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機(jī)械工程學(xué)報(bào)

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機(jī) 械 工 程 學(xué) 報(bào) CHINESE JOURNAL OF MECHANICAL ENGINEERING 第 43卷第 6期 2007 年 6 月 Vol. 43 No.6 Jun. 2007 HFCVD 襯底三維溫度場有限元法模擬 * 徐 鋒 左敦穩(wěn) 盧文壯 李 磊 王 珉 (南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院 南京 210016) 摘要： 熱絲化學(xué)氣相沉積 (Hot filament chemical vapor deposition, HFCVD) 方法制備金剛石薄膜設(shè)備簡單，成本低 廉，適合大面積金剛石膜的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，其中襯底溫度是沉積高質(zhì)量 CVD 金剛石膜的重要參數(shù)之一?；诖耍?首先分析大面積 HFCVD 系統(tǒng)的熱交換過程，建立大面積 HFCVD 系統(tǒng)襯底溫度場的三維有限元模型。與傳統(tǒng)純 熱輻射模型相比，本模型更加接近實(shí)際系統(tǒng)，并較好符合試驗(yàn)測定的結(jié)果。根據(jù)三維有限元模

機(jī)械工程學(xué)科簡介

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1 機(jī)械工程學(xué)科簡介 機(jī)械工程學(xué)科以機(jī)械工程學(xué)院、汽車學(xué)院、 高速切削工程中心為基礎(chǔ)， 現(xiàn)有教授 22人、 副教授 41人和講師 45人。學(xué)科擁有機(jī)械工程一級學(xué)科碩士點(diǎn)，涵蓋機(jī)械制造、機(jī)械設(shè)計(jì)、 機(jī)械電子和車輛工程四個(gè)二級學(xué)科碩士點(diǎn)，有省級重點(diǎn)學(xué)科機(jī)械制造及自動(dòng)化學(xué)科，二個(gè)省 級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室和一個(gè)省級高速切削工程中心，有 10個(gè)教學(xué)科研實(shí)驗(yàn)室， 14個(gè)科學(xué)研究所。 在該領(lǐng)域我們已取得科研成果 60 多項(xiàng)，具有代表性的成果有：直蚌線無連桿發(fā)動(dòng)機(jī)、 CX300型數(shù)控車銑加工中心、高頻焊管生產(chǎn)線及其關(guān)鍵設(shè)備“高精度定尺飛鋸機(jī)”和“臥式 螺旋活套”、多功能動(dòng)平衡測試儀 、4M12-78/34氧氣壓縮機(jī)、雷管自動(dòng)裝配與檢測技術(shù)、 CDQ 專用電磁振動(dòng)給料機(jī)等。目前的主要研究方向如下： 1.高速切削及數(shù)控裝備技術(shù)： 高速切削機(jī)理研究；面向高速切削的刀具技術(shù)研究；高速 車銑原理及車銑加工技術(shù)研究； 薄壁

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