造價(jià)通
更新時(shí)間:2025.03.16
TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">300KB

頁(yè)數(shù): 3頁(yè)

TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下: 各部分電路的作用, DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源,包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào), Q1是震蕩管,Q4是推動(dòng)管,Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管,提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器,機(jī) 器一通電,該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器,只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測(cè)模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測(cè)試端口用于檢測(cè)射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下: 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">1.1MB

頁(yè)數(shù): 4頁(yè)

針對(duì)強(qiáng)流雙潘寧離子源等離子體發(fā)生器電源系統(tǒng)的特殊要求,介紹了燈絲電源和弧電源的組成及其作用,并對(duì)其主電路設(shè)計(jì)思路進(jìn)行了相關(guān)的分析。離子源等離子體放電實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該套等離子體電源系統(tǒng)達(dá)到了設(shè)計(jì)指標(biāo)要求。

熱門(mén)知識(shí)

等離子射頻

精華知識(shí)

等離子射頻

最新知識(shí)

等離子射頻
點(diǎn)擊加載更多>>

相關(guān)問(wèn)答

等離子射頻
點(diǎn)擊加載更多>>
專(zhuān)題概述
等離子射頻相關(guān)專(zhuān)題

分類(lèi)檢索: