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更新時間：2025.01.04
無塵室的天花板、地板及墻

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無塵室的天花板、地板及牆 無塵室有五個特性 : (l) 耐久性。(2)成本。 (3) 適應性。 (4) 可維護性 。 (5)清洗 。 (1)耐久性: 無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統(tǒng) 的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇 鋁，基於它的耐久性，然而，它不是便宜的物質(zhì)。 (2)清洗: 在製藥和生物工學工業(yè)，無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止 濾過性病毒或細菌的污染之特性。在 biotech 市場，清洗真正地是一個最重要 的企業(yè)。 (3)成本: 微電子 C/R 建設費可能花費到$10 億。fab 能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就 能更快達到這市場。 許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 " 錢" 將 成為一個很重要的考慮因素。 (4)適應性: 一些廠商認為適應性可節(jié)省一筆金錢 ，而適

無塵車間百級送風天花的設計

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洲上凈化 1 無塵車間百級送風天花的設計 百級送風天花即滿布高效過濾器的送風頂棚， 有多種形式， 本設計采用液槽密封形式的 送風天花。目前，液槽密封結(jié)構(gòu)有兩種形式。其一，高效過濾器上裝，即帶液槽的高效過濾 器從上部裝入與之配套的框架刀口上， 依靠高效過濾器邊框液槽內(nèi)的密封膠與框架刀口來實 施對氣流的密封。這種結(jié)構(gòu)需要的靜壓箱高度較大，否則，高效過濾器調(diào)轉(zhuǎn)不開。 雖然高效 過濾器在刀口框架上方， 但并非在吊頂夾層內(nèi)安裝， 而是在潔凈室內(nèi)把高效過濾器穿過框架 口伸入靜壓箱后再轉(zhuǎn)向放于框架的刀口上。所以， 夾層空間小的話，高效過濾器轉(zhuǎn)不開。 其 二，高效過濾器下裝，即高效過濾器帶液槽的邊在下方， 帶刀口的框架位于液槽的上方， 與 第一種情況正好相反， 框架的刀口向下， 把高效過濾器伸入靜壓箱內(nèi)， 液槽邊在刀口正下方， 用壓件托住高效過濾器， 使其邊框液槽與刀口接觸來密封空氣， 高效過濾器的重量

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