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介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念、醫(yī)療用微機(jī)電系統(tǒng)的研究和幾種典型的應(yīng)用實(shí)例。
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設(shè)計(jì)研制了一種小體積、低成本、可擴(kuò)展的低電壓非硅基底 1× 4微機(jī)電系統(tǒng)光開(kāi)關(guān)。開(kāi)關(guān)單元由電磁驅(qū)動(dòng) ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng) ,驅(qū)動(dòng)電壓為 5V ,開(kāi)關(guān)時(shí)間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細(xì)電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場(chǎng) ,進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì) ,并著重介紹開(kāi)關(guān)的實(shí)現(xiàn)及性能
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專題概述
微機(jī)電系統(tǒng)工程知識(shí)來(lái)自于造價(jià)通云知平臺(tái)上百萬(wàn)用戶的經(jīng)驗(yàn)與心得交流。 注冊(cè)登錄 造價(jià)通即可以了解到相關(guān)微機(jī)電系統(tǒng)工程最新的精華知識(shí)、熱門知識(shí)、相關(guān)問(wèn)答、行業(yè)資訊及精品資料下載。同時(shí)，造價(jià)通還為您提供材價(jià)查詢、測(cè)算、詢價(jià)、云造價(jià)等建設(shè)行業(yè)領(lǐng)域優(yōu)質(zhì)服務(wù)。手機(jī)版訪問(wèn)：微機(jī)電系統(tǒng)工程
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