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用聚四氟乙烯坩堝代替鉑金坩堝分析石英砂中二氧化硅和三氧化二鐵的含量,經(jīng)濟實用,通過實驗表明其準確度與精確度都滿足規(guī)范要求。
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筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSG3 透明石英玻璃坩堝 本標準適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。 本坩堝采用天然石英熔制成坯體,并在其內(nèi)表面涂一層高純?nèi)嗽焓⒉A印? 一、技術(shù)要求 1.物理、化學(xué)性能指標 (1)化學(xué)成分 a.內(nèi)涂層化學(xué)成分 鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆,鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個雜質(zhì)元素的總含 量不得大于 0.001%。 其中:鋁≤5×l0[-4]%; 銅≤0.l×l0[-4]%; 鐵≤0.5×l0[-4]%; 硼≤0.1×l0[-4]%; 鉀≤1×l0[-4]%; 鈉≤1×10[-4]%。 b.坩堝坯體化學(xué)成分 鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個雜質(zhì)元素的總含 量不得大于 0.01%。 其中:鋁≤60×10[-4
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