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更新時間:2025.04.12
非硅基底1×4微機電系統(tǒng)光開關(guān)

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設(shè)計研制了一種小體積、低成本、可擴展的低電壓非硅基底 1× 4微機電系統(tǒng)光開關(guān)。開關(guān)單元由電磁驅(qū)動 ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動 ,驅(qū)動電壓為 5V ,開關(guān)時間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場 ,進行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計 ,并著重介紹開關(guān)的實現(xiàn)及性能

微機電系統(tǒng)MEMS仿真與建模研究

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微機電系統(tǒng)是源于微電子加工技術(shù),融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)融合了力、電、流體、光、磁、熱等多個物理域,建模與仿真技術(shù)的迅速發(fā)展,討論了目前有關(guān)微機電系統(tǒng)建模與仿真的基本理論和方法。

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