602(M)型砂輪劃片機(jī)的微機(jī)改造
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4.5
602和602(M)型砂輪劃片機(jī)是美國MAI公司八十年代初的產(chǎn)品,它是該公司1006型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)的前身,其水平相當(dāng)于日本DISCO公司的DAD—2H/5型劃片機(jī)。我國半導(dǎo)體器件廠在八十年代初引進(jìn)了大量該種劃片機(jī),如今役齡已十年有余,許多機(jī)器已從生產(chǎn)線上退了下來??偟恼f來,該機(jī)的機(jī)械部分尚能運(yùn)轉(zhuǎn),而電氣部分故障頻繁,甚至無法正常工作。我們對機(jī)電部某元器件廠的兩臺(tái)由美國MAI公司搭送,且一直未開起來過的602型砂輪劃片機(jī)進(jìn)行了微機(jī)改造,采用MCS—51系列單片機(jī)控制,不但使機(jī)器恢復(fù)了正常工作,而且使操作更加方便,自動(dòng)化程度更高,機(jī)器還具備了各種保護(hù)功能,經(jīng)過在元器件廠的使用證明,對602(M)型砂輪劃片機(jī)的微機(jī)改造是成功的。
砂輪劃片機(jī)劃切技術(shù)的研究
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砂輪劃片機(jī)劃切技術(shù)的研究和應(yīng)用直接關(guān)系到設(shè)備應(yīng)用的好壞。對劃切中關(guān)鍵的參數(shù)主軸轉(zhuǎn)速、劃切速度、基片固定、刀片等進(jìn)行了系統(tǒng)分析研究,具有指導(dǎo)性地提出了選擇該類參數(shù)的方法。
淺析砂輪劃片機(jī)劃切工藝
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介紹了砂輪劃片機(jī)的劃切原理以及砂輪刀具的構(gòu)成,并對影響劃切品質(zhì)的因素進(jìn)行了分析,結(jié)合以往實(shí)驗(yàn)結(jié)果,得到了砂輪劃片機(jī)的常規(guī)劃切工藝,既通過優(yōu)化劃切參數(shù)和對刀片的選擇,達(dá)到減小崩裂,提高劃切品質(zhì)的效果。
伺服系統(tǒng)在砂輪劃片機(jī)中的應(yīng)用
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4.3
介紹了伺服系統(tǒng)在砂輪劃片機(jī)中的應(yīng)用情況。根據(jù)zsh5型劃片機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和工作臺(tái)的應(yīng)用特點(diǎn),詳細(xì)說明了zsh5型劃片機(jī)伺服系統(tǒng)選型時(shí)的理論計(jì)算方法和具體步驟。同時(shí),介紹了伺服系統(tǒng)的一些主要特點(diǎn),總結(jié)了伺服系統(tǒng)中一些重要參數(shù)的設(shè)置方法和調(diào)試經(jīng)驗(yàn),包括電子齒輪比、速度環(huán)和位置環(huán)參數(shù)等。
砂輪劃片機(jī)θ向機(jī)構(gòu)和傳動(dòng)誤差分析
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對砂輪劃片機(jī)θ向機(jī)構(gòu)及齒輪傳動(dòng)誤差產(chǎn)生原因進(jìn)行了分析。對消隙齒輪θ向機(jī)構(gòu)中的回程誤差和傳動(dòng)誤差進(jìn)行了估算,并對驗(yàn)證數(shù)據(jù)進(jìn)行了分析,所述方法及計(jì)算實(shí)例對解決工程實(shí)際問題提供依據(jù)和建議。
ZSH5型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
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介紹了zsh5型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)路線和框架結(jié)構(gòu),以及一些重要功能模塊的實(shí)現(xiàn)方法和特點(diǎn)??偨Y(jié)了一些精密半導(dǎo)體專用設(shè)備的開發(fā)經(jīng)驗(yàn),為設(shè)計(jì)和開發(fā)機(jī)電設(shè)備的控制系統(tǒng)提供一些思路和方法。
砂輪劃片機(jī)顯微鏡自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與分析
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闡述了砂輪劃片機(jī)顯微鏡自動(dòng)聚焦系統(tǒng)的硬件構(gòu)成和軟件設(shè)計(jì),在砂輪劃片機(jī)上開發(fā)了一套自動(dòng)對焦搜索算法,控制ccd、鏡頭沿光軸移動(dòng)以實(shí)現(xiàn)焦距的自動(dòng)調(diào)節(jié)。在軟件設(shè)計(jì)上采用了圖像處理手段實(shí)現(xiàn)鏡頭聚焦位置的自動(dòng)搜索和評價(jià)函數(shù)對圖象清晰度的評價(jià),并在砂輪劃片機(jī)的現(xiàn)場測試中證明了此種方法的可行性。
對1006A型砂輪劃片機(jī)電氣控制系統(tǒng)的可靠性分析
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4.7
1006a型砂輪劃片機(jī)是美國mai公司70年代末、80年代初研制出的大規(guī)模集成電路加工設(shè)備。它只所以能在國際上有廣泛的市場,除它的功能強(qiáng)、精度高外,工作可靠性、穩(wěn)定性高也是它的主要特點(diǎn)。從這次我廠引進(jìn)該機(jī)散件并通過組裝和消化其技術(shù)資料,我們深有體會(huì)。
砂輪劃片工藝的實(shí)踐與提高
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介紹了砂輪劃片的工藝優(yōu)化過程,同時(shí)給出了在一定工作條件下切割硅晶圓、特別是切割陶瓷基片所選用的適用刀片和相應(yīng)的工藝參數(shù),并對刀片優(yōu)化進(jìn)行了初步的探討。
砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)裝配精度對劃切槽質(zhì)量的影響
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4.4
分析砂輪劃片機(jī)主軸系統(tǒng)的裝配精度,使得主軸刀盤面在工作臺(tái)笛卡爾坐標(biāo)系中的位置精度以及在安裝砂輪刀片后,劃切晶圓對劃切槽質(zhì)量造成的影響,如何調(diào)整刀盤的精度,降低崩邊和裂角,提高劃切槽的質(zhì)量。
砂輪劃片機(jī)z向工作臺(tái)機(jī)械結(jié)構(gòu)關(guān)鍵技術(shù)的研究
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通過滾動(dòng)直線導(dǎo)軌應(yīng)用理論和應(yīng)用技術(shù)的研究及滾珠絲杠副應(yīng)用技術(shù)的分析,針對砂輪劃片機(jī)z向工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)特點(diǎn),設(shè)計(jì)了z向工作臺(tái)機(jī)械結(jié)構(gòu),并分析了系統(tǒng)的剛性誤差,通過檢測和實(shí)際使用驗(yàn)證了設(shè)計(jì)結(jié)果。
劃片機(jī)金剛石砂輪刀片性能研究
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4.4
以b1a系列砂輪刀片為例,對金剛石砂輪刀片進(jìn)行力學(xué)分析與強(qiáng)度計(jì)算,并利用有限元分析軟件ansys建立砂輪刀片回轉(zhuǎn)模型,得到刀片的應(yīng)力云圖和變形圖。通過仿真分析,砂輪刀片孔壁處所受切向應(yīng)力影響遠(yuǎn)大于徑向應(yīng)力,砂輪刀片的最大應(yīng)力發(fā)生在孔的內(nèi)壁處,而在砂輪外圓處切向應(yīng)力較小。通過輸入不同轉(zhuǎn)速對比,外圓切向應(yīng)力隨轉(zhuǎn)速提高而增加,破壞趨勢也明顯。
主跨602m的楊浦大橋主橋安裝施工技術(shù)
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楊浦大橋主橋結(jié)構(gòu)形式為雙塔雙索面全漂浮體系迭合梁斜拉橋,主跨602m,其鋼梁安裝,斜索張拉和橋面合龍技術(shù)是整個(gè)工程的關(guān)鍵。
利用單片機(jī)技術(shù)控制砂輪磨損的檢測與修整
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在磨床數(shù)控化改造中利用單片機(jī)技術(shù)控制砂輪磨損的檢測與修整,以提高磨削加工的生產(chǎn)效率和加工質(zhì)量。
砂輪切割機(jī)
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砂輪切割機(jī)安全操作規(guī)程 一.用途 砂輪切割機(jī)適用于建筑、五金、石油化工、機(jī)械冶金及水電安裝等部門。砂 輪切割機(jī)可對金屬方扁管、方扁鋼、工字鋼,槽型鋼,碳元鋼、元管等材料進(jìn)行 切割,嚴(yán)禁使用砂輪切割機(jī)切割木材。 二.結(jié)構(gòu)說明: 1.主要參數(shù): 砂輪切割機(jī)型號(hào):j3gy-ld-400a 砂輪切割機(jī)主要技術(shù)參數(shù): 額定電壓:380v 電機(jī)功率:2.2kw 頻率:50hz 主軸轉(zhuǎn)速:2800r.p.m 割片規(guī)格:400x3.2x32 夾鉗調(diào)整范圍:0o-±45o 最大切割能力: 角鋼:100x100x10 圓鋼:≤ф50 槽鋼:120x53 鋼管:ф135*6 外形尺寸:730(長)x400(寬)x580(高) 三.使用與保養(yǎng): 1.正確的使用方法: (1)使用前必須認(rèn)真檢查設(shè)備的性能,確保各部件的完好性。對電源開關(guān)、 切割片的松緊度、防護(hù)罩或安全擋板進(jìn)行詳細(xì)檢
Si片磨削中砂輪粒徑對Si片損傷層的影響
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4.6
在直徑300mmsi片制備中,利用雙面磨削技術(shù)能為后續(xù)加工提供高精度的表面,但si片損傷層厚度較大。通過掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡對si片表面及截面進(jìn)行觀察,得到了經(jīng)不同粒徑的砂輪磨削后的si片的表面及截面形貌、si片的表面及亞表面損傷層的厚度并進(jìn)行了分析比較。結(jié)果表明,用粒度更小的3000#砂輪磨削,能夠有效地降低si片表面及亞表面損傷層的厚度,為優(yōu)化300mm單晶si片雙面磨削工藝、提高si片表面磨削質(zhì)量提供了清晰、量化的實(shí)驗(yàn)理論依據(jù)。
砂輪劃片機(jī)刃具修整數(shù)學(xué)模型分析
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從劃片機(jī)的劃切機(jī)理出發(fā)建立數(shù)學(xué)模型;用數(shù)學(xué)的方法定性、定量分析劃切過程中未修整刃具對劃切質(zhì)量的影響。摸索刃具修整的合理方式,提出刃具內(nèi)孔配合間隙的實(shí)用數(shù)據(jù)。
ZSH-Ⅲ 型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)
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】zsh-ⅲ型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)的精密專用設(shè)備。本文介紹了zsh-ⅲ型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)的設(shè)計(jì)思想、設(shè)計(jì)方案、主要技術(shù)關(guān)鍵、主要技術(shù)參數(shù)以及存在的問題。該設(shè)備已經(jīng)小批量生產(chǎn)。
J51150?ZF型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)的電控系統(tǒng)
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4.6
J51150?ZF型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)的電控系統(tǒng)
自動(dòng)砂輪劃片機(jī)定位監(jiān)視系統(tǒng)
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4.6
本文敘述了zsh—ⅱ型自動(dòng)砂輪劃片機(jī)分離視場顯微鏡——tv監(jiān)視器定位監(jiān)視系統(tǒng)的組成、技術(shù)指標(biāo)、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和參數(shù)選擇等有關(guān)問題。
激光修銳砂輪的單片微機(jī)控制研究
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激光修銳超硬磨料砂輪方法具有工效高、無損耗、易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)。利用mcs51系列的單片機(jī),研究了激光修銳的在線控制系統(tǒng);該系統(tǒng)具有在線檢測、監(jiān)控、報(bào)警、自動(dòng)修銳等功能
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職位:機(jī)電/土建專業(yè)監(jiān)理工程師
擅長專業(yè):土建 安裝 裝飾 市政 園林