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為解決小型真空探測器體積小、內(nèi)部空間有限、常規(guī)真空監(jiān)測裝置無法安裝在探測器上進行直接測量的問題,設計一種外置動靜態(tài)真空測試系統(tǒng),并建立外置測試系統(tǒng)測量數(shù)據(jù)與小型真空探測器腔體內(nèi)真空度的可靠關系。測試實例驗證表明:本工作建立的外置動靜態(tài)真空測試系統(tǒng),按設計方式推算的探測器動靜態(tài)真空度值與實際測量值的差異不到10%,可以較好地實現(xiàn)小型真空探測器的動態(tài)真空測試和靜態(tài)真空監(jiān)測。
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