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提出了一種低成本的由壓電材料驅(qū)動(dòng)的平面擴(kuò)張/收縮管無閥微泵的制作工藝。通過數(shù)值模擬確定了擴(kuò)張/收縮管擴(kuò)張角的最優(yōu)值,在此基礎(chǔ)上,采用光刻和濕法刻蝕工藝,刻蝕了300μm深的泵腔基片和100μm深的蓋片;使用等離子體清洗技術(shù)將其與PDMS薄膜鍵合,完成了可以實(shí)現(xiàn)單向泵送的壓電無閥微泵樣機(jī)制作。研究了該壓電無閥微泵樣機(jī)的性能,分別分析了壓電振子的激勵(lì)頻率、電壓和微泵背壓對(duì)其流量的影響。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:在100 V,110 Hz交流方波電壓信號(hào)的作用下,微泵有最大輸出流量為436μL/min,最大背壓為620 Pa。
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1 第一章 繼電保護(hù)整定計(jì)算的準(zhǔn)備 1、整定計(jì)算的具體任務(wù) 有以下幾點(diǎn): ⑴維持電力系統(tǒng)接線圖 ⑵繪制電力系統(tǒng)阻抗圖 ⑶建立系統(tǒng)參數(shù)表 ⑷建立電流、電壓互感器參數(shù)表 ⑸確定繼電保護(hù)整定需要滿足的電力系統(tǒng)規(guī)模及運(yùn)行方式變化 ⑹電力系統(tǒng)各點(diǎn)短路計(jì)算 ⑺建立各種繼電保護(hù)整定表 如圖所示 電力系統(tǒng)接線圖 正序阻抗圖 2、 整定計(jì)算的準(zhǔn)備工作 ⑴首先了解掌握電力系統(tǒng)情況并建立技術(shù)檔案 (建立發(fā)電機(jī)、 變壓器、輸電 線路及保護(hù)用的電流、電壓互感器技術(shù)檔案) 。 ⑵了解掌握繼電保護(hù)情況和圖紙資料。 需要掌握的繼電保護(hù)內(nèi)容主要有: 原 理展開圖、有關(guān)的二次回路、盤面布置圖、繼電保護(hù)的技術(shù)說明書等等。 ⑶繪制阻抗圖。阻抗圖一般分為正序、負(fù)序、零序阻抗圖三部分、阻抗圖一 般是采用標(biāo)么值。 ⑷確定電力系統(tǒng)運(yùn)行方式, 研究確定電力系統(tǒng)運(yùn)行方式是繼電保護(hù)整定計(jì)算 的先決條件。就是要確定可能出現(xiàn)的最大、最小運(yùn)行方式
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