。石英玻璃是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于種類、工藝、原料的不 同，國外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔融石英、熔凝石英、合成熔融石英， 以及沒有明確概念的透明、半透明、不透明石英等。我國統(tǒng)稱石英玻璃，多按工藝方法、用 途及外觀來分類，如電熔透明石英玻璃、

紫外殺菌燈用石英玻璃的生產(chǎn)與質(zhì)量

石英、水晶和石英玻璃的聯(lián)系與區(qū)別 石英: 石英，一般指低溫石英（α-石英），是石英族礦物中分布最廣的一個(gè)礦物。廣義的 石英還包括高溫石英（β-石英）、柯石英等。主要成分是sio2，無色透明，常 含有少量雜質(zhì)成分而變?yōu)榘胪该骰虿煌该鞯木w。 石英礦石石英砂 水晶： 天然水晶屬于石英的一種，是一種無色透明的石英結(jié)晶體礦物，它的主要化學(xué) 成分是二氧化硅(含量大于99.9%)，當(dāng)二氧化硅結(jié)晶完美時(shí)就是水晶。 自然界中部分水晶因含有其他微量元素而呈現(xiàn)出不同顏色。 無色水晶有色水晶 石英玻璃: 石英玻璃是玻璃態(tài)的二氧化硅(高純石英玻璃sio2含量大于99.9999%)，與晶 體中原子呈現(xiàn)規(guī)律周期排列不同的是，玻璃中的原子排列是近程有序遠(yuǎn)程無序。人們 通常所說的玻璃(普通玻璃)主要成分是硅酸鈉、二氧化硅和硅酸鈣，而石英玻璃的主要 成分是二氧化硅。 石英晶體：s

石英玻璃化學(xué)性能 石英玻璃具有高度的化學(xué)穩(wěn)定性，除氫氟酸和熱磷酸外，不僅在常溫下，而且在高溫下也耐各種 酸、王水、中性鹽、硫和碳的侵蝕，化學(xué)穩(wěn)定性比鎳鉻合金和陶瓷大150倍，是最好的耐酸材料。 石英玻璃屬酸性物質(zhì)，在耐堿性與乃耐堿性鹽方面比較差，能與此類型試劑生成可溶性硅酸鹽， 故不適用于制造強(qiáng)堿性反應(yīng)的儀器。 在800oc以下，除pbo以外，石英玻璃實(shí)際上不受金屬氧化物侵蝕；800 o c以上與zno、r2o(r表 示堿金屬)起反應(yīng)；900oc以上與bao、mgo、fe2o3起反應(yīng)。1000oc以上與ai2o3、cao起反應(yīng)。熔融 金屬對(duì)石英玻璃的侵蝕性是不同的，對(duì)ag、au、cd、hg、pt、mo、sn、w、zn耐侵蝕，與ca在600oc 以上起反應(yīng)，與al、le、mg在800oc以上起反應(yīng)，而與li在250oc以上即起反應(yīng)。硅對(duì)石英玻璃有侵 蝕，

石英玻璃的定義與性質(zhì) 石英玻璃是一種只含二氧化硅單一成份的特種玻璃。由于 種類、工藝、原料 ，國外常常叫做硅酸玻璃、石英玻璃、熔融石英、熔凝石 英、合成熔融石英，以及沒有明確概念的透明、半透明、 不透明石英等。我國統(tǒng)稱石英玻璃，多按工藝方法、用途 及外觀來分類，如電熔透明石英玻璃、連熔石英玻璃、氣 煉透明石英玻璃、合成石英玻璃、不透明石英玻璃、光學(xué) 石英玻璃、半導(dǎo)體用石英玻璃、電光源用石英玻璃等。人 們習(xí)慣于用“石英”這樣一個(gè)簡(jiǎn)單的詞匯來命名這種材料， 這是絕對(duì)不妥的，因?yàn)椤笆ⅰ笔嵌趸杞Y(jié)晶態(tài)的一種 通稱，它與玻璃態(tài)二氧化硅在理化性質(zhì)上是有區(qū)別的。石 英玻璃是用天然結(jié)晶石英（水晶或純的硅石），或合成硅 烷經(jīng)高溫熔制而成 。熔融后的產(chǎn)品具有極好的加工性能，在極高的粘度范圍 內(nèi)，可以將管和棒進(jìn)行有如普通玻璃細(xì)工一樣的熱加工， 還可以用金剛石或碳化硅

筑神-建筑下載:http://www.***.*** qsd低膨脹石英玻璃管 本標(biāo)準(zhǔn)適用于高精度要求的穩(wěn)功率、穩(wěn)頻氦氖激光器等用低膨脹石英玻璃管，根 據(jù)使用要求分為管材和器件兩種。 一、技術(shù)要求 1．物理、化學(xué)性能指標(biāo) （1）化學(xué)成分 a．管材 （a）低膨脹石英玻璃管中二氧化鈦含量控制范圍7.5±0．6％（重量）。 （b）低膨脹石英玻璃，其他鋁、鈣、鎂、銅、鐵、鉆、鎳、錳、硼、鉀、鈉、 鋰十二個(gè)雜質(zhì)元素的總含量不得大于0．005％。 b．器件 （a）低膨脹石英玻璃管制成的器件的化學(xué)成分，不低于管材的要求。 （b）低膨脹石英玻璃管焊接處，應(yīng)采用三檔過渡玻璃，其二氧化鈦含量為2±0．3 ％，4±0．3％，6±0．3％（重量）。 （2）膨脹系數(shù) a．管材 試樣在室溫到100℃溫度范圍，膨脹系數(shù)不大于±1×10[

筑神-建筑下載:http://www.***.*** tst石英玻璃彈簧 本標(biāo)準(zhǔn)適用于高溫精密測(cè)重儀石英玻璃彈簧。 一、技術(shù)要求 1．化學(xué)成分 鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含 量不大于0．02％。 2．外觀指標(biāo) （1）彈簧絲徑要光滑、整潔，無氣泡、氣線。 （2）彈簧自由下垂螺矩均勻遞變。 3．彈簧按性能分為二級(jí)（見表1）。 表１ 項(xiàng)目一級(jí)二級(jí) 荷重（克）0.5-22.1-3 靈敏度（毫米/毫克）0.1-1.01.1-3.5 感量（毫克/毫米）1-10〉10 二、規(guī)格尺寸 4．規(guī)格尺寸應(yīng)符合表2規(guī)定。 表２ 項(xiàng)目規(guī)格 彈簧螺旋直徑（毫米）8、10、12、14、16、20、25 彈簧絲直徑（毫米）0.1-0.35 圈

石英玻璃電學(xué)性能 石英玻璃具有很高的介電強(qiáng)度，很低的電導(dǎo)率與介電損失，即使在高溫時(shí)，其電導(dǎo)率與 介電損失也較一般材料低，特別適合高溫高機(jī)械應(yīng)力條件下作高頻和電壓絕緣材料。 電導(dǎo)率在20oc時(shí)，透明石英玻璃的電導(dǎo)率為10-17-10-16西/米，不透明石英玻璃的電導(dǎo) 率為10-14-3.2×10-13西/米，其值與石英玻璃的純度有關(guān)。 介電常數(shù)在常溫和0-106赫茲頻率下，透明石英玻璃的介電常數(shù)為3.70；不透明石英 玻璃為3.50，溫度升高，介電常數(shù)略有增加，到450oc以后，介電常數(shù)顯著增加。 介電損失石英玻璃的介電損失與溫度的關(guān)系是隨溫度的升高，介電損失增加，在350oc 以上，介電損失隨溫度的升高而增加更為顯著。 石英玻璃的介電損失 品種 在不同頻率下的介電損失tgδ 103hz107hz108hz109hz

本文采用靜壓軸承原理,研制開發(fā)了彎曲度檢測(cè)儀,并提出了石英玻璃棒彎曲度檢測(cè)工藝。

1 石英玻璃的性能詳解 石英玻璃是二氧化硅單一成份的玻璃，通常分為透明石英玻璃和不透明石英玻璃（熔融石英）兩大類。 透明石英玻璃只有極少量氣泡，有相當(dāng)高的光學(xué)均勻性和透明度，由水晶或四氯化硅為原料，經(jīng)高溫熔制 而成,sio2含量在99.95%以上，高純石英玻璃喊99.999%以上，不透明石英玻璃是脈石英、石英砂為原料， 經(jīng)高溫熔制而成，含sio299.5%以上。 由于石英玻璃是由單純（sio4）四面體組成的網(wǎng)絡(luò)骨架，而硅氧氣鍵強(qiáng)很大，結(jié)構(gòu)緊密，故機(jī)械強(qiáng)度、 耐熱性能很高，熱膨脹系數(shù)很小，化學(xué)穩(wěn)定性也很好，同時(shí)，粘度大，軟化點(diǎn)也很高，由于網(wǎng)絡(luò)中無填隙 的陽離子，所以密度小、導(dǎo)電率、介質(zhì)損失也很小。 石英玻璃的機(jī)械性能比硬質(zhì)玻璃和陶瓷都好，新拉的無缺陷石英玻璃纖維強(qiáng)度為24100×106帕，直徑 不大的石英管及石英玻璃設(shè)備可耐很大的壓力，石英玻璃制品中如有宏觀缺陷，如氣泡

石英玻璃的特點(diǎn)與應(yīng)用?。?發(fā)布者：江蘇省金壇市晶玻實(shí)驗(yàn)儀器廠(iso9001:2000認(rèn)證企業(yè)）發(fā)布時(shí)間：2007年9 月28日 audolook6.0下載 石英玻璃是以含二氧化硅物質(zhì)，如水晶、硅石。四氧化硅為原料高溫熔制而成。 其二氧化硅含量比普通玻璃高得多，一般石英玻璃二氧化硅含量在99.999%。 石英玻璃具有優(yōu)異的光學(xué)性能，不僅可見光透光度特別好，而且透紫外線，紅外線。 石英玻璃是良好的耐酸材料，除氫氟酸和300度以上的熱磷酸外，在高溫下，它能耐硫 酸，硝酸，鹽酸，王水，中性鹽類，碳和硫等侵蝕，其化學(xué)穩(wěn)定性相當(dāng)于耐酸陶瓷的30倍， 相當(dāng)于鎳鉻合金和陶瓷的150倍，它耐高溫，耐熱震，熱膨脹系數(shù)特別小。 石英玻璃電學(xué)性能極佳，在常溫下，它的電阻相當(dāng)于普通玻璃的10倍，對(duì)全部頻率的介 電損失很微小，絕緣耐壓強(qiáng)度大。 石英玻璃還具有耐宇宙放射線，和不透原子核

第一章石英玻璃

氙燈光泵的紫外輻射在固體激光器中是十分有害的.因?yàn)樽贤廨椛涫闺療舻氖⒐鼙诋a(chǎn)生“色心”,導(dǎo)致燈的壽命縮短;同時(shí)亦使工作物質(zhì)著色,引起激光輸出的下降.近年來,在北京建材研究院和上海石英玻璃廠

筑神-建筑下載:http://www.***.*** 光學(xué)石英玻璃 一、牌號(hào)、名稱與類別 1．光學(xué)石英玻璃的牌號(hào)與名稱（見表1）。 表１ 牌號(hào)名稱應(yīng)用光譜波段（毫微米） jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃185￣2500 jgs2紫外光學(xué)石英玻璃220￣2500 jgs3紅外光學(xué)石英玻璃260￣3500 注：可見光不學(xué)石英玻璃可在以上三種牌號(hào)內(nèi)任意選擇。 2．光學(xué)石英玻慶投下列各項(xiàng)質(zhì)量指標(biāo)分類和定級(jí)。 （1）光譜特性：分三類； （2）光學(xué)均勻性：分五類。 （3）雙折射：分五類； （4）條紋：分三類和三級(jí)； （5）顆叔不均勻性：分三類； （6）氣泡：分七類； （7）熒光特性：分二類。 3．光譜特性 （1）jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃按光譜特性分為三類（見表2）。 表２ 厚度10

精品資料 《石英玻璃加工》講課提綱 一、石英玻璃的基本特性 1.組分單一sio2 定義：sio2含99.5%以上的玻璃體稱為石英玻璃；不透明石英玻璃 sio2含99.5％；氣煉石英玻璃99.97％；電子級(jí)石英玻璃99.99%；高 級(jí)石英玻璃99.999％以上；最高級(jí)99.9999%，heraeus產(chǎn)品。 石英玻璃（quartzglasss，fusedquartz）分玻璃；國際上也稱硅玻 璃silicaglass。 一般的講：根據(jù)原料不同，稱法也不一樣 天然石英晶體（水晶）fusedquartz 天然石英礦石（硅石）fusedsilica 人工合成石英晶體syntheticquartz 人工合成硅的鹵化物sisyntheticquartz 可以根據(jù)對(duì)方提供的圖紙上的材料一攔說明，認(rèn)出是何種石英玻 璃。 2.

光學(xué)石英玻璃

光學(xué)石英玻璃標(biāo)準(zhǔn) 一、牌號(hào)、名稱與類別 1．光學(xué)石英玻璃的牌號(hào)與名稱（見表1）。 表１ 牌號(hào)名稱應(yīng)用光譜波段（毫微米） jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃185?2500 jgs2紫外光學(xué)石英玻璃220?2500 jgs3紅外光學(xué)石英玻璃260?3500 注：可見光不學(xué)石英玻璃可在以上三種牌號(hào)內(nèi)任意選擇。 2．光學(xué)石英玻慶投下列各項(xiàng)質(zhì)量指標(biāo)分類和定級(jí)。 （1）光譜特性：分三類； （2）光學(xué)均勻性：分五類。 （3）雙折射：分五類； （4）條紋：分三類和三級(jí)； （5）顆叔不均勻性：分三類； （6）氣泡：分七類； （7）熒光特性：分二類。 3．光譜特性 （1）jgs1遠(yuǎn)紫外光學(xué)石英玻璃按光譜特性分為三類（見表2）。 表２ 厚度10毫米毛坯的透過率（％） 類別185200220240300185?1200 1