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砂輪表面的氧化膜對保證在線電解修整(ELID)磨削的非線性電解以及對改善磨削表面質(zhì)量都具有極其重要的作用.利用納米壓痕技術(shù)研究了氧化膜的硬度、彈性模量及剛度.研究結(jié)果表明,氧化膜的硬度約為210MPa,是基體硬度的1/4~1/3,使氧化膜有效地隔離了基體與工件,避免基體劃傷磨削表面;氧化膜彈性模量約為30~50 GPa,是基體彈性模量的1/6~1/3,因此彈性變形更易發(fā)生,有利于磨粒的協(xié)同性與等高性;氧化膜剛度約為15μN/nm,由于氧化膜的動態(tài)更新,其值與磨削參數(shù)有關(guān).在精密磨削時,由于氧化膜發(fā)生彈性變形,減小了磨粒的出刃高度和磨削深度,使磨削表面質(zhì)量得到改善.