(1)低溫泵在獲取潔凈和無油真空方面，具有其他產(chǎn)品無法相比的優(yōu)勢。它可以作為研究其他真空泵對真空污染程度的標(biāo)準(zhǔn)；

(2)低溫泵在抽除水蒸汽和其他潮濕混合氣方面具有較大抽速；

(3)低溫泵在抽取輕重量分子方面也具有較大抽速；

(4)在要求大抽速的真空設(shè)備中，低溫泵是最經(jīng)濟(jì)的。商品化的低溫泵可以在很小的口徑下提供大的抽速

(5)低溫泵是基于低溫吸附而工作的，不需要其他電子材料，不會有波動；

(6)在真空中無任何運(yùn)動部件，高穩(wěn)定性，也不會帶來密封問題；

(7)低溫泵的安裝無任何方向要求；

(8)低溫泵還可以進(jìn)行選擇性的抽取某種氣體。

吸附材料對低溫泵的工作性能具有較大的影響。單從真空獲得方面來說，一臺無任何吸附劑的低溫泵或許也可以滿足要求。但是，一般情況下低溫泵是依靠液氦或制冷機(jī)而獲得低溫的，其最低溫度能達(dá)到4 K。而此時又需要低溫泵抽除氦氣，因?yàn)檎婵諜z漏會經(jīng)常用到氦氣。因此，低溫泵需要通過吸附材料來幫助其抽除氣體。另外，吸附材料在低溫下比無吸附材料的泠凝吸附可以得到更低的平衡壓力。低溫泵的工作方式是通過表面吸附而進(jìn)行的，表面積越大對低溫泵的工作性能越有利。因此，合適的吸附材料必須具有較大的比表面和吸附容量。對吸附材料進(jìn)行表征的物理量主要有：幾何形狀和顆粒大小分布；表面結(jié)構(gòu)；密度；比表面積；孔徑分布、孔容和平均孔徑大小等。研究低溫泵的吸附材料主要是通過以上參數(shù)的表征而進(jìn)行的 。

低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵兩種。

注入式液氦低溫泵

主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當(dāng)泵被預(yù)抽到

閉路循環(huán)氣氦制冷機(jī)低溫泵

它是70年代出現(xiàn)的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應(yīng)用日漸廣泛。制冷機(jī)的制冷介質(zhì)為氣氦，一級冷板溫度為50～100K，典型應(yīng)用是65K,用來冷凝水蒸汽和預(yù)冷其他氣體;二級冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級冷板的內(nèi)表面涂以活性炭?；钚蕴吭诘蜏叵聦ぁ⒛屎蜌溆泻軓?qiáng)的吸附能力。冷板由無氧銅制成，表面拋光達(dá)到鏡面程度，以減小輻射系數(shù)。泵的極限壓力為