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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下: 各部分電路的作用, DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源,包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào), Q1是震蕩管,Q4是推動(dòng)管,Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管,提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器,機(jī) 器一通電,該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器,只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測(cè)模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測(cè)試端口用于檢測(cè)射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下: 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源
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