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本文提出了一種基于光杠桿原理非接觸式的納米級(jí)微位移測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)通過(guò)光學(xué)方法對(duì)微位移量進(jìn)行放大,光學(xué)放大倍數(shù)高,該系統(tǒng)的理論分辨率可達(dá)4nm,實(shí)際測(cè)得靜態(tài)分辨率小于10nm。信號(hào)處理采用基于高精度一維PSD的信號(hào)探測(cè)電路,并且通過(guò)設(shè)計(jì)有效地抑制了噪聲和干擾。實(shí)驗(yàn)中使用PZT作為被測(cè)物的微小位移驅(qū)動(dòng)器,與電容測(cè)微儀JDC-II所測(cè)數(shù)據(jù)進(jìn)行了驗(yàn)證比較,系統(tǒng)所測(cè)得的數(shù)據(jù)證明了其正確性和可行性。并且該系統(tǒng)受溫度影響小,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,便于使用MEMS技術(shù)集成和微型化。
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吉林省交通水泥廠二線生料粉磨系統(tǒng)為φ2.2X6.5米閉路烘干磨。其工藝流程為:一、原設(shè)計(jì)存在的問(wèn)題及使用情況 原設(shè)計(jì)中風(fēng)機(jī)置于旋風(fēng)收塵器與電收塵之間,由于管路設(shè)計(jì)中與旋風(fēng)收塵器聯(lián)接處呈現(xiàn)近90度彎管,近水平長(zhǎng)度達(dá)1.75米,所以此段管路積灰嚴(yán)重,切線進(jìn)入旋風(fēng)筒的入口處經(jīng)常被物料堵死,人磨原料含水量高時(shí)尤為嚴(yán)重,導(dǎo)致磨機(jī)產(chǎn)量驟減,被迫停機(jī)清理。 基于上述情況,不得已在人旋風(fēng)收塵器前管路90度彎處開(kāi)門,便于隨時(shí)清理,杜絕被迫
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