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更新時(shí)間：2025.04.12
金剛石砂輪表面形貌測量系統(tǒng)

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為了實(shí)現(xiàn)對金剛石砂輪表面形貌的非接觸精密測量,開發(fā)了基于干涉原理的金剛石砂輪表面形貌專用測量系統(tǒng),研究了該系統(tǒng)的測量原理和關(guān)鍵技術(shù)。根據(jù)垂直掃描白光干涉顯微測量原理以及被測對象的特征,提出了適用于砂輪測量的方法,研究了系統(tǒng)的自動(dòng)掃描范圍、垂直方向的掃描方法、單次測量三維表面的恢復(fù)算法和磨粒的識(shí)別算法。結(jié)合自行設(shè)計(jì)的夾具搭建了砂輪測量系統(tǒng),并對多次測量拼接算法進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:基于區(qū)域重合大小(重合度為30%~50%)的拼接算法獲得的拼接前后重合區(qū)域的相關(guān)系數(shù)均大于0.8,拼接后重合區(qū)域的高度差均小于0.4μm。得到的結(jié)果顯示所搭建的系統(tǒng)可以恢復(fù)砂輪的形貌,其測量范圍和精度滿足砂輪磨粒評(píng)定和分析的要求。

金剛石砂輪V形尖端的數(shù)控對磨微細(xì)修整技術(shù)

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針對金剛石砂輪V形尖端的微細(xì)修整困難的問題,開發(fā)出一種對磨成型的V形尖端修整技術(shù)。在數(shù)控修整中,砂輪作V形的直線插補(bǔ)運(yùn)動(dòng)與修整工具對磨,逐漸被修整成V形尖端。本實(shí)驗(yàn)中修整工具分別是#600和#180綠碳化硅(GC)油石,砂輪分別為SD 400和SD 600金剛石砂輪。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,較細(xì)粒度的修整工具不僅可以將砂輪V形尖端修整出更小的圓弧半徑,而且也能夠?qū)⑽⑿∧チＰ掬J得更鋒利,從而使加工的單晶硅微溝槽形狀更加整齊。此外,采用修整后的圓弧半徑小于20μm的SD 600金剛石砂輪V形尖端可以實(shí)現(xiàn)光纖石英微陣列溝槽的微細(xì)加工,也可以在SiC陶瓷和WC合金基板上加工出微錐塔陣列空間的功能表面。因此,數(shù)控對磨在位修整的工藝可以用于金剛石砂輪V形尖端的微細(xì)修整,實(shí)現(xiàn)硬脆性基板的微細(xì)磨削加工。

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