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更新時間:2025.06.08
快速靈活的端子接線

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最新面市的接線端子用一種既簡單又安全的連接模式取代了此前一直沿用的硬接線方式。這種新的設(shè)計同時還具有更加靈活、節(jié)省空間、可選附件以及內(nèi)置智能化功能等特點。

PE蝶閥與擋板閥的快速拆裝

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PD380B管式 PECVD 1 蝶閥與擋板閥的拆裝 圖一 PE主機臺 1.爐管降溫 在工控機操作界面中,將爐管溫度由原來的 450°設(shè)置為 200°。 2.真空泵的吹掃 2.1抽真空;將反應(yīng)壓力設(shè)為 0,關(guān)掉 N2輸入,打開預(yù)抽,當壓力小 于 500時,關(guān)掉預(yù)抽,打開主抽,直到管內(nèi)為真空狀態(tài)(壓力小于 40mtorr); 2.2設(shè)置 N2輸入為 8000,反應(yīng)壓力為 1700mtorr; 2.3將真空泵的 N2稀釋閥調(diào)到最大約 84.4pam3/S;吹掃至少進行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 圖二 真空泵 3.關(guān)真空泵 3.1點操作面板的 stop,選擇關(guān)閉真空泵(并非延時關(guān)閉) ; 3.2拉下真空泵的黑色電源開關(guān),并且將真空泵的冷卻水關(guān)掉,保持 真空泵的 N2為打開狀態(tài)。 4.工具的準備 一套開口扳手(主要使用 7mm、12mm、13mm、1

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