寧波微源電線有限公司

微泵作為微流體系統(tǒng)的“心臟”，是微流體輸送的動(dòng)力源，也是微流體系統(tǒng)發(fā)展水平的重要標(biāo)志。作為一種重要的微型執(zhí)行部件，微泵還可廣泛應(yīng)用于藥物輸送、血液運(yùn)輸、DNA合成、電子冷卻系統(tǒng)、微全分析系統(tǒng)、微型燃料電池、微型衛(wèi)星推進(jìn)系統(tǒng)等領(lǐng)域，具有巨大的市場(chǎng)應(yīng)用前景。

微泵的發(fā)展現(xiàn)狀

微泵根據(jù)其有無可動(dòng)閥片分為有閥微泵和無閥微泵。典型的無閥微泵有收縮－擴(kuò)張型微泵，以及基于流體性質(zhì)的非機(jī)械式微泵。有閥微泵的優(yōu)點(diǎn)是原理簡(jiǎn)單，制造工藝成熟，易于控制，反向截止性能較好。

但缺點(diǎn)也很明顯：由于閥片的存在，微泵加工工藝要求高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，不利于集成以及微型化；閥片易疲勞，并且回流現(xiàn)象不可避免，微泵效率低；在藥物輸送、血液運(yùn)輸?shù)阮I(lǐng)域應(yīng)用中，閥門的存在會(huì)造成堵塞，且容易損傷細(xì)胞。

相比于有閥微泵，無閥微泵有以下優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于加工和制備，可以制成平面結(jié)構(gòu)，或者直接和微流控芯片一體化加工，便于微泵的微型化、集成化；無閥微泵利用微流體的特性，可以連續(xù)輸送流體，能精確檢測(cè)和控制流量，在生物醫(yī)學(xué)方面應(yīng)用廣泛。

因此，無閥微泵成為21世紀(jì)微流體系統(tǒng)微型化、集成化、控制精準(zhǔn)化程度進(jìn)一步提高的突破口，具有廣闊的應(yīng)用前景。

微泵材料的選擇對(duì)微泵的設(shè)計(jì)制作、性能、成本以及應(yīng)用都有顯著的影響。良好的微泵材料應(yīng)該具有與操作環(huán)境良好兼容、制作工藝簡(jiǎn)單、可大批量生產(chǎn)、疲勞壽命高等特點(diǎn)。

根據(jù)當(dāng)今發(fā)表的微泵文獻(xiàn)，多數(shù)以硅半導(dǎo)體、玻璃為材料。隨著微泵技術(shù)的發(fā)展，聚合物材料如聚二甲基硅氧烷(PDMS)、光刻膠、電致動(dòng)聚合物材料( EAP)、離子導(dǎo)電聚合膠片( ICPF)、聚對(duì)二甲苯(Parylene) 、聚甲基丙烯酸甲酯( PMMA)等也廣泛用來制作微泵，其中PDMS最為常見，電致動(dòng)聚合物如離子聚合物金屬?gòu)?fù)合材料(IPMC)、介電彈性體(DE)、聚偏二氟乙烯( PVDF)等作為新型智能材料以其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)成為國(guó)內(nèi)外研究的熱點(diǎn)。

以硅為材料的微泵工藝成熟，但加工制作復(fù)雜，成本較高，生物相容性差，在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用受到限制。而基于聚合物材料的微泵有種類多、可供選擇余地大、制作工藝簡(jiǎn)單、易于集成、生物兼容性好、性能優(yōu)良、成本低等優(yōu)點(diǎn)，非常適合大批量生產(chǎn)，使一次性使用的醫(yī)學(xué)微泵成為可能。

首先是微泵腔體結(jié)構(gòu)的優(yōu)化。微泵腔體結(jié)構(gòu)會(huì)影響微泵的壓力、流量、流動(dòng)損失系數(shù)以及流動(dòng)穩(wěn)定性。多數(shù)微泵均為單腔體結(jié)構(gòu)，為了提高微泵的性能，研制多腔體結(jié)構(gòu)微泵已成為一種趨勢(shì)，目前主要集中在兩腔體的研究上。

多腔體微泵可減輕流體脈動(dòng)性，提高輸送能力，并且壓力和流量穩(wěn)定，提高微泵效率。有實(shí)驗(yàn)研究發(fā)現(xiàn)，兩腔串聯(lián)結(jié)構(gòu)，其輸出壓力和流量分別是單腔的2倍和1.4倍，而且綜合性能較高；并聯(lián)結(jié)構(gòu)輸出壓力不變，但流量增加一倍，而且脈動(dòng)小。

微流道是無閥微泵的關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)制約著微泵性能，有必要對(duì)微流道結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化。有關(guān)學(xué)者提出了利用鋸齒形微流道代替?zhèn)鹘y(tǒng)擴(kuò)張/收縮微流道，有效提高了微泵性能。鋸齒型微流道由于側(cè)面齒形角的存在，流動(dòng)過程更易產(chǎn)生漩渦，使流道壓力損失降低，其最大流量和最大壓頭都得到提高。

Li等模仿魚的鰭片，在微流道側(cè)壁增加微翅片結(jié)構(gòu)，微泵流動(dòng)效率提高了10% ，在100 V，3 kHz的驅(qū)動(dòng)電壓下測(cè)試，微泵性能提高了35% 。浙江大學(xué)傅新等利用Micro-DPIV技術(shù)對(duì)無閥微泵進(jìn)行流場(chǎng)檢測(cè)，探究了微泵的流動(dòng)機(jī)理，為微泵性能檢測(cè)、流道結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)提供了實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證和技術(shù)指導(dǎo)。

國(guó)內(nèi)外微泵的研究進(jìn)展

按泵類有無運(yùn)動(dòng)部件分，可以分為機(jī)械式微泵和非機(jī)械式微泵。機(jī)械式微泵驅(qū)動(dòng)力較大、響應(yīng)速度快，是目前應(yīng)用的主流，但因?yàn)橛锌蓜?dòng)部件，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，存在機(jī)械磨損和泄漏現(xiàn)象，不利于微型化、集成化發(fā)展。非機(jī)械式微泵將非機(jī)械能轉(zhuǎn)變?yōu)槲⒘黧w的動(dòng)能，沒有運(yùn)動(dòng)部件，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、流量連續(xù)穩(wěn)定，是目前研究的熱點(diǎn)。

1)壓電驅(qū)動(dòng)微泵

壓電驅(qū)動(dòng)微泵是基于壓電晶體的壓電特性驅(qū)動(dòng)薄膜振動(dòng)從而實(shí)現(xiàn)泵送流體的。常見的壓電材料有壓電片、PZT壓電堆、壓電薄膜。壓電驅(qū)動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、驅(qū)動(dòng)力大、響應(yīng)時(shí)間短、能耗低、效率高；其缺點(diǎn)是驅(qū)動(dòng)電壓高、振幅小，自吸困難，限制了其應(yīng)用范圍。

為解決微泵自吸困難、難以實(shí)現(xiàn)流速精確控制等問題，耿照新等研制了具有三明治結(jié)構(gòu)的氣液兩用壓電驅(qū)動(dòng)微泵。國(guó)立臺(tái)灣大學(xué)H.K.Ma等研制了一種有閥壓電驅(qū)動(dòng)微泵如圖所示，該泵的泵體通過高精度的數(shù)控機(jī)床加工而成，兩個(gè)閥門和泵膜均由PDMS薄膜制成，橫截面尺寸為28 mm×5 mm。

在50 V、100 Hz正弦交流電驅(qū)動(dòng)電壓下，最大流量達(dá)到 72 mL /min，實(shí)驗(yàn)證明這種微泵在筆記本電腦CPU冷卻系統(tǒng)中有良好的冷卻效果。微泵的性能主要受到單向閥、泵膜、壓電元件、泵室容積、驅(qū)動(dòng)電壓和頻率的影響。

2) 靜電驅(qū)動(dòng)微泵

靜電驅(qū)動(dòng)是基于庫(kù)倫力的原理，在其中一個(gè)固定電極上加單一極性電壓，在另一個(gè)與泵膜相連的可動(dòng)電極上加交變電壓，交替產(chǎn)生雙向形變，從而實(shí)現(xiàn)泵送功能。

靜電微泵具有低功耗、響應(yīng)快、驅(qū)動(dòng)頻率高等優(yōu)點(diǎn); 但不足的是驅(qū)動(dòng)電壓高，體積沖程小，而且還需在微泵加入防止電路短路的絕緣膜，加工工藝要求高。Machauf A等研制了在流體中加載電場(chǎng)的靜電微泵。

它利用了流體的高介電常數(shù)和低導(dǎo)電性，流體的介電常數(shù)越高，相同驅(qū)動(dòng)電壓和尺寸下微泵的靜電力越大，因此即使兩電極之間的距離相對(duì)較大，通過提高流體介電常數(shù)也可以獲得足夠的驅(qū)動(dòng)力，但這種微泵的缺點(diǎn)是只能用于導(dǎo)電流體。

當(dāng)電極之間距離為63 μm，驅(qū)動(dòng)電壓為50 V時(shí)，最大流量為1 μL/min。Astle等研制了一種應(yīng)用于氣相色譜儀化學(xué)分析的多級(jí)靜電氣動(dòng)微泵，在100 V、14 kHz的驅(qū)動(dòng)電壓下，最大流量為3 mL/min，最大背壓為7 kPa，滿足了氣相色譜儀對(duì)流量和壓力的要求。

國(guó)內(nèi)對(duì)于靜電微泵的研究主要集中在理論分析和數(shù)值模擬上。例如，應(yīng)濟(jì)等建模分析了靜電泵膜吸合與釋放現(xiàn)象，其分析結(jié)果為確定靜電微泵驅(qū)動(dòng)電壓的上限值從而避免吸合提供了依據(jù)。

陳榮等建立了雙腔靜電振膜式微泵的理論分析模型，計(jì)算并討論了驅(qū)動(dòng)電壓、振膜厚度、介電層厚度對(duì)微泵性能的影響，計(jì)算結(jié)果表明雙腔結(jié)構(gòu)微泵相比單腔結(jié)構(gòu)微泵性能上有明顯提高。這些理論分析都為靜電微泵的設(shè)計(jì)和制造提供了依據(jù)。

3) 熱氣驅(qū)動(dòng)微泵

熱氣驅(qū)動(dòng)基本原理是利用加熱產(chǎn)生的氣體膨脹力為驅(qū)動(dòng)力。熱氣驅(qū)動(dòng)微泵的驅(qū)動(dòng)器一般由加熱器、泵膜和密閉壓力室組成。通過加熱冷卻壓力室的氣體產(chǎn)生膨脹和收縮動(dòng)作，推動(dòng)泵膜運(yùn)動(dòng)。

熱氣驅(qū)動(dòng)微泵提供的驅(qū)動(dòng)力較大，可在較低的驅(qū)動(dòng)電壓下獲得較大的膜片變形，并且熱驅(qū)動(dòng)器容易集成在泵體中，微泵整體體積較小; 但是由于冷卻較慢，微泵響應(yīng)慢，驅(qū)動(dòng)頻率低，一般為幾赫茲，而且功耗較大。

Ok Chan Jeong等研制了一種蠕動(dòng)式結(jié)構(gòu)的熱氣驅(qū)動(dòng)PDMS微泵，可以應(yīng)用于血液輸送系統(tǒng)。該泵具有三個(gè)致動(dòng)器，兩個(gè)泵腔，在0.3 Hz的輸入頻率下最大流量可達(dá)到0.48 μL/s，此時(shí)的背壓為 7 cmH2O。

Seung等研制了一種應(yīng)用于生物芯片的PDMS熱驅(qū)動(dòng)微泵，如圖所示，該泵由三層PDMS片和一層加熱電阻玻璃片組成，利用PDMS模塑法加工出泵腔、微閥、流體通道等微結(jié)構(gòu)。

加熱電阻與微泵泵體采用分離式封裝方法，加熱電阻可重復(fù)使用，降低了微泵的成本。經(jīng)過試驗(yàn)，在0.1 Hz，占空比為0.33的驅(qū)動(dòng)電壓下，該微泵的驅(qū)動(dòng)性能達(dá)到最佳，最大流量達(dá)到50 μL/min。

4) 電磁驅(qū)動(dòng)微泵

電磁驅(qū)動(dòng)微泵的原理是將永磁鐵貼在泵膜上，利用線圈產(chǎn)生的交變磁場(chǎng)，使得永磁體帶動(dòng)泵膜往復(fù)運(yùn)動(dòng)，達(dá)到泵送流體的目的。電磁驅(qū)動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)是輸入電壓低、泵膜變形大、頻率調(diào)節(jié)方便、響應(yīng)快，并且可以遠(yuǎn)程控制。缺點(diǎn)是能耗高、電磁材料微加工困難、由于線圈存在難以微型化。

Yamahata等研制了一種球閥型PDMS電磁驅(qū)動(dòng)微泵。該泵用噴砂技術(shù)加工出玻璃基板，利用熔融燒結(jié)技術(shù)集成多層微流控芯片。將永磁鐵嵌入PDMS薄膜制作泵膜，可產(chǎn)生較大的體積沖程，提高了微泵抗氣泡和自吸能力。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電流為 100 mA，驅(qū)動(dòng)頻率為30 Hz時(shí)，得到最大輸出流量為5 mL/min，最大背壓為28 kPa。

Chao ZHI等研制了的一種無閥電磁驅(qū)動(dòng)微泵結(jié)構(gòu)，微泵尺寸為20 mm×20 mm。通過旋涂方法制作了PDMS薄膜，將多層NdFeB/Ta永磁鐵薄膜(TFPM)與PDMS泵膜粘結(jié)在一起，利用激光加工技術(shù)加工出了泵腔、微流道等微結(jié)構(gòu)。經(jīng)測(cè)試，方波信號(hào)相比正弦信號(hào)可獲得更高的流量，在7.5 V、15 Hz的方波電壓驅(qū)動(dòng)下，最大流量達(dá)到130 μL/min。

5) 形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)微泵

形狀記憶合金驅(qū)動(dòng)(SMA)是利用合金隨溫度變化發(fā)生相變的特性，來提供驅(qū)動(dòng)力。它的形狀記憶功能通過馬氏體相變的可逆性來體現(xiàn)。常見的記憶合金有鈦鎳合金、金銅合金、銦鈦合金、銅鋅合金等，其中鈦鎳合金最常見。

這種微泵的優(yōu)點(diǎn)是驅(qū)動(dòng)力大，泵膜變形大，缺點(diǎn)是泵膜的變形較難控制、響應(yīng)慢、驅(qū)動(dòng)頻率低(一般在100 Hz以下)、效率低。Xu等研制了形狀記憶合金薄膜驅(qū)動(dòng)微泵。該微泵以硅為材料，采用硅微加工工藝、金－硅共晶鍵合等技術(shù)制成。

通過對(duì)NiTi條施加一定頻率的交變電流，泵膜在NiTi條的相變應(yīng)力下產(chǎn)生往復(fù)振動(dòng)，而實(shí)現(xiàn)流體泵送。當(dāng)驅(qū)動(dòng)頻率為50～60 Hz時(shí)，可以獲得340 μL/min的最大流量。

Shuxiang Guo等研制了一種利用記憶合金驅(qū)動(dòng)的蠕動(dòng)式微泵，總體尺寸為45 mm×30 mm×30 mm。微泵設(shè)計(jì)采用蠕動(dòng)式結(jié)構(gòu)，將三組記憶合金驅(qū)動(dòng)器協(xié)調(diào)控制，驅(qū)動(dòng)流體流動(dòng)。實(shí)驗(yàn)表明，通過改變驅(qū)動(dòng)電壓的大小和頻率，可以獲得400～3200 μL/min范圍內(nèi)的流量。

6) 電致動(dòng)聚合物驅(qū)動(dòng)微泵

在外部驅(qū)動(dòng)電壓的作用下，能產(chǎn)生一定形狀和尺寸變形的聚合物被稱為電致動(dòng)聚合物(EAP)。EAP是一種新型智能材料，目前應(yīng)用于微泵的電致動(dòng)聚合物主要有介電彈性體(DE)、離子聚合物金屬?gòu)?fù)合材料(IPMC)和導(dǎo)電型聚合物聚吡咯(Polypyrrole)。電致動(dòng)聚合物在電場(chǎng)的作用下可產(chǎn)生大幅變形，遠(yuǎn)大于現(xiàn)有的壓電材料，可以大幅提高泵送能力。

西安交通大學(xué)提出了由介電彈性體驅(qū)動(dòng)的無閥微泵并進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化，在3100 V、5 Hz的驅(qū)動(dòng)電壓下可獲得最大500 μL/min的流量。但這種微泵的驅(qū)動(dòng)電壓很高，DE材料的性能也不夠穩(wěn)定，還需要進(jìn)一步的研究。Kean C.Aw等設(shè)計(jì)制作了一種IPMC驅(qū)動(dòng)無閥微泵。IPMC的性能會(huì)隨時(shí)間變化，因此采用在線迭代反饋技術(shù)(IFT)控制IPMC的彎曲變形，以獲得恒定的流量。

在2.5 V、0.1Hz 的驅(qū)動(dòng)電壓下，可獲得最大流量為130 μL/min。Yoshitaka Naka等研制了一種基于導(dǎo)電型聚合物聚吡咯(Polypyrrole)驅(qū)動(dòng)微泵，如圖所示。該泵具有兩個(gè)導(dǎo)電聚合物致動(dòng)器，通過對(duì)兩個(gè)致動(dòng)器施加相位差為180°的驅(qū)動(dòng)電壓，控制致動(dòng)器產(chǎn)生開合運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)流體連續(xù)輸送。這種微泵可以實(shí)現(xiàn)2～84 μL/min范圍內(nèi)的流量輸送。該泵的優(yōu)點(diǎn)是驅(qū)動(dòng)電壓低、能耗低、無回流現(xiàn)象，而且可以輸送400倍于水的高黏度流體。

離子導(dǎo)電聚合膠片( ICPF)是一種在較低電壓下就可以產(chǎn)生較大變形的聚合物材料，Wei.W等研制了一種ICPF驅(qū)動(dòng)PDMS微泵。該泵的特點(diǎn)是ICPF致動(dòng)器被密封的腔體包裹，PDMS泵膜在ICPF致動(dòng)器變形力和該過程產(chǎn)生的熱驅(qū)動(dòng)力的共同作用下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)泵送功能。該泵在5 V，2 Hz的驅(qū)動(dòng)電壓下，占空比為0.4時(shí)達(dá)到最大流量202 μL/min。

1) 電液動(dòng)力微泵

電液動(dòng)力(EHD)微泵基本原理是利用流體中帶電離子在電場(chǎng)作用下的遷移，從而帶動(dòng)整個(gè)流體遷移流動(dòng)的目的。這種微泵的優(yōu)點(diǎn)是無閥無活動(dòng)部件、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、對(duì)微加工工藝要求不高、成本低；但這種微泵對(duì)流體的介電性質(zhì)有特殊要求，只能用于絕緣液體或?qū)щ娐蕵O低的液體，如乙醇、丙酮、異丙醇等，限制了其應(yīng)用。

按驅(qū)動(dòng)電壓類型可分為兩種，一種是平行電極間施加直流電壓的EHD泵，另一種是在電極陣列上施加不同相位行波電壓的EHD泵。Chen等利用聚合物材料聚對(duì)二甲苯(Parylene)為基底研制了一種低功耗的電液動(dòng)力微泵，該泵采用鋸齒狀電極，電極之間距離為20 μm，微泵尺寸為5 mm×7 mm×80 μm。

以異丙醇為介質(zhì)，經(jīng)測(cè)試，該微泵在30 V驅(qū)動(dòng)電壓下，微泵背壓為490 Pa; 在20 V驅(qū)動(dòng)電壓下，微泵流速達(dá)到190 mm/min。該泵的優(yōu)點(diǎn)是機(jī)械強(qiáng)度高、與IC工藝兼容性好，而且有良好的生物相容性。缺點(diǎn)是輸送高介電常數(shù)和低粘度流體才能獲得較大的流量。

Daisuke Wakui等提出了網(wǎng)格型碳作為電極制作的電液動(dòng)力微泵。三維網(wǎng)格碳電極由SU－8膠在高溫下分解制成，采用芯片封裝技術(shù)和低溫SU－8鍵合工藝將電極集成在微流控芯片上。以電子氟化液為流體，在 500 V的驅(qū)動(dòng)電壓下，最大壓力和最大流量分別達(dá)到23 Pa和400 nL/min。

2) 電滲驅(qū)動(dòng)微泵

電滲驅(qū)動(dòng)(EO)微泵是指外加電場(chǎng)使微通道壁面帶有固定電荷，利用其產(chǎn)生的電滲現(xiàn)象驅(qū)動(dòng)液體。按驅(qū)動(dòng)方式分主要有直流電滲泵和交流電滲泵兩種。直流電滲泵需要超高電壓，一般要幾千伏; 而交流電滲泵驅(qū)動(dòng)電壓低，可以有效抑制電解反應(yīng)。

這種微泵的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、流動(dòng)穩(wěn)定、易于控制、背壓高; 缺點(diǎn)是驅(qū)動(dòng)電壓高、流量小、外界影響因素多，而且僅適用于電解質(zhì)溶液。Chen等設(shè)計(jì)了一種平面電滲驅(qū)動(dòng)微泵，該泵采用顯微光刻和濕法腐蝕工藝在玻璃基板上加工而成，使用電導(dǎo)率為4×10-4 S/m的去離子水為介質(zhì)，當(dāng)施加電壓為1 kV 時(shí)，微泵最大流量為15 μL/min，最大背壓為33 kPa。

M.Mehdipour等提出了一種行波驅(qū)動(dòng)交流電滲微泵，該微泵利用表面微細(xì)加工技術(shù)制作而成，通過在電極上沉積硅氮化物絕緣層，防止在電極邊緣產(chǎn)生高電場(chǎng)，造成電解液電解。以乙醇為介質(zhì)，當(dāng)施加2 V、10 kHz的交流電時(shí)，微泵最大流速為2.39 mm/s。

3) 磁流體動(dòng)力微泵

磁流體動(dòng)力微泵(MHD)是利用磁場(chǎng)和電場(chǎng)施加于導(dǎo)電流體的洛倫磁力作為微泵的驅(qū)動(dòng)力，一般驅(qū)動(dòng)電導(dǎo)率在1 S/cm數(shù)量級(jí)的導(dǎo)電液體。驅(qū)動(dòng)電壓可以采用直流電和交流電兩種方式。MHD微泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，驅(qū)動(dòng)電壓低，流動(dòng)穩(wěn)定且可雙向控制；但只適用于導(dǎo)電率較高的流體。

Homsy等制作了一種應(yīng)用于核磁共振微流控芯片的磁流體動(dòng)力微泵。當(dāng)磁場(chǎng)強(qiáng)度為7 T時(shí)，19 V的直流電壓可以獲得1.5 μL/min的最大流量，功率只有38 mW。一般的直流電壓MHD微泵由于高電流密度造成電解液電解，產(chǎn)生氣泡而限制了流量，為此Nguyen等研制了一種大流量直流電壓磁流體動(dòng)力微泵。

該泵通過加工條狀電極通道阻止氣泡聚集，減弱了氣泡對(duì)流量的影響。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為5 V，電流密度5000 A/m2時(shí)，可以得到最大流量為325 μL/min。

4) 電浸潤(rùn)式微泵

電浸潤(rùn)式微泵利用表面張力來驅(qū)動(dòng)流體運(yùn)動(dòng)。微尺度下，表面張力是一種主要作用力，而金屬液體的表面張力會(huì)因電壓改變而變化，在充滿電解液的管道中施加電壓金屬液滴就可以沿著管道運(yùn)動(dòng)，推動(dòng)流體運(yùn)動(dòng)。

這類微泵具有功耗低、響應(yīng)快、表面電化學(xué)不活潑等優(yōu)點(diǎn)。Yun等研制了一種連續(xù)電浸潤(rùn)式微泵，微泵由三層粘結(jié)在一起的晶片組成，用SU－8膠形成封閉空間將電解質(zhì)溶液和水銀滴封閉在一起，利用水銀滴往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生壓力差驅(qū)動(dòng)硅膠膜運(yùn)動(dòng)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為2.3V，驅(qū)動(dòng)頻率為25Hz時(shí)，可以獲得最大流量為70 μL/min，最大壓力為800 Pa，而消耗功率僅為170 μW。

總結(jié)與展望

隨著MEMS技術(shù)的迅猛發(fā)展，微泵技術(shù)取得了長(zhǎng)足進(jìn)步。雖然微泵有著廣泛的應(yīng)用前景，但由于其商業(yè)化程度還不高，微泵的發(fā)展存在以下挑戰(zhàn)：

本文轉(zhuǎn)自：國(guó)家納米科學(xué)中心

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