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該文利用石英晶片的壓電特性,針對傳統(tǒng)傾角傳感器的缺點,提出了一種新型的傾角傳感器設(shè)計方法。應(yīng)用本文提出的設(shè)計方法設(shè)計出的傳感器與其他傳感器相比具有體積小,靈敏度高,抗干擾能力強等優(yōu)點。同時對傳感器的原理,結(jié)構(gòu),信號處理電路進行了分析。
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設(shè)計和制作了一種雙軸微磁通門傳感器。這種微型傳感器為螺線管型,磁芯設(shè)計為矩形環(huán)狀閉合結(jié)構(gòu),磁芯每條邊上均繞有激勵線圈和檢測線圈,保證傳感器能夠同時檢測X軸和Y軸兩個方向上的弱磁場。采用了MEMS技術(shù)制作微型傳感器,其中磁芯用電鍍的方法獲得,材料為N i0.8Fe0.2坡莫合金,厚度5μm。制作出的微型傳感器的尺寸為7×7mm2,單元內(nèi)部最小線寬為50μm。檢測了線圈的電氣導通性,測得電阻值為110歐姆。該微型傳感器能夠檢測弱磁場,因此可用于航天、醫(yī)學和軍事等領(lǐng)域。
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