造價通
更新時間:2025.05.17
藍寶石基片的超光滑表面拋光技術

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">223KB

頁數: 3頁

文中介紹了藍寶石基片的主要拋光方法,包括浮法拋光、機械化學拋光、化學機械拋光和水合拋光等,對它們的工作原理、特點作了分析和總結。

納米拋光液

格式:pdf

大?。?span class="single-tag-height">122KB

頁數: 1頁

隨著半導體工業(yè)的飛速發(fā)展,化學機械拋光(CMP)漸成為集成電路制造中的一項關鍵工藝,其中拋光液是化學機械拋光過程中重要的消耗品,長期以來國內主要硅材料廠及半導體元件廠依賴進口產品,不僅價格昂貴,而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所納米技術研究室CMP小組開展了“納米拋光液產業(yè)化關鍵技術”研究,

熱門知識

藍寶石拋光液

最新知識

藍寶石拋光液
點擊加載更多>>

相關問答

藍寶石拋光液
點擊加載更多>>
專題概述
藍寶石拋光液相關專題

分類檢索: