更新日期: 2025-05-29

納米拋光液

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納米拋光液 4.3

隨著半導體工業(yè)的飛速發(fā)展,化學機械拋光(CMP)漸成為集成電路制造中的一項關鍵工藝,其中拋光液是化學機械拋光過程中重要的消耗品,長期以來國內主要硅材料廠及半導體元件廠依賴進口產品,不僅價格昂貴,而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所

納米CeO_2拋光液的制備及其拋光性能研究 納米CeO_2拋光液的制備及其拋光性能研究 納米CeO_2拋光液的制備及其拋光性能研究

納米CeO_2拋光液的制備及其拋光性能研究

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在水體系中采用沉淀法制備了納米ceo2粉體,并用xrd、sem、tem等對其晶體結構、粒度與形貌等進行了表征。將所得粉體配成水基納米ceo2拋光液,研究了其拋光硅片的性能與機理,并與納米sio2拋光液作對比。結果表明,粒度在100nm以下的ceo2對硅片具有良好的拋光效果,拋光后硅片表面形貌有很大改觀,表面劃痕被拋掉,在面積172μm×128μm的范圍內得到了表面粗糙度ra為0.689nm的超光滑表面。

葉序結構拋光墊表面的拋光液流場分析 葉序結構拋光墊表面的拋光液流場分析 葉序結構拋光墊表面的拋光液流場分析

葉序結構拋光墊表面的拋光液流場分析

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為了解決在化學機械拋光過程中拋光接觸區(qū)域內拋光液的分布均勻性問題,基于生物學的葉序理論,設計葵花籽粒結構的仿生拋光墊,建立化學機械拋光拋光液流場的運動方程和邊界條件,利用流體力學軟件(fluent)對拋光液的流動狀態(tài)進行仿真,并獲得葉序參數對拋光液流動狀態(tài)的影響規(guī)律。結果表明:拋光液在基于葵花籽粒的仿生拋光墊的流動是均勻的,拋光液沿著逆時針和順時針葉列斜線溝槽流動,有利于流體向四周發(fā)散。

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CMP拋光液流場數值仿真 CMP拋光液流場數值仿真 CMP拋光液流場數值仿真

CMP拋光液流場數值仿真

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CMP拋光液流場數值仿真 4.6

建立了一種基于流體動力學的化學機械拋光模型,利用流體動力學方法推導了拋光液流場的雷諾方程,并通過計算機求解偏微分方程,對拋光過程中晶片和拋光墊之間的拋光液液體薄膜厚度以及液體薄膜壓力分布進行了仿真計算。分析了液膜厚度、晶片傾斜角和液膜負荷力、液膜壓力力矩的關系,討論了拋光載荷、拋光轉速對最小液膜厚度、晶片傾斜角以及液膜壓力分布的影響。結果表明,不同拋光速度和拋光載荷下,拋光液膜厚度、液膜壓力和晶片傾斜角呈現(xiàn)不同的分布規(guī)律。比較仿真和實驗中拋光輸入參數對晶片下液膜厚度的影響曲線發(fā)現(xiàn),仿真結果與實驗結果的變化趨勢一致,證明建立的拋光液液膜厚度及液膜壓力分布模型的有效性。

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納米防污拋光磚 納米防污拋光磚 納米防污拋光磚

納米防污拋光磚

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納米防污拋光磚 4.6

專利號:200610123726.x拋光磚防污處理主要采用以下兩種技術方法:其一,在拋光磚表面涂一層有機硅防污蠟,封閉微細毛孔。由于石蠟在拋光磚上的附著力差,在防污劑凝固后,體積縮小或膜變薄,對于一些滲透力較強,或帶有親油基團的污漬來說,防污效果不明顯。

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納米拋光液熱門文檔

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高性能納米雜化拋光磚防護液的研究 高性能納米雜化拋光磚防護液的研究 高性能納米雜化拋光磚防護液的研究

高性能納米雜化拋光磚防護液的研究

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高性能納米雜化拋光磚防護液的研究 4.6

本文分別利用溶膠-凝膠法和水性納米粒子的表面改性技術配制了三種新型的納米雜化防護液,研究了防護液干燥成膜的疏水性、鉛筆硬度、透明性以及其對拋光磚的滲透粘接情況。經納米雜化防護液處理后的瓷質拋光磚均具有良好的持久防污性和耐磨性能。

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420不銹鋼電解拋光液配方

420不銹鋼電解拋光液配方

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420不銹鋼電解拋光液配方 4.8

淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 420不銹鋼電解拋光液配方 配方基本敘述: 一款針對304不銹鋼的電化學拋光液配方,通過適當調試,便可達到 高光亮效果,電解液可達到兩年左右的換槽期。 配方 原料名稱質量百分 比 原料要求配制方法工藝參數 磷酸51—55% 磷酸比重1.70 (含量85%)1、磷酸——硫酸,混合攪拌溶解 均勻 2、在上述混酸中,加入“txd110 光亮劑”攪拌溶解均勻 3、技術探討: 一五二六九三七零三六一 電解液工作溫度:55—80℃ 整流后電壓:7—9v 電流密度:8—15a/dm2 硫酸42—46% 硫酸1.84 (含量98%) 三羥甲基戊 醇聚氧乙烯 聚氧丙烯醚 3%三羥甲基戊醇 聚氧乙烯聚氧 丙烯醚型號: 說明 ●以上配方對201、202、304、304l、316、316l、321、4

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316不銹鋼電解拋光液配方

316不銹鋼電解拋光液配方

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316不銹鋼電解拋光液配方 4.6

淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 316不銹鋼電解拋光液配方 316專用描述: 一款針對304不銹鋼的電化學拋光液配方,通過適當調試,便可達到 高光亮效果,電解液可達到兩年左右的換槽期。 配方 原料名稱質量百分 比 原料要求配制方法工藝參數 磷酸51—55% 磷酸比重1.70 (含量85%)1、磷酸——硫酸,混合攪拌 溶解均勻 2、在上述混酸中,加入 “txd110光亮劑”攪拌溶解 均勻 3、技術探討: 一五二六九三七零三六一 電解液工作溫度:55—80℃ 整流后電壓:7—9v 電流密度:8—15a/dm2 硫酸42—46% 硫酸1.84 (含量98%) 三羥甲基戊 醇聚氧乙烯 聚氧丙烯醚 3%三羥甲基戊醇 聚氧乙烯聚氧 丙烯醚型號: 說明 ●以上配方對201、202、304、304l、316、316l、321

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不銹鋼電解拋光液操作工藝流程

不銹鋼電解拋光液操作工藝流程

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不銹鋼電解拋光液操作工藝流程 4.3

森源化工專業(yè)生產不銹鋼電解拋光液不銹鋼鈍化液不銹鋼電解拋光設備銅材拋光液 森源化工專業(yè)生產不銹鋼電解拋光液不銹鋼鈍化液不銹鋼電解拋光設備銅材拋光液 不銹鋼電解拋光液操作工藝流程 森源牌環(huán)保不銹鋼電解拋光液已通過sgs認證,不含鉻酸,符合環(huán)保要求。適合所有不銹鋼和不銹鐵的拋光,通用性強(不銹鋼材料可拋出鏡面效果)。槽液24小時連續(xù) 工作可以保用一年以上。成本低,比普通型電解拋光液省一半的用電量。無不良氣味。 除油脫脂→浸泡洗→電解拋光→浸泡洗→脫膜→浸泡洗→中和→浸泡洗→過純水→烘干包裝 工序說明: 1.清洗除油后漂水。 森源化工專業(yè)生產不銹鋼電解拋光液不銹鋼鈍化液不銹鋼電解拋光設備銅材拋光液 森源化工專業(yè)生產不銹鋼電解拋光液不銹鋼鈍化液不銹鋼電解拋光設備銅材拋光液 2.將電解拋光液加熱至55-75度(可用石英棒或鈦制加熱

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201不銹鋼電解拋光液配方

201不銹鋼電解拋光液配方

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201不銹鋼電解拋光液配方 4.4

淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 201不銹鋼電解拋光液配方 201專用性: 一款針對201不銹鋼的電化學拋光液配方,通過適當調試,便可 達到高光亮效果,電解液可達到兩年左右的換槽期。 配方 原料名稱質量百分 比 原料要求配制方法工藝參數 磷酸51—55% 磷酸比重1.70 (含量85%)1、磷酸——硫酸,混合攪拌溶 解均勻 2、在上述混酸中,加入“txd110 光亮劑”攪拌溶解均勻 3、技術探討: 一五二六九三七零三六一 電解液工作溫度:55—80℃ 整流后電壓:7—9v 電流密度:8—15a/dm2 硫酸42—46% 硫酸1.84 (含量98%) 三羥甲基戊 醇聚氧乙烯 聚氧丙烯醚 3%三羥甲基戊醇 聚氧乙烯聚氧 丙烯醚型號: 說明 ●以上配方對201、202、304、304l、316、316l、32

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納米拋光液精華文檔

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304不銹鋼電解拋光液配方

304不銹鋼電解拋光液配方

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304不銹鋼電解拋光液配方 4.7

淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 淄博拓新達新技術開發(fā)有限公司 304不銹鋼電解拋光液配方 304適配性: 一款針對304不銹鋼的電化學拋光液配方,通過適當調試,便可達到 高光亮效果,電解液可達到兩年左右的換槽期。 配方 原料名稱質量百分 比 原料要求配制方法工藝參數 磷酸51—55% 磷酸比重1.70 (含量85%)1、磷酸——硫酸,混合攪 拌溶解均勻 2、在上述混酸中,加入 “txd110光亮劑”攪拌溶 解均勻 3、技術探討: 一五二六九三七零三六一 電解液工作溫度:55—80℃ 整流后電壓:7—9v 電流密度:8—15a/dm2 硫酸42—46% 硫酸1.84 (含量98%) 三羥甲基戊 醇聚氧乙烯 聚氧丙烯醚 3%三羥甲基戊醇 聚氧乙烯聚氧 丙烯醚型號: 說明 ●以上配方對201、202、304、304l、316、316l、321

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納米金剛石作為拋光材料的應用 納米金剛石作為拋光材料的應用 納米金剛石作為拋光材料的應用

納米金剛石作為拋光材料的應用

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納米金剛石作為拋光材料的應用 4.6

拋光是金剛石應用的傳統(tǒng)領域,即便在今天,拋光包括超精磨仍是儀表和機械制造工藝過程中的一個最重要環(huán)節(jié)??墒?常用的磨料顆粒尺寸均大于0.1μm(100nm),已不能滿足高級光學玻璃、晶體、寶石和金相表面的超高精度的表面加工。納米金剛石兼具有金剛石和納米顆粒的雙重特性。納米金剛石的易團聚性是嚴重影響其未能大量應用的重要原因。分散與分級技術是其能否實實在在服務于現(xiàn)代工業(yè)和科學技術的關鍵。初步研究結果表明,納米金剛石應該是一種理想的超精拋光材料。本文對其發(fā)展現(xiàn)狀,團聚與分散及其初步應用的效果等做了簡要的闡述。

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納米磨料制備花崗石拋光磨具的研究 納米磨料制備花崗石拋光磨具的研究 納米磨料制備花崗石拋光磨具的研究

納米磨料制備花崗石拋光磨具的研究

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納米磨料制備花崗石拋光磨具的研究 4.7

以納米三氧化二鋁和納米二氧化錫等作為復合納米磨料,以酚醛樹脂為粘結劑在160℃和8mpa的條件下預壓,然后在硬化爐里硬化制備花崗石拋光磨具。磨削對比試驗表明:納米磨料花崗石拋光磨具的磨削性能、耐磨性能、耐水性能均優(yōu)于普通磨料花崗石拋光磨具,前者的拋光光潔度達98度

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瓷質拋光磚納米防污的顯微結構研究 瓷質拋光磚納米防污的顯微結構研究 瓷質拋光磚納米防污的顯微結構研究

瓷質拋光磚納米防污的顯微結構研究

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瓷質拋光磚納米防污的顯微結構研究 4.3

通過考察納米防污劑涂覆過程中不同階段拋光磚表面顯微結構的特點,深入討論了納米防污劑的作用機制及影響防污效果的主要因素;確定只有經納米防污劑a液、b液組合應用,且b液有效成分完全固化后,才能實現(xiàn)對拋光表面氣孔和缺陷的完美、持久修復,達到有效提高瓷質拋光磚防污、抗污性能的目的。

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大米雙輥拋光機 大米雙輥拋光機 大米雙輥拋光機

大米雙輥拋光機

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大米雙輥拋光機 4.3

湖北省安陸市天明糧食機械有限公司生產的mp-mg18.5×2b型大米雙輥拋光機,是在吸收國外同類產品

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納米拋光液最新文檔

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免洗小米拋光工藝優(yōu)化研究

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免洗小米拋光工藝優(yōu)化研究 4.7

為優(yōu)化免洗小米拋光工藝,在單因素試驗基礎上,選擇上光劑的濃度、溫度和添加量為自變量,洗米水的濁度為響應值,根據中心組合試驗設計原理采用3因素3水平響應面分析法,模擬得到二次多項式回歸方程預測模型,并確定免洗小米拋光的最佳工藝條件為:濃度30%、溫度30℃、添加量1%,濁度為54.8ntu。

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玉米脫皮拋光機 玉米脫皮拋光機 玉米脫皮拋光機

玉米脫皮拋光機

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玉米脫皮拋光機 4.6

河南省??h裕華重工機械制造有限公司生產銷售的ymhln-110型玉米脫皮拋光機,采用特大超長新型脫皮拋光室和旋轉八角篩,可與大型成套設備配

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納米CdS/碳納米管復合材料的光電特性 納米CdS/碳納米管復合材料的光電特性 納米CdS/碳納米管復合材料的光電特性

納米CdS/碳納米管復合材料的光電特性

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納米CdS/碳納米管復合材料的光電特性 4.4

基于cds良好的光學性質和單壁碳納米管(swcnt)優(yōu)異的電子學性質,制備了納米cds/swcnt復合材料和納米cds/聚乙烯亞胺(pei)功能化swcnt復合材料,并利用日光燈光源模擬太陽光研究了它們的光電性質.結果表明,納米cds/swcnt復合材料呈現(xiàn)顯著的負光電導現(xiàn)象,而納米cds/pei-swcnt復合材料呈現(xiàn)強烈的正光電導現(xiàn)象.用電子轉移理論對這一結果進行了解釋.兩樣品在大角度彎折的情況下,光電性質均基本沒有變化.因此,納米cds/碳納米管復合材料在光電領域,尤其是新興的柔性光電子學領域有著良好的應用前景.

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硬盤微晶玻璃基板的納米金剛石拋光 硬盤微晶玻璃基板的納米金剛石拋光 硬盤微晶玻璃基板的納米金剛石拋光

硬盤微晶玻璃基板的納米金剛石拋光

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硬盤微晶玻璃基板的納米金剛石拋光 4.6

應用經良好分散的納米金剛石對硬盤微晶玻璃基板進行拋光,獲得了亞納米級表面(0.618nm)。分析了納米金剛石拋光的行為,展望了納米金剛石在超精密拋光領域的應用。

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新型納米防污劑對瓷質拋光磚的表面修復 新型納米防污劑對瓷質拋光磚的表面修復 新型納米防污劑對瓷質拋光磚的表面修復

新型納米防污劑對瓷質拋光磚的表面修復

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新型納米防污劑對瓷質拋光磚的表面修復 4.7

論述了瓷質拋光磚表面被新型納米防污劑處理前后的顯微結構,新型納米防污劑的表面修復作用和防污機理。納米防污劑有效填充了拋光磚表面的開口氣孔,顯著提高了拋光磚的防污特性。經新型納米防污劑處理的拋光磚具有優(yōu)異、持久的防污性能。

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納米拋光液 納米拋光液 納米拋光液

納米拋光液

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納米拋光液 4.5

隨著半導體工業(yè)的飛速發(fā)展,化學機械拋光(cmp)漸成為集成電路制造中的一項關鍵工藝,其中拋光液是化學機械拋光過程中重要的消耗品,長期以來國內主要硅材料廠及半導體元件廠依賴進口產品,不僅價格昂貴,而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所納米技術研究室cmp小組開展了“納米拋光液產業(yè)化關鍵技術”研究,

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自米拋光機 自米拋光機 自米拋光機

自米拋光機

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自米拋光機 4.5

該機是在引用國際先進技術的基礎上,結合中國的實際情況,精心研制而成的新一代產品。該系列產品的結構技術參數經過多次優(yōu)化設計,使其拋光工藝效果更加顯著。

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MPG系列白米拋光機 MPG系列白米拋光機 MPG系列白米拋光機

MPG系列白米拋光機

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MPG系列白米拋光機 4.7

該機在拋光過程中,采用可控溫度噴霧著水,在拋光輥和不銹鋼篩板的共同作用下使表面形成晶瑩透明的膠質層,不斷提高白米的光潔度。

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MPGV大米拋光機 MPGV大米拋光機 MPGV大米拋光機

MPGV大米拋光機

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MPGV大米拋光機 4.8

該機采用高壓空氣噴霧著水和進水自動控制裝置。主機在負壓下運行,拋光時大量空氣進入拋光輥筒,使米粒在碾白室內浮動松散,同時將拋光產生的糠粉和大量濕熱空氣吸到拋光機外,降低大米的濕度和溫度,使大米表面光潔,延長保存時間。

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新型環(huán)保不銹鋼化學拋光液的研制 新型環(huán)保不銹鋼化學拋光液的研制 新型環(huán)保不銹鋼化學拋光液的研制

新型環(huán)保不銹鋼化學拋光液的研制

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新型環(huán)保不銹鋼化學拋光液的研制 4.4

傳統(tǒng)不銹鋼拋光工藝配方多含有鉻酸、氫氟酸等毒害較大的物質,針對傳統(tǒng)不銹鋼化學拋光劑的缺點,研制出了一種高性能環(huán)保不銹鋼化學拋光劑配方。通過試驗,得出了該配方的最佳工藝參數,并對影響拋光效果的因素進行了分析。經實踐證明,經該工藝拋光后的樣件表面可達到電拋光的光亮效果。

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吳微

職位:市政交通規(guī)劃工程師

擅長專業(yè):土建 安裝 裝飾 市政 園林

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