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純相、高致密度、結(jié)晶良好的陶瓷靶材是物理氣相沉積薄膜的前提。采用熱壓燒結(jié)方法制備鈦酸鉍(Bi4Ti3O12)陶瓷靶材,重點研究了制備工藝對靶材的物相、微觀結(jié)構(gòu)和致密度的影響。以Bi2O3和TiO2微粉為原料,采用固相反應(yīng)法,在800℃合成出純相的Bi4Ti3O12粉體;加入過量3wt%的Bi2O3,可以有效防止燒結(jié)過程中因Bi揮發(fā)所產(chǎn)生的雜相,得到純相的Bi4Ti3O12陶瓷;采用熱壓燒結(jié)方法,進一步實現(xiàn)了Bi4Ti3O12粉體的致密燒結(jié),確定了適宜的制備條件為850℃,30MPa,2h,在該條件下制備的Bi4Ti3O12陶瓷致密度達到99%,晶粒呈片層狀,大小約2~4μm,可滿足靶材制備薄膜的需求。