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針對(duì)電容層析成像技術(shù)中的微小電容測(cè)量的問(wèn)題,以數(shù)字相敏檢波原理為基礎(chǔ),LabVIEW軟件及NI采集卡為核心設(shè)計(jì)了微小電容測(cè)量系統(tǒng);LabVIEW程序控制NI采集卡產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)加在微小電容兩端,C/V轉(zhuǎn)換電路將其轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào),NI采集卡將采集的電壓信號(hào)傳送到PC機(jī)中,并在LabVIEW程序中通過(guò)數(shù)字相敏檢波算法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理及顯示;最終,通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行線性化,得到相應(yīng)的測(cè)量電容值;實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)具有精度高,線性度好,穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),可以滿足電容層析成像系統(tǒng)中對(duì)微小電容的測(cè)量的要求。
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針對(duì)電容層析成像技術(shù)中的微小電容測(cè)量的問(wèn)題,以數(shù)字相敏檢波原理為基礎(chǔ),LabVIEW軟件及NI采集卡為核心設(shè)計(jì)了微小電容測(cè)量系統(tǒng);LabVIEW程序控制NI采集卡產(chǎn)生激勵(lì)信號(hào)加在微小電容兩端,C/V轉(zhuǎn)換電路將其轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào),NI采集卡將采集的電壓信號(hào)傳送到PC機(jī)中,并在LabVIEW程序中通過(guò)數(shù)字相敏檢波算法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理及顯示;最終,通過(guò)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行線性化,得到相應(yīng)的測(cè)量電容值;實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該系統(tǒng)具有精度高,線性度好,穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn),可以滿足電容層析成像系統(tǒng)中對(duì)微小電容的測(cè)量的要求。
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