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本文研究了一種新型的硅光電探測器(即智能探測器),它使用CMOS兼容工藝,將光電二極管陣列與信號的放大、處理電路及輸出電路集成在一個芯片上,在輸入光信號的同時在輸出端即可得到串行的電信號。該芯片具有噪聲低,速度快,用途廣泛等特點。對芯片的測試結(jié)果表明,智能探測器的電路設(shè)計和工藝設(shè)計均取得初步成功,基本達到預(yù)期的設(shè)計目標。
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