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為了實(shí)現(xiàn)對(duì)金剛石砂輪表面形貌的非接觸精密測(cè)量,開(kāi)發(fā)了基于干涉原理的金剛石砂輪表面形貌專用測(cè)量系統(tǒng),研究了該系統(tǒng)的測(cè)量原理和關(guān)鍵技術(shù)。根據(jù)垂直掃描白光干涉顯微測(cè)量原理以及被測(cè)對(duì)象的特征,提出了適用于砂輪測(cè)量的方法,研究了系統(tǒng)的自動(dòng)掃描范圍、垂直方向的掃描方法、單次測(cè)量三維表面的恢復(fù)算法和磨粒的識(shí)別算法。結(jié)合自行設(shè)計(jì)的夾具搭建了砂輪測(cè)量系統(tǒng),并對(duì)多次測(cè)量拼接算法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:基于區(qū)域重合大小(重合度為30%~50%)的拼接算法獲得的拼接前后重合區(qū)域的相關(guān)系數(shù)均大于0.8,拼接后重合區(qū)域的高度差均小于0.4μm。得到的結(jié)果顯示所搭建的系統(tǒng)可以恢復(fù)砂輪的形貌,其測(cè)量范圍和精度滿足砂輪磨粒評(píng)定和分析的要求。
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金剛石表面粗化
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