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更新時(shí)間：2025.04.12
PE蝶閥與擋板閥的快速拆裝

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PD380B管式 PECVD 1 蝶閥與擋板閥的拆裝 圖一 PE主機(jī)臺(tái) 1.爐管降溫 在工控機(jī)操作界面中，將爐管溫度由原來(lái)的 450°設(shè)置為 200°。 2.真空泵的吹掃 2.1抽真空；將反應(yīng)壓力設(shè)為 0，關(guān)掉 N2輸入，打開(kāi)預(yù)抽，當(dāng)壓力小 于 500時(shí)，關(guān)掉預(yù)抽，打開(kāi)主抽，直到管內(nèi)為真空狀態(tài)（壓力小于 40mtorr）； 2.2設(shè)置 N2輸入為 8000，反應(yīng)壓力為 1700mtorr； 2.3將真空泵的 N2稀釋閥調(diào)到最大約 84.4pam3/S；吹掃至少進(jìn)行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 圖二 真空泵 3.關(guān)真空泵 3.1點(diǎn)操作面板的 stop，選擇關(guān)閉真空泵（并非延時(shí)關(guān)閉） ； 3.2拉下真空泵的黑色電源開(kāi)關(guān)，并且將真空泵的冷卻水關(guān)掉，保持 真空泵的 N2為打開(kāi)狀態(tài)。 4.工具的準(zhǔn)備 一套開(kāi)口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1

圓形擋板門(mén)-通風(fēng)蝶閥

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圓形擋板門(mén) 使 用 說(shuō) 明 書(shū) 圓形擋板門(mén)； 也叫通風(fēng)蝶閥 . 風(fēng)門(mén) . 分別有； .多葉 . 整體 相關(guān)系列；方形通風(fēng)蝶閥 用途適用于工業(yè)、 冶金、環(huán)保等管道作通風(fēng)調(diào)節(jié)介質(zhì)流量 之用 圓形擋板門(mén) 采用與閥體相同材料加工成密封圈， 采用電動(dòng)或氣動(dòng)傳動(dòng)。 其適用溫度全選材料而定， 公稱(chēng)壓力 ≤0．6MPa ， 一般適用于工業(yè)、 冶金、環(huán)保等管道作通風(fēng)調(diào)節(jié)介質(zhì)流量之用。 通風(fēng)蝶閥主要技術(shù)參數(shù) 公稱(chēng)壓力 0.05MPa 介質(zhì)溫度 -30℃～ 350℃ 強(qiáng)度試驗(yàn) 0.1MPa 適用介質(zhì) 冷熱風(fēng)，煙氣 介質(zhì)流速 25m/s 泄漏率 3％ 圓形擋板門(mén) 主要零件材料 零件名稱(chēng) 材料 閥體 Q235A,16 猛鋼、不銹鋼 蝶板 Q235A 、16 猛鋼、不銹鋼 密封圈 Q235A 、16 猛鋼、不銹鋼 閥桿 2Cr13 、不銹鋼 填料 柔性石墨 主要連接尺寸 公稱(chēng)通徑 DN(mm) L H Ho 0

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