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以鈦金屬為靶材、以錦綸織物為基體,通過改變?yōu)R射時(shí)間,濺射功率和濺射氣壓,制備出鈦金屬鍍膜錦綸織物試樣,然后進(jìn)行摩擦試驗(yàn).采用掃描設(shè)備獲得了織物摩擦前后的圖像,利用軟件neoimaging測試織物組織點(diǎn)處的亮度,以相對亮度的變化反映鍍膜的磨損.研究表明:隨著濺射時(shí)間和濺射功率的增加,鍍膜的耐磨性提高;較為合適的濺射氣壓是0.5~3 Pa,濺射氣壓過高,耐磨性反而降低.
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本文從作者的實(shí)踐工作經(jīng)驗(yàn)出發(fā),總結(jié)了針對磁控濺射鍍膜玻璃生產(chǎn)線進(jìn)口備件國產(chǎn)化的相關(guān)工作。
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