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隨著半導(dǎo)體工業(yè)的飛速發(fā)展，化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）漸成為集成電路制造中的一項(xiàng)關(guān)鍵工藝，其中拋光液是化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中重要的消耗品，長(zhǎng)期以來(lái)國(guó)內(nèi)主要硅材料廠及半導(dǎo)體元件廠依賴進(jìn)口產(chǎn)品，不僅價(jià)格昂貴，而且受制于人。中科院上海微系統(tǒng)所納米技術(shù)研究室CMP小組開(kāi)展了“納米拋光液產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù)”研究，
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