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為了解決在化學機械拋光過程中拋光接觸區(qū)域內(nèi)拋光液的分布均勻性問題,基于生物學的葉序理論,設計葵花籽粒結構的仿生拋光墊,建立化學機械拋光拋光液流場的運動方程和邊界條件,利用流體力學軟件(Fluent)對拋光液的流動狀態(tài)進行仿真,并獲得葉序參數(shù)對拋光液流動狀態(tài)的影響規(guī)律。結果表明:拋光液在基于葵花籽粒的仿生拋光墊的流動是均勻的,拋光液沿著逆時針和順時針葉列斜線溝槽流動,有利于流體向四周發(fā)散。
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