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利用HFSS仿真軟件對一種基于電感耦合的新型磁芯螺線管微電感進行設(shè)計,并優(yōu)化得出其結(jié)構(gòu)參數(shù),該電感尺寸為7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射頻阻抗/材料分析儀對微機電系統(tǒng)(MEMS)工藝實現(xiàn)的該新型螺線管微電感進行了性能測試分析。測試結(jié)果表明:該電感在1 MHz~20 MHz頻率范圍內(nèi)保持較高的電感值和品質(zhì)因數(shù)Q,測試結(jié)果與仿真結(jié)果較好的吻合,電感值是相同幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)下空心電感的16倍以上,在10 MHz頻率時,微電感的電感值為1.17μH,Q值達到50。
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分析鐵磁物質(zhì)對電纜電感的影響,提出在工程實際應(yīng)用中如何考慮此因素的意見。
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