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為準確測量上海光源軟X射線譜學顯微光束線采用的變包含角平面光柵單色儀的轉角重復精度,提出了一種新的基于相位板衍射準直技術的測量方法。該方法將半導體激光單模光纖和相位板衍射準直技術結合起來,利用面陣CCD采集圖像,通過測量光斑的位移變化確定平面鏡和光柵的角度變化。實驗表明,該方法可以測量掠入射情況下單色儀聯(lián)動時的轉角重復精度,測量精度可達±0.1″,此測量精度優(yōu)于同等實驗條件下的商用ELCOMAT3000自準直儀的測量精度。
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