13.4nm軟X射線干涉光刻透射光柵的優(yōu)化設(shè)計

分參數(shù)測量ａｌ衰減膜的質(zhì)量厚度和氧化層后，通過計算到了ａｌ膜的透過率。為檢驗計算結(jié)果的正確性，在北京同步輻射軟ｘ光反射率裝置上進(jìn)行ａｌ衰減膜透過率的直接測量。二者的結(jié)果在最大偏差１１％范圍內(nèi)符合。

介紹了光柵光譜儀的工作原理,并介紹了光柵的主要性能。通過光譜儀拍攝光譜,計算出玻璃的透射率,最終換算出其透射系數(shù)。

介紹紫外光刻法制作微納光纖布喇格光柵(mf-bg)的制作工藝,測量并分析不同直徑的微納光纖布喇格光柵的反射譜。數(shù)據(jù)表明隨著微納光纖的直徑變小,光纖光柵的中心波長藍(lán)移且反射強度也隨之減小。仿真計算微納光纖的有效折射率和光纖纖芯的束縛能力(即基模分布在纖芯的能量與基模全部能量的比值),來解釋上述變化。

提出了雙光柵平場全息凹面光柵光譜儀的優(yōu)化設(shè)計方法。將使用波段一分為二,由兩個使用結(jié)構(gòu)相同的平場全息凹面光柵分別進(jìn)行光譜成像以達(dá)到提高光譜分辨率的目的。根據(jù)全息凹面光柵像差理論,對光柵的使用結(jié)構(gòu)和兩光柵各自的制作結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化求解以校正離焦、像散、彗差和球差等各種像差。據(jù)此原理設(shè)計了工作波段為200~800nm、探測器長度25mm的雙光柵平場光譜儀。兩光柵的工作波段分別為200~400nm和400~800nm,像面上光譜像的全寬度分別優(yōu)于0.83nm和1.68nm。通過與相同設(shè)計指標(biāo)的單光柵平場光譜儀進(jìn)行比較,證明采用雙光柵的設(shè)計方案能夠有效地改善平場全息凹面光柵光譜儀的光譜分辨率。

摻tm3+光纖激光器在工業(yè)、醫(yī)療、科技及軍事領(lǐng)域具有重要應(yīng)用前景。光纖布拉格光柵(fbg)是構(gòu)成光纖激光器的重要元件。但摻tm3+光纖不具備光敏性,利用紫外脈沖激光很難在其中刻寫fbg,即使采用增敏技術(shù)提高其光敏性,獲得的fbg的折射率調(diào)制量也很小,尚不能滿足應(yīng)用要求,阻礙了摻tm3+光纖激光器全光纖化的發(fā)展。以相位掩模法的基本原理為基礎(chǔ),從理論上分析了以飛秒激光為刻寫光源的技術(shù)要點,總結(jié)出與傳統(tǒng)紫外激光刻寫技術(shù)之間的差異及需要注意的問題。建立了飛秒激光相位掩模法刻寫光纖光柵的實驗系統(tǒng),利用飛秒激光相位掩模法在非光敏光纖上刻寫bragg光柵,在非光敏摻tm3+硅基光纖上獲得了衍射階次為二的光纖bragg光柵,并給出了顯微鏡下觀察到的光柵結(jié)構(gòu)。實驗結(jié)果證明:飛秒激光可以將fbg刻寫入非光敏性硅基光纖,并且具有成柵時間短的優(yōu)點。

實驗室測量金屬的線脹系數(shù)普遍采用的是光杠桿法,經(jīng)實驗證明光杠桿法存在偶然誤差大、測量精度低、占地空間大等問題,通過利用劈尖的等厚干涉法能夠很好地解決光杠桿法存在的問題.新方法具有溫升范圍小、加熱功率低、測量精度高、操作簡單直觀、占地空間小等優(yōu)點,便于實際教學(xué)中教師的講解、示教和演示,有利于學(xué)生綜合應(yīng)用知識,提高綜合設(shè)計實驗的能力.

丹東海浩電子科技有限公司電話：0415-6188898 傳真：0415-6138898 德國沃克斯（x-rayworx)透射式微焦點射線源the 德國worx 產(chǎn)品描述：沃克斯（x-rayworx）依托其工程師在微焦 點射線源長期工作經(jīng)驗的基礎(chǔ)，對微焦點的射線管進(jìn)行了新的改進(jìn)， 使其得到全新的發(fā)展，做出了更具有競爭力的微焦點射線源。 公司簡介 沃克斯（x-rayworx）依托其工程師在微焦點射線源長期工作經(jīng)驗的基礎(chǔ)，對 微焦點的射線管進(jìn)行了新的改進(jìn)，使其得到全新的發(fā)展，做出了更具有競爭力的 微焦點射線源，分辨率可以達(dá)到亞微米級，小于200納米的精度，功率更高， 使其應(yīng)用范圍更加廣泛，使用質(zhì)量最好的材料制造，更加耐用，輸出更加穩(wěn)定。 產(chǎn)品特點 靶功率最高可達(dá)25w 高分辨率、高靶功率、高放大倍率的完美結(jié)合 丹東海浩電子科技有限公司電話：0415-6188

根據(jù)導(dǎo)波光的微擾理論得到了線雙折射磁光光纖光柵中導(dǎo)波光耦合模方程,并給出了其解析解。借助于歸一化斯托克斯參量,研究了線雙折射與磁圓雙折射對光纖光柵中光偏振態(tài)的影響。研究表明,線雙折射磁光光纖光柵中存在左旋和右旋兩個本征的橢圓光偏振態(tài),線雙折射或磁圓雙折射的大小只引起本征偏振態(tài)橢圓率的變化,而不改變主軸方位角。通過調(diào)節(jié)磁光光纖光柵中兩種雙折射的相對大小可方便地控制輸出導(dǎo)波光的偏振態(tài),從而使磁光光纖光柵在光纖通信與傳感中具有廣泛的潛在應(yīng)用。

伴隨著國內(nèi)市場競爭的日趨激烈,常規(guī)的mpw(多項目晶圓)布局也不能滿足客戶的要求,同時也不能最大限度地降低設(shè)計公司的研發(fā)成本,也不利于國內(nèi)foundry廠市場的開拓。鑒于此,文章著重提出了利用光刻機擋板把光罩進(jìn)行區(qū)域劃分,在不增加流片和滿足客戶要求的前提下,使光罩得到最大限度的利用,降低了客戶的流片費用。通過在15cm片上流片驗證,更加突出了此優(yōu)化光罩布局的方法在研發(fā)成本和滿足客戶要求等方面的優(yōu)越性,因而這種布局對我國集成電路的發(fā)展和新產(chǎn)品的研發(fā)工作,特別是對國內(nèi)中小企業(yè)的成長提供了有力的支持,也為foundry廠贏得市場提供了重要的手段。

從勢透射率的概念出發(fā)，首先從理論上確定誘導(dǎo)透射濾光片金屬膜層的厚度。然后介紹誘導(dǎo)透射濾光片的一般設(shè)計方法。該方法適合于紫外、可見及紅外各個波段，間隔層可選；取任意材料。還對帶寬壓縮和背景抑制進(jìn)行研究，并介紹幾種有實用價值的方法。

依勢透射率的概念從理上確定了誘導(dǎo)透射濾光片金屬膜層的厚度，免去了傳統(tǒng)方法中繁鎖的修正工作。再根據(jù)特征矩陣的概念進(jìn)行誘導(dǎo)透射濾光片的精確設(shè)計。該方法的間隔層適合任意材料。文中還對帶寬的壓縮和背景的抑制進(jìn)行了討論。

為完成快速、精確的外觀輪廓度量,設(shè)計了一種新型納米級精度分光路雙頻干涉度量系統(tǒng)。系統(tǒng)由低頻差雙頻激光干涉度量模塊和微探頭及二維工作臺兩部分組成。微探針以輕敲式接近樣品至幾十納米時,受原子力作用發(fā)生偏轉(zhuǎn),利用雙頻干涉模塊度量其縱向偏轉(zhuǎn)量,并對樣品進(jìn)行梳狀式度量得到外觀形貌。根據(jù)雙頻激光的實際光源,對原有雙頻干涉度量理論進(jìn)行了改進(jìn)提高。進(jìn)行了系統(tǒng)組建和實驗驗證。結(jié)果表明:系統(tǒng)具有納米級精度,可用于超精樣品外觀輪廓度量。

利用溫度對相位調(diào)制的全光纖mach-zehnder結(jié)構(gòu)型溫度傳感器,采用ccd攝像頭與小型電視連接的辦法來觀察干涉條紋的移動,并給出溫度變化與干涉條紋移動數(shù)的關(guān)系,以及敏感長度與靈敏度的關(guān)系,進(jìn)一步了解干涉儀作為溫度傳感器的參數(shù)特性及其作為一臺測量儀器的定標(biāo)。

分段切趾是光纖光柵一種新的切趾改進(jìn)技術(shù)。針對線性啁啾光纖bragg分段切趾的兩個重要參數(shù):分段切趾比例和分段切趾強度進(jìn)行討論?；跀?shù)值模擬的結(jié)果,以三分段切趾為例,分析兩個參數(shù)對光柵性能的影響以及進(jìn)行優(yōu)化的方法。

開發(fā)高壓超高壓電力電纜光纖光柵溫度傳感器系統(tǒng),提出光纖光柵傳感機理,建立優(yōu)化設(shè)計框架。通過光纖光柵溫度傳感器封裝結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計,提出片式封裝結(jié)構(gòu);通過線性度優(yōu)化設(shè)計,提出用鋁板作為封裝基底材料;通過外界應(yīng)力場影響補償優(yōu)化設(shè)計,提出采用40mm×10mm(長×寬)的小尺寸封裝方法。進(jìn)行光纖光柵溫度傳感器水域?qū)嶒灪凸饫w光柵測溫系統(tǒng)對比實驗,討論系統(tǒng)的性能和可行性。并將光纖光柵溫度實時在線監(jiān)控系統(tǒng)應(yīng)用于實際工程項目,分辨率達(dá)0.1℃,精確度達(dá)±0.5℃,測溫范圍可達(dá)-30～200℃。

應(yīng)用模匹配法和空間floquet理論,對金屬光柵的散射特性進(jìn)行了詳盡分析,并且得到了矩形光柵圓極化器的尺寸。然后,對光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化,得到了雙u型金屬光柵圓極化器,其軸比1.2范圍內(nèi)的帶寬是矩形光柵帶寬的3倍,功率容量為矩形光柵的15倍。最后,在cst軟件中建立模型,仿真結(jié)果顯示,中心頻率上軸比為1.07,很好地實現(xiàn)了右旋極化轉(zhuǎn)變。

我國第一臺多用途、高精度的光學(xué)測試儀器—jdg-1型激光多用干涉儀,最近在安徽光學(xué)精密機械研究所研制成功.這臺儀器可用于測量光學(xué)零件的平面度、平行度、球面

用白光干涉儀自動測量金剛石砂輪表面形貌時,為了獲得更精準(zhǔn)的干涉區(qū)域,在干涉儀所采集到的一系列圖像中,首先通過計算相鄰的2張圖像各像素灰度值的變化從而得到一系列新的灰度圖像。然后計算每幀新圖像的非零點像素的均值和極值,據(jù)此計算得出用于確定干涉區(qū)域的閾值以實現(xiàn)自動掃描。實驗表明:此方法運算速度較快,而且對局部區(qū)域的干涉更敏感,可以更精確地搜索出干涉區(qū)間。采用步進(jìn)電機和壓電陶瓷二級驅(qū)動,可以在100s內(nèi)實現(xiàn)100μm范圍內(nèi)掃描區(qū)間的自動獲取并實現(xiàn)垂直方向的數(shù)據(jù)采集。

分析了用相干光測量細(xì)絲直徑的原理和方法,分別用鈉光和氦氖氣體激光測量并計算出同一金屬細(xì)絲的直徑,計算和分析了測量誤差,研究和比較了兩種光源對測量誤差的影響.

工程光學(xué)習(xí)題解答第十章_光的干涉

針對已有線寬檢測方法在窄線寬激光器測量中存在的缺陷,提出一種利用非平衡光纖干涉儀相位噪聲測量并計算線寬的方法。理論分析了短程差非平衡干涉儀相位噪聲與窄線寬激光器的光頻噪聲的關(guān)系,得到了激光器的光波功率頻譜和線寬。利用臂差為10m的光纖干涉儀對窄線寬分布反饋激光器進(jìn)行測量,結(jié)果表明激光器光波功率譜有近似的洛倫茲線型且線寬為5.4khz,與5khz的理論值相近。窄線寬光纖環(huán)形腔激光器的線寬測量結(jié)果為0.75khz,比用零拍法測量到的同類型激光器低于1.5khz的結(jié)果更精確。

x初x末12.701l初l末li=l末-l初 112.70123.11310.41212.24937.86125.612 223.1333.512210.382212.16137.78825.627 325.10135.59210.49112.2437.86325.623 414.73925.10110.36212.14837.7725.622 513.4523.75910.30912.2537.86825.618 x11x1x1'x11'd11=x11-x11'd1=x1-x1' 135.11336.55539.05140.5935.482.496 235.14236.54939.08140.5885.4462.532 335.10836.54539.05340.595.482