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光刻工藝中對熱板表面溫度場均勻性有極高要求,在熱板設計參數(shù)選擇問題上,通過使用通用旋轉(zhuǎn)組合設計的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設計參數(shù)情況下的熱板表面溫度場均勻性數(shù)據(jù)。對仿真結(jié)果數(shù)據(jù)進行回歸建模,回歸模型計算結(jié)果與仿真結(jié)果有較高的一致性。結(jié)果表明,熱板設計參數(shù)可以根據(jù)該回歸模型來選擇。
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