電阻真空計校準

一般先校準零點，再進行滿度校準。

(1)校準零點。校準零點需對被測真空系統(tǒng)抽真空，一旦電離規(guī)測得真空度高于1.0^-1Pa(如9.9 X10^-2Pa)，按“校零”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正零點，當顯示1.0^-1Pa時，表示規(guī)管零點已校準。對于無自動零點校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。

(2)滿度校正。校準完零點后，需對其滿度校正。按滿度校正過程要求，對被測爐腔放人大氣，確保被校電阻規(guī)所測位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。按“滿度”按鈕，對應指示燈亮或快速閃爍，真空計自動校正滿度，當顯示1.0^5 Pa時，表示規(guī)管滿度已校準。對于無自動滿度校準的電阻真空計，可通過操作面板上的電位器旋鈕手動調整。2100433B

Pirani皮拉尼真空計構造。金屬圓筒內部設有一白金細線,兩端連接電極。通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立

Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。

氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為

Qg = αΛπda(T－T0)p (2)

T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

Qs = Sκ(T－T0)/L (3)

Qr = πdaσε(T4－T04) (4)

(3)是電極的熱傳導,其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電極的長度。

(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

I2R = Ap I02R (5)

A = αΛπda(T－T0) (6)

I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。

電阻真空計的

低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。

世界著名真空企業(yè)，在皮拉尼真空計的生產工藝上采用白金絲，代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈絲。大大提高了產品穩(wěn)定性。穩(wěn)定性的提高使得皮拉尼真空計獲得更為廣泛的應用。隨著真空技術的普及，大量應用于單晶爐設備，滿足光伏行業(yè)基礎單晶硅生產。應用于節(jié)能燈毛管排氣臺，解決了以往由于火花檢漏儀打火和高溫造成的真空計死機問題。如果大家仔細觀察很多現代真空技術生產線設備，會發(fā)現這種Tamagawa真空計小部件，應用廣泛。真空已經隨著商業(yè)工業(yè)進步，走進平常生活緊密相關的領域。

電阻真空計，低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。

低溫的氣體分子碰撞高溫固體時,會從固體奪取熱量。通過被氣體分子奪取的熱量來計算壓力的真空計被成為熱傳導真空計。熱傳導真空計主要被應用于中低真空領域。代表性的熱傳導真空計包括Pirani真空計和熱電偶真空計。

世界著名真空企業(yè)玉川真空，在皮拉尼真空計的生產工藝上采用白金絲，代替?zhèn)鹘y(tǒng)燈絲。大大提高了產品穩(wěn)定性。穩(wěn)定性的提高使得皮拉尼真空計獲得更為廣泛的應用。隨著真空技術的普及，大量應用于單晶爐設備，滿足光伏行業(yè)基礎單晶硅生產。應用于節(jié)能燈毛管排氣臺，解決了以往由于火花檢漏儀打火和高溫造成的真空計死機問題。如果大家仔細觀察很多現代真空技術生產線設備，會發(fā)現這種TAMAGAWA真空計小部件，應用廣泛。真空已經隨著商業(yè)工業(yè)進步，走進平常生活緊密相關的領域。

電阻計原理

Pirani皮拉尼真空計構造。金屬圓筒內部設有一白金細線,兩端連接電極。通過電極給白金細線提供電流時,白金細線會發(fā)熱,氣體分子碰撞白金細線或熱輻射或通過固體熱傳導等方式,白金線的熱量會被奪走。單位時間內以上三種方式奪走的熱量為Qg,Qr,Qs,則平衡狀態(tài)下時以下公式成立

Q = I2R = Qg Qr Qs (1)

Q是單位時間細線放出的熱量,R是細線的電阻,I是細線的電流。

氣體的平均自由行程比細線的直徑大很多時,Qg通過自由分子的熱傳導被表示為

Qg = αΛπda(T－T0)p (2)

T和T0分別為細線和金屬圓筒的溫度,P為氣體壓力,a是細線長度。 剩下的Qs和Qr可以分別表示如下

Qs = Sκ(T－T0)/L (3)

Qr = πdaσε(T4－T04) (4)

(3)是電極的熱傳導,其中S是細線的斷面積,κ是固體的傳導率,L是電極的長度。

(4)式代表熱輻射,σ和ε分別被稱為常數和固體輻射率。如果保持T和T0一定,則(3)和(4)式為常數。如果用I02R表示一定量的固體熱傳導和熱輻射,則式1可以表示為

I2R = Ap I02R (5)

A = αΛπda(T－T0) (6)

I0是壓力為0的時候細線的電流, 是彌補固體熱傳導和熱輻射而帶來的熱量損失。A式是不依存壓力的定數如果已知細線的電阻R,電流I0及定數A,則可以通過(5)式求得壓力P。

中心配備有國際上先進的檢驗設備，如從美國進口的薄膜真空計，從德國進口的皮拉尼真空計，從丹麥進口的噪聲振動測量儀等，能夠對各種真空泵、真空閥門、真空機組、真空鍍膜設備等進行全性能檢驗，同時中心建有真空測量儀表校準室，采用膨脹法標準裝置對電阻真空計、電離真空計和熱偶真空計等進行校準。

• 皮拉尼真空計

• 熱電偶真空計

• 熱敏電阻真空計

• 定電流式燈絲的溫度會隨著真空壓力的變化而變化，由于燈絲為高電阻溫度系數材料，燈絲的溫度的改變會導致燈絲電阻值發(fā)生變化，以電阻電橋的感測方式來測定電阻的改變就可以證明出真空壓力的變化。 下圖中惠斯通電橋中最右邊有一感測頭燈絲和一參考感測頭燈絲。參考感測頭有著與感測頭極為相似的構造，但其內部已抽至相當高的真空狀態(tài)并加以密封，并盡可能接近于感測頭感測壓力的位置，有著環(huán)境溫度補償的作用。電橋的另一邊按順序有著一可變電阻R₁和固定電阻R₂。該電橋并聯與一電源上，并在兩個感應頭間和兩個電阻間接駁一個平衡電流表G。 當感測頭內的真空壓力改變的時候，感測頭燈絲電阻的阻值也會隨著發(fā)生變化，將會導致電橋中的平衡電流表的讀數不在為零而有所變化。此時可調整電橋中的可變電阻R₁，使平衡電流表的讀數重新為零。當電源提供的電流恒定時，由電橋兩段電壓的變化，可以察覺到燈絲電阻的變化，經由是黨的轉換與校對工作就可以從跨接在電橋的電壓表讀出真空壓力值。

• 定電壓式當感應頭里的燈絲上維持一定的電壓時，燈絲的溫度會隨真空壓力而發(fā)生變化。以真空壓力變高時為例，此時熱傳導帶走的熱能增加，燈絲的溫度會下降，由于燈絲為高電阻溫度系數材料，燈絲的溫度變低會導致燈絲的電阻值上升，當燈絲兩段的電壓不發(fā)生變化的時候，會使通過燈絲的電流降低，因此電流的減少也就證明出真空壓力增高。反之，當真空壓力變低時，由電流的增加可以證明出真空壓力變低。