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更新時(shí)間:2025.05.03
護(hù)理研究測(cè)量工具的發(fā)展與心理測(cè)驗(yàn)學(xué)特征測(cè)定

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東電訂購(gòu)多套Therma-Wave的集成化測(cè)量工具

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全球制程控制測(cè)量系統(tǒng)設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)廠商Therma-Wace公司日前宣布,全球性領(lǐng)先的半導(dǎo)體及FPD生產(chǎn)設(shè)備制造商?hào)|電半導(dǎo)體(ToKyo Electron)再次下單訂購(gòu)多套Therma-Wave集成化測(cè)量工具。Therma-Wave的高級(jí)INTEGRA^R CCD-i關(guān)鍵尺寸(CD)測(cè)量工具將配合TEL CLEAN TRACK ACT^TM與CLEAN TRACK^TMLITHIUS^TM涂裝/顯影機(jī)使用,進(jìn)行90nm與65nm技術(shù)的深度開發(fā)與生產(chǎn)。

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