設(shè)計規(guī)則優(yōu)化基本信息

中文名 設(shè)計規(guī)則優(yōu)化 外文名 design rule optimization, DRO

隨著版圖的特征尺寸不斷縮小，尤其是在20nm及以下節(jié)點，193nm浸沒式光刻機(jī)已經(jīng)達(dá)到了分辨率極限。盡管采用了先進(jìn)的SMO和OPC，版圖上仍然有一些難以解決的壞點。為了解決這一問題，從改變設(shè)計尺寸的角度，開發(fā)出了一種新的光刻優(yōu)化方法。該方法基于光刻優(yōu)化仿真反饋的信息，重新定義相應(yīng)的版圖設(shè)計規(guī)則。這種新型的智能化優(yōu)化方法被稱為版圖設(shè)計規(guī)則的優(yōu)化（design rule optimization, DRO）。

DRO同步進(jìn)行目標(biāo)圖形、光源、掩模圖形，以保證整體工藝窗口最大。DRO的最終優(yōu)化結(jié)果包括版圖設(shè)計規(guī)則相關(guān)參數(shù)、目標(biāo)圖形、更新后的測量參數(shù)、優(yōu)化后的光源和掩模圖形組成。DRO還有另外一個獨特的優(yōu)勢，就是設(shè)計優(yōu)化的過程中不需要增加器件尺寸，保證了芯片的尺寸盡可能小的初衷 。

設(shè)計規(guī)則優(yōu)化造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
會所-使用規(guī)則說明(泳池使用規(guī)則) 480×1500 查看價格 查看價格

件 13% 佛山市銘策廣告工藝有限公司
不規(guī)則燈 H500XW500/PG-D023 燈飾類 查看價格 查看價格

件 13% 佛山市南海盤古雕塑藝術(shù)工藝廠河南銷售
設(shè)計系列蓋板 品種:分線盒蓋;類別:設(shè)計系列邊框;產(chǎn)品型號:MTN391919;產(chǎn)品組:EAT;庫存類型:IND;交貨期(工作日):40;最小起訂量(個) 查看價格 查看價格

施耐德

 個 13% 上海隨樂貿(mào)易有限公司
設(shè)計系列蓋板 品種:分線盒蓋;類別:設(shè)計系列邊框;產(chǎn)品型號:MTN391960;產(chǎn)品組:EAT;庫存類型:IND;交貨期(工作日):40;最小起訂量(個) 查看價格 查看價格

施耐德

 個 13% 上海隨樂貿(mào)易有限公司
設(shè)計系列蓋板 品種:分線盒蓋;類別:設(shè)計系列邊框;產(chǎn)品型號:MTN391943;產(chǎn)品組:EAT;庫存類型:IND;交貨期(工作日):40;最小起訂量(個) 查看價格 查看價格

施耐德

 個 13% 上海隨樂貿(mào)易有限公司
設(shè)計系列蓋板 品種:分線盒蓋;類別:設(shè)計系列邊框;產(chǎn)品型號:MTN391946;產(chǎn)品組:EAT;庫存類型:IND;交貨期(工作日):40;最小起訂量(個) 查看價格 查看價格

施耐德

 個 13% 上海隨樂貿(mào)易有限公司
優(yōu)化雷針 品種:避雷針;分類:001避雷針;細(xì)分類型:普通;型號:DK-BG10;類型:優(yōu)化避雷針; 查看價格 查看價格

地凱

 件 13% 重慶焱哥科技有限公司
不規(guī)則板巖 30-50厚度，1噸鋪25個平方/用于景觀路面鋪裝 查看價格 查看價格

t 13% 沙坪壩區(qū)華冠石材經(jīng)營部
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
片石（不規(guī)則） 查看價格 查看價格

m3 深圳市2021年4月信息價
GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

m2 湛江市2021年2季度信息價
GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

m2 湛江市2020年1季度信息價
GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

m2 湛江市2018年2季度信息價
GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

m2 湛江市2016年3季度信息價
GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

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GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220*1220*12 查看價格 查看價格

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GRG高級不規(guī)則穿孔吸音大板 1220×1220×12 查看價格 查看價格

m2 湛江市2022年2季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
質(zhì)控對規(guī)則設(shè)置 主要功能在儀器質(zhì)控規(guī)則設(shè)置功能中設(shè)置儀器項目的質(zhì)控規(guī)則,每個項目可以定義一個組合規(guī)則和若千其他規(guī)則,規(guī)則與組合規(guī)則之間是或者的關(guān)系.|1套 1 查看價格 北京昊合醫(yī)療科技有限公司 全國   2018-09-25
優(yōu)化避雷針 優(yōu)化避雷針高度1.5M150KA|3987只 4 查看價格 上海雷開電器有限公司 浙江  溫州市 2015-10-22
質(zhì)控規(guī)則設(shè)置 主要功能:質(zhì)控規(guī)則是在質(zhì)控計算時用來進(jìn)行計算作圖用的條件|1套 1 查看價格 北京昊合醫(yī)療科技有限公司 全國   2018-09-25
優(yōu)化避雷針 DBW-L1500/YHZ/300 Ф30×1500 優(yōu)化避雷針,不銹鋼,Ф球=300mm|963套 4 查看價格 深圳達(dá)博威安防有限公司 廣東  深圳市 2015-08-08
雕塑設(shè)計 雕塑設(shè)計|14.4m2 3 查看價格 成都金晶工藝品有限公司 四川   2021-09-28
普通優(yōu)化避雷針 2.6M普通優(yōu)化避雷針 JS-PYZ2600|7642臺 1 查看價格 深圳杰賽電子有限公司 廣東  深圳市 2015-03-29
普通優(yōu)化避雷針 1.5M普通優(yōu)化避雷針 JS-PYZ1500|1148臺 1 查看價格 深圳杰賽電子有限公司 廣東  深圳市 2015-09-24
UI設(shè)計 品牌:GNG;型號:定制開發(fā)界面設(shè)計、交互設(shè)計|1套 1 查看價格 廣州市熹尚科技設(shè)備有限公司 全國   2019-10-08

設(shè)計規(guī)則優(yōu)化常見問題

  • 常規(guī)砼標(biāo)號設(shè)計規(guī)則

    具體的需要看設(shè)計要求，通常是柱梁板的混凝土標(biāo)號是高于基礎(chǔ)構(gòu)件。

  • 軟裝設(shè)計規(guī)則是什么誰知道嗎？

    軟裝設(shè)計規(guī)則：.比例與技巧- 原則要點：圣.奧古斯丁說：'美是各部分的適當(dāng)比例，再加一種悅目的顏色。'比例是物與物的相比，表明各種相對面間的相對度量關(guān)系，在美學(xué)中，最經(jīng)典的比例分配...

  • 請朋友們說一說樓梯設(shè)計規(guī)則？

    依照樓梯設(shè)計規(guī)范的標(biāo)準(zhǔn)，樓梯的每一級踏步應(yīng)該高15厘米，寬28厘米，要求設(shè)計師對尺寸有個透徹的了解和掌握，才能使樓梯的設(shè)計行走便利，而所占空間最少。根據(jù)實際情況顯示，樓梯踏步的高度應(yīng)小于18厘米，寬度...

設(shè)計規(guī)則優(yōu)化文獻(xiàn)

PCB工程設(shè)計規(guī)則 PCB工程設(shè)計規(guī)則

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頁數(shù)： 20頁

評分： 4.3

1.0 目的 為使產(chǎn)品工程部 PE在設(shè)計菲林和 MI時有規(guī)可循，執(zhí)行統(tǒng)一規(guī)則標(biāo)準(zhǔn)；特制定本規(guī)則；從而更好 的輔助生產(chǎn)提高品質(zhì)和效率。 2.0 范圍 適用于本公司產(chǎn)品工程部對所有 PCB板的設(shè)計 3.0 職責(zé)及權(quán)限 文 件 修 改 記 錄 更改性質(zhì) 更改內(nèi)容 更改人 生效日期 修改號改為 01 修改號改為 02 新發(fā)行 增加 :4.2 板邊槽孔設(shè)計、短槽更改 ;4.4 獨立線定 義;4.5 錫板邦定 IC 補(bǔ)償規(guī)則 ;4.9 阻焊橋制 作; 5.0 阻焊一面開窗一面塞孔，雙面開窗 塞孔設(shè)計 ;5.3 V 割余厚要求、精沖模介定。 增加和更改 PE設(shè)計規(guī)則更改履歷中的數(shù)據(jù) 制 訂 欄 部門及職務(wù)： 審 批 欄 部門及職務(wù)： 姓名： 姓名： 簽名： 簽名： 受 控 文 件 簽 發(fā) 記 錄 部門 分發(fā) 會簽 部門 分發(fā) 會簽 HR/人政部 PC/計劃部 ACC/財務(wù)部 MAINT/維修部 MK

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電柜設(shè)計規(guī)則 電柜設(shè)計規(guī)則

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頁數(shù)： 17頁

評分： 4.6

電柜設(shè)計規(guī)則

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檢查集成電路物理版圖是否滿足設(shè)計規(guī)則的過程。設(shè)計規(guī)則是為了給合格芯片的生產(chǎn)留出裕量而規(guī)定的一系列有關(guān)幾何圖形和連接性的限制。

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協(xié)同優(yōu)化的（Design Technology Co-optimization，DTCO） 主要內(nèi)容包括設(shè)計規(guī)則（Design Rules）、標(biāo)準(zhǔn)單元（Standard Cell）、工藝文件 （Technology File）和 Spice 模型 。

工藝和設(shè)計的協(xié)同優(yōu)化體現(xiàn)為：工藝工程師從工藝角度出發(fā)，進(jìn)行光刻方案的探索及優(yōu)化，并提供設(shè)計規(guī)則和壞點圖形庫給設(shè)計工程師，保證在設(shè)計階段能夠避免壞點圖形（Hotspots），降低芯片制造的難度。設(shè)計工程師從設(shè)計角度出發(fā)， 根據(jù)器件和芯片級別的性能需求，設(shè)計相應(yīng)的版圖并與工藝工程師協(xié)同工作，保證在工藝研發(fā)初期制定光刻解決方案時將設(shè)計端的需求考慮在內(nèi)。通過設(shè)計和工 藝的協(xié)同優(yōu)化，最終平衡了性能和可制造性的需求 。

當(dāng)開始一個新技術(shù)節(jié)點光刻技術(shù)研發(fā)時，選用何種光刻技術(shù)必然和設(shè)計圖形是相關(guān)聯(lián)的。假設(shè)設(shè)計是完全隨意的，尋找有效的光刻方案將非常困難；及時光刻能實現(xiàn)，其工藝窗口必然很??；考慮另一個極端，為了使光刻工藝容易實現(xiàn)，對設(shè)計做非常多的限制，設(shè)計工程師將無法完成設(shè)計規(guī)則的要求。因此，最佳的解決辦法是工藝和設(shè)計協(xié)同優(yōu)化，彼此協(xié)作滿足新節(jié)點器件的要求 。

DTCO（design technology co-optimization）的核心就是設(shè)計工程師與光刻工程師共同協(xié)作，尋找最佳的設(shè)計和光刻工藝方案。這個方案要既能滿足器件性能的要求，又能在Fab里實現(xiàn) 。

以金屬層為例，介紹一種基于標(biāo)準(zhǔn)單元的DTCO方法。在制造掩模之前，評估和優(yōu)化標(biāo)準(zhǔn)單元能夠獲得較大的工藝窗口。該方法需要在流片之前增加一個額外的學(xué)習(xí)周期，但能夠有效降低工藝研發(fā)的成本。具體流程如圖1中(a)所示：1）根據(jù)上一個節(jié)點標(biāo)準(zhǔn)單元庫進(jìn)行等比例微縮，并隨機(jī)地排列來模擬數(shù)字電路物理設(shè)計中的布局流程；2）提取關(guān)鍵層進(jìn)行光學(xué)仿真，檢測標(biāo)準(zhǔn)單元中的壞點，并對壞點進(jìn)行修復(fù)，進(jìn)而達(dá)到優(yōu)化標(biāo)準(zhǔn)單元的目的，圖1中(b)給出了優(yōu)化標(biāo)準(zhǔn)單元后的工藝窗口（優(yōu)化前無工藝窗口）；3）流片并進(jìn)行檢測，根據(jù)晶圓數(shù)據(jù)來進(jìn)一步優(yōu)化標(biāo)準(zhǔn)單元 。

圖1 (a)基于標(biāo)準(zhǔn)單元的DTCO方法 (b)標(biāo)準(zhǔn)單元優(yōu)化后的工藝窗口2100433B

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《計算機(jī)科學(xué)技術(shù)名詞 》第三版。2100433B

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