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無塵室的天花板、地板及牆 無塵室有五個(gè)特性 : (l) 耐久性。(2)成本。 (3) 適應(yīng)性。 (4) 可維護(hù)性 。 (5)清洗 。 (1)耐久性: 無塵室要有符合環(huán)境、無塵室內(nèi)部的清洗溶液及振動、設(shè)備、空氣過濾系統(tǒng) 的耐久材料。而耐久性,同時(shí)也依賴無塵室等級來建造。半導(dǎo)體 Fabs 傾向選擇 鋁,基於它的耐久性,然而,它不是便宜的物質(zhì)。 (2)清洗: 在製藥和生物工學(xué)工業(yè),無塵室的牆壁需要有容易被清洗和擦拭,直到防止 濾過性病毒或細(xì)菌的污染之特性。在 biotech 市場,清洗真正地是一個(gè)最重要 的企業(yè)。 (3)成本: 微電子 C/R 建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10 億。fab 能更快的被建造起來,產(chǎn)品也就 能更快達(dá)到這市場。 許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而 " 錢" 將 成為一個(gè)很重要的考慮因素。 (4)適應(yīng)性: 一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢 ,而適
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環(huán)氧樹脂地坪 環(huán)氧樹脂地坪:是環(huán)氧樹脂與固化劑固化后在地面形成表面明亮的表面、一般厚 度有 0.5 毫米的薄涂型、 2-5 毫米的自流平型有溶劑型和無溶劑型 施工環(huán) 境要求 施工環(huán)境 要求: 1、施工的環(huán)境溫度應(yīng)控 制在 10℃ - 35℃; 2、基層含水率不能超 過 5% 3、空氣濕度要小于 75% 4、施工的環(huán)境溫度應(yīng)高于室 外溫度 3℃以上 施工工藝 素地 處理 :首先對原地面進(jìn)行全面打磨,不平處需修復(fù)平整,然后清掃、 吸塵 , 潮濕處 需先烘干。 底 層 :用鏝刀將調(diào)配好 的純樹脂材料均 勻地刮涂于原 地面,與 素地完全滲透 粘接,使其形成一層粘性較強(qiáng) 的底層。 砂漿 層 :待底層固化后再將調(diào)配好的膩?zhàn)訉硬牧霞邮⑸叭婢?勻地用鏝刀刮涂 于底層之上, 加強(qiáng) 地坪 的抗壓、抗沖擊性 。( 2mm 將涂裝兩次 ) 中 層: 待砂漿層固化后再 進(jìn)行全面打磨 ,將調(diào)配好的中 涂材