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本文對(duì)電容檢測(cè)式加速度計(jì)系統(tǒng)中廣泛采用的差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路建立了電容電壓轉(zhuǎn)換電路的等效噪聲模型,并對(duì)雙運(yùn)放集成電路芯片所構(gòu)成的差分電容電壓轉(zhuǎn)換電路的本底噪聲以及儀表放大器輸出端的噪聲進(jìn)行了測(cè)試,將電容電壓轉(zhuǎn)換電路本底噪聲中的差模噪聲分量和共模噪聲分量進(jìn)行了分離。測(cè)試結(jié)果表明影響加速度計(jì)系統(tǒng)噪聲性能的差模噪聲分量占電容電壓轉(zhuǎn)換電路本底噪聲的50%。
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