申請日

2017.04.05

專利權(quán)人

艾克斯特朗歐洲公司

地址

德國黑措根拉特

發(fā)明人

C.加勒夫斯基;?S.E.薩瓦斯;?M.穆基諾維克

Int. Cl.

C23C16/44(2006.01)I;?C23C16/455(2006.01)I;?H01J37/32(2006.01)I

專利代理機(jī)構(gòu)

北京市柳沈律師事務(wù)所11105

代理人

曲瑩

優(yōu)先權(quán)

15/091,412 2016.04.05 US

PCT進(jìn)入國家階段日

2018.11.02

PCT申請數(shù)據(jù)

PCT/EP2017/058044 2017.04.05

PCT公布數(shù)據(jù)

WO2017/174618 EN 2017.10.12

對比文件

CN 1628368 A,2005.06.15;? CN 102016118 A,2011.04.13;? CN 102514214 A,2012.06.27;? JP 特開2003-68711 A,2003.03.07

化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中的排氣歧管造價(jià)信息

市場價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價(jià)
(除稅)
工程建議價(jià)
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
沉積 印花、砂巖凸釉、干粒滾筒印花,VC,800*800,優(yōu)等品 查看價(jià)格 查看價(jià)格

路易摩登

13% 福州東輝建材有限公司
沉積 印花、砂巖凸釉、干粒滾筒印花,VC,600*600,優(yōu)等品 查看價(jià)格 查看價(jià)格

路易摩登

13% 福州東輝建材有限公司
沉積灰崗石 厚度(mm):15, 查看價(jià)格 查看價(jià)格

萬峰

m2 13% 萬峰石材科技股份有限公司
沉積灰崗石 厚度(mm):16.5, 查看價(jià)格 查看價(jià)格

萬峰

m2 13% 萬峰石材科技股份有限公司
沉積 印花、砂巖凸釉、干粒滾筒印花,VC,600*900,優(yōu)等品 查看價(jià)格 查看價(jià)格

路易摩登

13% 福州東輝建材有限公司
沉積灰崗石 厚度(mm):18, 查看價(jià)格 查看價(jià)格

萬峰

m2 13% 萬峰石材科技股份有限公司
沉積灰崗石 厚度(mm):20, 查看價(jià)格 查看價(jià)格

萬峰

m2 13% 萬峰石材科技股份有限公司
顆粒沉積天平 KCT-1 1μm-1050μm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

金恒

臺(tái) 13% 濟(jì)南金恒翔機(jī)電有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價(jià)
含稅
信息價(jià)
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
加熱 箱式RJX-75-9 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2006年1月信息價(jià)
加熱 箱式RJX-45-9 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2005年1季度信息價(jià)
混捏加熱 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年2季度信息價(jià)
混捏加熱 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2012年1季度信息價(jià)
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臺(tái)班 汕頭市2011年2季度信息價(jià)
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臺(tái)班 汕頭市2011年1季度信息價(jià)
混捏加熱 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2010年4季度信息價(jià)
混捏加熱 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 汕頭市2010年4季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
(元)
供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
歧管 歧管|957m 3 查看價(jià)格 深圳市云帆金屬材料有限公司 廣東   2021-04-08
π數(shù)字 展項(xiàng)通過觸摸屏方式循環(huán)播放π數(shù)列,參觀者可以輸入自己生日,在π數(shù)列中找到自己生日.|1項(xiàng) 1 查看價(jià)格 鴻瑞工美(深圳)實(shí)業(yè)有限公司 全國   2022-10-24
歧管 1.名稱:分歧管2.材質(zhì):銅|417套 1 查看價(jià)格 青島宏泰金屬制品有限公司 全國   2022-07-07
歧管 1、銅制分歧管2.規(guī)格、壓力等級 :規(guī)格綜合|14個(gè) 1 查看價(jià)格 青島宏泰銅業(yè)有限公司 四川   2020-11-04
π數(shù)字 展項(xiàng)通過觸摸屏方式循環(huán)播放π數(shù)列,參觀者可以輸入自己生日,在π數(shù)列中找到自己生日.|1項(xiàng) 1 查看價(jià)格 安徽東一特電子技術(shù)有限公司 全國   2022-09-16
π數(shù)字 展項(xiàng)通過觸摸屏方式循環(huán)播放π數(shù)列,參觀者可以輸入自己生日,在π數(shù)列中找到自己生日.|1項(xiàng) 1 查看價(jià)格 合肥金諾數(shù)碼科技股份有限公司 全國   2022-09-14
π數(shù)字 展項(xiàng)通過觸摸屏方式循環(huán)播放π數(shù)列,參觀者可以輸入自己生日,在π數(shù)列中找到自己生日.|1項(xiàng) 1 查看價(jià)格 安徽盛鴻展覽工程有限公司 全國   2022-08-15
Y型分歧管 Y型分歧管(內(nèi)機(jī))|8個(gè) 3 查看價(jià)格 廣州市永菱制冷設(shè)備有限公司 廣東   2021-09-09

本發(fā)明提供一種用于從噴涂系統(tǒng)(尤其是化學(xué)氣相沉積(CVD)或物理氣相沉積(PVD)反應(yīng)爐)中抽取工藝氣體的裝置,其包括具有流道的排氣歧管(1),其中所述流道包括吸氣口(2)、在流動(dòng)方向(S)上的鄰接抽氣段(3)、以及在流動(dòng)方向(S)上布置在抽氣室(3)的下游并通入吸氣管線(4、4'、4")的真空泵口(20、20',20")的集氣段(5),其中吸氣口(2)的沿長邊方向(L)延伸的長度顯著大于沿窄邊方向(W)延伸的寬度,并且其中抽氣室(3)和集氣室(5)由沿長邊方向(L)延伸的長側(cè)壁(6、8)和沿窄邊方向(W)延伸的窄側(cè)壁(7)限定,該限定方式使得因吸氣管線(4、4'、4")中產(chǎn)生的負(fù)壓而在流道中形成氣流。在抽氣段(3)和集氣段(5)之間的至少一個(gè)中間空間(9)中設(shè)有阻流結(jié)構(gòu),該阻流結(jié)構(gòu)在位于兩個(gè)邊緣區(qū)域(R)之間的中央?yún)^(qū)域(Z)中對氣流施加的流動(dòng)阻力比在邊緣區(qū)域(R)中施加的流動(dòng)阻力大。

化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中的排氣歧管基本信息常見問題

  • 什么叫 排氣歧管?

    排氣歧管,是與發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸體相連的,將各缸的排氣集中起來導(dǎo)人排氣總管的,帶有分歧的管路。對它的要求主要是,盡量減少排氣阻力,并避免各缸之間相互干擾。 排氣過分集中時(shí),各缸之間會(huì)產(chǎn)生相互干擾,也就是...

  • 旺座中心的基本信息

    租售狀態(tài): 出售開 發(fā) 商: 北京天亞物業(yè)開發(fā)有限公司投 資 商: ----占地面積: 11800.00平方米總建筑面積: 100000.00平方米詳細(xì)信息售 樓 處: 北京市朝陽區(qū)光華路嘉裹中心飯店...

  • 進(jìn)氣歧管和排氣歧管同時(shí)布置在一側(cè)是否可行

    進(jìn)、排氣歧管布置在發(fā)動(dòng)機(jī)同一側(cè),不可行。沒有汽車工程師會(huì)采用這種方案,實(shí)際上也沒汽車是這么布置的。主要原因有兩個(gè):一是進(jìn)、排氣口是位于發(fā)動(dòng)機(jī)兩側(cè)的,卻要把進(jìn)、排氣歧管布置在同一側(cè),這在布置上有困難,也...

化學(xué)氣相沉積反應(yīng)爐中的排氣歧管基本信息文獻(xiàn)

氣相沉積 氣相沉積

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大?。?span id="hv00avd" class="single-tag-height">423KB

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評分: 4.5

氣相沉積

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玻璃陶瓷基板上銅薄膜的化學(xué)氣相沉積 玻璃陶瓷基板上銅薄膜的化學(xué)氣相沉積

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大?。?span id="g0av6z5" class="single-tag-height">423KB

頁數(shù): 3頁

評分: 4.5

使用低介電常數(shù)基板和高電導(dǎo)率、高抗電遷移的金屬Cu進(jìn)行布線,可以提高高密度電子封裝的傳輸速度和可靠性。采用乙酰丙酮銅作為前驅(qū)體,在常壓下利用化學(xué)氣相沉積技術(shù)對玻璃陶瓷基板進(jìn)行Cu薄膜金屬化。利用熱重分析、X射線衍射和掃描電子顯微鏡等技術(shù)對前驅(qū)體、Cu薄膜進(jìn)行分析觀察。結(jié)果表明:影響Cu導(dǎo)體的電阻的主要因素是沉積溫度。在溫度為290~310℃,N2氣流量為200~350mL/min和H2氣流量為450~600mL/min的條件下,獲得了致密的Cu薄膜,Cu導(dǎo)體方塊電阻為25mΩ。

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排氣系統(tǒng)排氣歧管

圖中顯示四缸引擎其中兩缸的排氣歧管。由左邊的剖面可以看到排氣歧管直接連接在排氣孔后,再結(jié)合為一。排氣歧管在設(shè)計(jì)上會(huì)盡量讓各缸的阻力相同,以讓排氣順暢。

新鮮空氣與汽油混合進(jìn)入引擎燃燒后,產(chǎn)生高溫高壓的氣體推動(dòng)活塞,當(dāng)氣體能量釋放后,對引擎就不再有價(jià)值,這些氣體就成為廢氣被排放出引擎外。廢氣自汽缸排出后,隨即進(jìn)入排氣歧管,各缸的排氣歧管匯集后,經(jīng)過排氣管將廢氣排出。而就如進(jìn)氣歧管一樣,氣體在排氣歧管內(nèi)也是以脈沖的方式離開引擎,所以各缸的排氣歧管長度及彎度也要設(shè)計(jì)成盡量相同,使各缸的排氣都能一樣的順暢。

排氣歧管,是與發(fā)動(dòng)機(jī)氣缸體相連的,將各缸的排氣集中起來導(dǎo)入排氣總管的,帶有分歧的管路。對它的要求主要是,盡量減少排氣阻力,并避免各缸之間相互干擾。 排氣過分集中時(shí),各缸之間會(huì)產(chǎn)生相互干擾,也就是某缸排氣時(shí),正好碰到別的缸竄來的沒有排凈的廢氣。這樣,就會(huì)增加排氣的阻力,進(jìn)而降低發(fā)動(dòng)機(jī)的輸出功率。解決的辦法是,使各缸的排氣盡量分開,每缸一個(gè)分支,或者兩缸一個(gè)分支,并使每個(gè)分支盡量加長并成型-以減少不同管內(nèi)的氣體相互影響。 為了減少排氣阻力,有的賽車采用不銹鋼管制造排氣歧管。

排氣歧管應(yīng)考慮到發(fā)動(dòng)機(jī)動(dòng)力性能、發(fā)動(dòng)機(jī)燃油經(jīng)濟(jì)性能、排放標(biāo)準(zhǔn)、發(fā)動(dòng)機(jī)的成本、匹配的整車前艙布置及溫度場等。

目前普遍使用的排氣歧管從材料和加工工藝上分有鑄鐵歧管和不銹鋼歧管兩個(gè)類型。

用以將幾個(gè)氣缸排出的廢氣匯集排出的容積較小的排氣歧管。其管內(nèi)廢氣壓力是脈動(dòng)的。

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