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利用HFSS仿真軟件對一種基于電感耦合的新型磁芯螺線管微電感進(jìn)行設(shè)計,并優(yōu)化得出其結(jié)構(gòu)參數(shù),該電感尺寸為7 mm×6.6 mm×0.44 mm。利用Agilent E4294A射頻阻抗/材料分析儀對微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工藝實現(xiàn)的該新型螺線管微電感進(jìn)行了性能測試分析。測試結(jié)果表明:該電感在1 MHz~20 MHz頻率范圍內(nèi)保持較高的電感值和品質(zhì)因數(shù)Q,測試結(jié)果與仿真結(jié)果較好的吻合,電感值是相同幾何結(jié)構(gòu)參數(shù)下空心電感的16倍以上,在10 MHz頻率時,微電感的電感值為1.17μH,Q值達(dá)到50。
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通過求解麥克斯韋方程組 ,得出通以交變電流的長直螺線管內(nèi)部的磁場和電場的分布 ,并討論解的物理意義
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