量子級(jí)聯(lián)紅外探測器
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4.8
半導(dǎo)體基中遠(yuǎn)紅外探測器在成像、傳感、國家安全以及國防領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用背景。目前,在這個(gè)領(lǐng)域最主流的技術(shù)之一是量子阱紅外探測器(QWIPs)。傳統(tǒng)的量子阱紅外探測器往往存在較大的暗電流和較低的工作溫度等限制。量子級(jí)聯(lián)探測器(QCDs)是一種新型的光伏型量子阱紅外探測器。其工作原理基于電子吸收光子后在量子阱的子帶間躍遷并且激發(fā)態(tài)電子通過人工設(shè)計(jì)的勢能階梯形成無需外加偏置電壓的定向輸運(yùn)。這種基于新原理的紅外探測器一經(jīng)出現(xiàn)便引起人們高度的關(guān)注并經(jīng)歷了快速的發(fā)展。文中介紹了中國科學(xué)院半導(dǎo)體所在量子級(jí)聯(lián)探測器研究方面的最新成果。
一種新型紅外探測器的介紹——量子點(diǎn)紅外探測器
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本文簡單介紹了半導(dǎo)體量子點(diǎn)材料的基本性質(zhì)及相應(yīng)的紅外探測器的工作原理,并舉例討論了幾種典型的量子點(diǎn)紅外探測器的結(jié)構(gòu)。最后,對(duì)量子點(diǎn)紅外探測器的主要優(yōu)點(diǎn)進(jìn)行了總結(jié)。
HPT型Ge量子點(diǎn)紅外探測器
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異質(zhì)結(jié)光敏晶體管(hpt)是一種具有內(nèi)部電流增益的光電探測器,且與異質(zhì)結(jié)雙極晶體管(hbt)的制作工藝完全兼容。利用超高真空化學(xué)氣相淀積(uhv/cvd)方法在hbt晶體管的基區(qū)和集電區(qū)間加入多層ge量子點(diǎn)材料作為光吸收區(qū)。tem和dcxrd測試結(jié)果表明,生長的多層ge量子點(diǎn)材料具有良好的晶體質(zhì)量。為了提高h(yuǎn)pt的發(fā)射極注入效率,采用高摻雜多晶硅作為發(fā)射極,并制作出兩端hpt型ge量子點(diǎn)探測器。室溫條件下的測試結(jié)果表明,hpt型量子點(diǎn)探測器具有低的暗電流密度和高的反向擊穿電壓。-8v偏壓下,hpt型量子點(diǎn)探測器在1.31μm和1.55μm處的響應(yīng)度分別為4.47ma/w和0.11ma/w。與縱向pin結(jié)構(gòu)量子點(diǎn)探測器相比,hpt型量子點(diǎn)探測器在1.31μm和1.55μm處的響應(yīng)度分別提高了104倍和78倍。
新型量子點(diǎn)紅外探測器
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4.7
美國倫斯勒理工學(xué)院的研究人員開發(fā)出了一種基于納米技術(shù)的新型量子點(diǎn)紅外探測器(qdip)。這種以金為主要材料的新型元件可大幅提高現(xiàn)有紅外設(shè)備的成像素質(zhì),將為下一代高清衛(wèi)星相機(jī)和夜視設(shè)備的研發(fā)提供可能。
氣動(dòng)型紅外探測器
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4.7
美國專利us7485870(2009年2月3日授權(quán))本發(fā)明提供一種氣動(dòng)型紅外探測器,它包括一個(gè)敏感腔和一個(gè)參考腔,它是通過測量其敏感腔的氣動(dòng)膨脹來探測紅外輻射的。其原理是,敏感腔吸收紅外輻射能量后,其溫度上升,從而發(fā)生氣動(dòng)膨脹。參考腔通過機(jī)械方法與敏感腔相連,它是用來控制敏感腔的氣動(dòng)膨脹的。這種膨脹或者用電學(xué)方法探測,或者用光學(xué)方法探測。本專利說明書共33頁,其中有23張插圖。
中波-長波雙色量子阱紅外探測器
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4.3
采用n型摻雜的algaas/gaas和algaas/ingaa多量子阱材料,基于mocvd外延生長技術(shù),利用成熟的gaas集成電路加工工藝,設(shè)計(jì)并制作了不同結(jié)構(gòu)的中波-長波雙色量子阱紅外探測器(qwip)器件,器件采用正面入射二維光柵耦合,光柵周期設(shè)計(jì)為4μm,寬度2μm;對(duì)制作的500μm×500μm大面積雙色qwip單元器件暗電流、響應(yīng)光譜、探測率進(jìn)行了測試和分析。在-3v偏壓、77k溫度和300k背景溫度下長波(lwir)和中波(mwir)qwip的暗電流密度分別為0.6、0.02ma/cm2;-3v偏壓、80k溫度下mwir和lwirqwip的響應(yīng)光譜峰值波長分別為5.2、7.8μm;在2v偏壓、65k溫度下,lwir和mwirqwip的峰值探測率分別為1.4×1011、6×1010cm.hz1/2/w。
多色量子阱紅外探測器的發(fā)展(下)
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4.5
軍用紅外探測器需要使用工作在各種紅外波段的大規(guī)格、高均勻性多色焦平面陣列器件。滿足這些要求的一個(gè)候選者就是量子阱紅外(光電)探測器(quantumwellinfraredphotodetector,qwip)。作為新一代紅外探測器,qwip基于極薄半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)中的載流子束縛效應(yīng)。gaas/algaas/qwip的主要優(yōu)點(diǎn)包括標(biāo)準(zhǔn)的ⅲ-ⅴ族襯底材料和技術(shù)、良好的熱穩(wěn)定性、大面積、低研發(fā)成本以及抗輻射性。qwip的另一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是具有帶隙工程能力??梢酝ㄟ^調(diào)節(jié)量子阱寬度和勢壘組分設(shè)計(jì)出滿足特殊要求(例如多色焦平面列陣應(yīng)用)的器件結(jié)構(gòu)。介紹了對(duì)qwip探測物理機(jī)制的理解以及近年來多色qwip技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r。
紅外光電子學(xué)中的新族——量子阱紅外探測器
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4.5
回顧了近10年基于半導(dǎo)體中量子限制效應(yīng)紅外探測器的進(jìn)展.主要關(guān)注的是二維限制結(jié)構(gòu),即量子阱結(jié)構(gòu),形成的區(qū)別與傳統(tǒng)紅外光子探測的子帶躍遷機(jī)理.在紅外光電子領(lǐng)域作為新族的量子阱紅外探測器(quantumwellinfraredphoto-detector,qwip)與最典型的紅外探測器代表碲鎘汞紅外探測器進(jìn)行了各自特色的分析,包括基本工作機(jī)理和材料與器件的制備技術(shù)等方面.對(duì)于qwip發(fā)展的回顧提升了與碲鎘汞紅外探測器之間的互補(bǔ)關(guān)系.也給出了對(duì)于qwip在未來發(fā)展方面的基本趨勢.
紅外探測器安裝圖
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4.4
紅外探測器安裝圖: 門磁安裝圖: 使用方法: ●首先把紅外探測器安裝在高約1.5~2.5米的地方,打開電源開關(guān)。安裝時(shí), 應(yīng)調(diào)整探測器的傾斜角度,以使其探測距離最遠(yuǎn)。 ●按遙控器布防鍵,主機(jī)發(fā)出“嘀”聲,約延時(shí)20秒后探測器進(jìn)入布防狀態(tài), 有人進(jìn)入監(jiān)控區(qū),主機(jī)即刻報(bào)警(人體橫切探測器走動(dòng)時(shí),靈敏度較高)。每 次觸發(fā)報(bào)警時(shí)間約為60秒,再次進(jìn)入監(jiān)控區(qū),再次報(bào)警。 ●遇到緊急情況,按遙控器求救鍵,這時(shí),探測器無論是處于布防或撤防狀態(tài), 即刻緊急報(bào)警求救。 ●探測器處于報(bào)警狀態(tài)或緊急報(bào)警狀態(tài)時(shí),按遙控器上的撤防鍵,則立即停止 報(bào)警,并且有人在監(jiān)控區(qū)活動(dòng)也不報(bào)警。 安裝指南: 1。探頭應(yīng)避免直對(duì)門窗口,以免誤報(bào); 2。應(yīng)調(diào)整探測器的傾斜角度,以使其探測距離最遠(yuǎn); 3。探頭的菲妮爾透鏡應(yīng)保持干凈,不能有遮擋物體; 4。探頭應(yīng)遠(yuǎn)離冷熱源,例如空調(diào)出風(fēng)口、暖氣、冷氣機(jī)等 5
法國的碲鎘汞紅外探測器
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4.4
0引言在法國,碲鎘汞的研究與發(fā)展已經(jīng)有25年多的歷史了,這項(xiàng)工作是該國sofradir工業(yè)集團(tuán)公司和cea-leti公共實(shí)驗(yàn)室之間通過大力協(xié)作進(jìn)行的。為了縮短該技術(shù)推向市場的時(shí)間,sofradir工業(yè)集團(tuán)公司和cea-leti在grenoble地區(qū)成立了一個(gè)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室(defir)。目前在該地區(qū)大約有600人在從事紅外探測器的研制工作。碲鎘汞紅外探測器技術(shù)獲得良好評(píng)價(jià)已經(jīng)
平面型24元InGaAs短波紅外探測器
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4.4
設(shè)計(jì)了帶有保護(hù)環(huán)結(jié)構(gòu)的平面型24×1ingaas線列短波紅外探測器,利用n-i-n+型inp/in0.53ga0.47as/inp外延材料閉管擴(kuò)散制備了平面型探測器。lbic測試顯示光敏元沒有明顯擴(kuò)大,保護(hù)環(huán)起到了有效的隔離效果;i-v測試表明器件的優(yōu)值因子r0a約4.2×106.cm2,在-0.1v反向偏壓下的暗電流密度約22na/cm2,擬合得到的理想因子接近1,說明正向電流成分主要為擴(kuò)散電流;在室溫20℃,器件的響應(yīng)光譜在0.9~1.68μm波段范圍,其平均峰值電流響應(yīng)率為1.24a/w,平均峰值探測率為3.0×1012cm.hz1/2/w,量子效率接近95%,響應(yīng)的不均勻性為2.63%。
被動(dòng)紅外探測器
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4.7
本發(fā)明提供一種被動(dòng)紅外探測器.該探測器由兩個(gè)傳感器和一個(gè)評(píng)價(jià)電路組成.第一個(gè)傳感器(1)用于產(chǎn)生代表熱源與探測器背景環(huán)境之間溫差的紅外信號(hào);第二個(gè)傳感器(3)用于敏感探測器的環(huán)境溫度;評(píng)
紅外探測器成像實(shí)驗(yàn)研究
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紅外探測器廣泛應(yīng)用于多光譜成像系統(tǒng)中,文章提出并建立了一種紅外線陣時(shí)間延遲積分探測器的成像實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),闡述了成像系統(tǒng)的工作原理,對(duì)影響成像質(zhì)量的兩個(gè)主要因素電子穩(wěn)像與自動(dòng)對(duì)焦進(jìn)行了深入分析。利用高精度直流測速機(jī)確定了轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)速與探測器的行轉(zhuǎn)移頻率,采用卡爾曼濾波算法濾除了測速機(jī)帶來的噪聲,提高了速度匹配精度。在分析比較紅外相機(jī)四種檢焦方法的基礎(chǔ)上采用視頻信號(hào)幅度法進(jìn)行檢調(diào)焦。在國家光學(xué)機(jī)械產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)測試中心實(shí)地搭建了成像實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),并分別對(duì)5.3,6.4和9.2mm寬度靶標(biāo)成像。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,采集到的原始靶標(biāo)紋理清晰,照相分辨率達(dá)到了每毫米11.3對(duì)線,達(dá)到了實(shí)驗(yàn)預(yù)期目的。
紅外探測器分類及應(yīng)用
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4.6
紅外探測器分類及應(yīng)用 紅外探測器是能對(duì)外界紅外光輻射產(chǎn)生響應(yīng)的光電傳感器,是目前傳感器 領(lǐng)域發(fā)展的重點(diǎn)之一。利用它制成的探測器是軍事、氣象、農(nóng)業(yè)、工業(yè)、醫(yī)學(xué) 等方面需要的設(shè)備,它涉及物理、材料等基礎(chǔ)科學(xué)和光學(xué)、機(jī)械、微電子和計(jì) 算機(jī)等多學(xué)科領(lǐng)域的綜合科學(xué)技術(shù)。 按照工作機(jī)理分類: 熱探測器和光子探測器的分類和特點(diǎn) ·光子探測器:光子探測器的工作機(jī)理是利用入射光輻射的光子流與探測器材料 中的電子互相作用,從而改變電子的能量狀態(tài),引起各種電學(xué)現(xiàn)象,這種現(xiàn)象 稱為光子效應(yīng)。光子探測器有內(nèi)光電和外光電探測器兩種,后者又分為光電 導(dǎo),光生伏特,光電發(fā)射型,光磁電型等四種。 ·熱探測器:紅外熱探測器的工作原理是利用輻射熱效應(yīng)。探測器件接收輻射能 量后引起溫度升高,再由接觸型測溫元件測量溫度改變量,從而輸出點(diǎn)型號(hào)。 熱探測器主要有四類:熱電堆,熱釋電型,和氣體型。 光子探測器和熱探測器的分類和
主動(dòng)被動(dòng)紅外探測器
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4.7
主動(dòng)/被動(dòng)紅外探測器 系統(tǒng)的基本組成紅外線報(bào)警器是利用紅外線的輻射和接收技校構(gòu)成的報(bào)警 裝置。根據(jù)工作原理,又可分為主動(dòng)式和被動(dòng)式兩種類型。 (1)主動(dòng)式紅外探測器 主動(dòng)式紅外探測器是由收、發(fā)裝置兩部分組成。發(fā)射裝置向裝在幾米甚至于 幾百米遠(yuǎn)的接收裝置輻射一束紅外線,當(dāng)被遮斷時(shí),接收裝置即發(fā)出報(bào)警信號(hào), 因此,它也是阻擋式報(bào)警器,或稱對(duì)射式探測器。通常,發(fā)射裝置由多諧振蕩器、 波形變換電路、紅外發(fā)光管及光學(xué)透鏡等組成。振蕩器產(chǎn)生脈沖信號(hào),經(jīng)波形變 換及放大后控制紅外發(fā)光管產(chǎn)生紅外脈沖光線,通過聚焦透鏡將紅外光變?yōu)檩^細(xì) 的紅外光束,射向接收端。 接收裝置由光學(xué)透鏡、紅外光電管、放大整形電路、功率驅(qū)動(dòng)器及執(zhí)行機(jī)構(gòu) 等組成。光電管將接收到的紅外光信號(hào)轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào),經(jīng)整形放大后推動(dòng)執(zhí)行機(jī) 構(gòu)啟動(dòng)報(bào)警設(shè)備。主動(dòng)式紅外報(bào)警器有較遠(yuǎn)的傳輸距離,因紅外線屬于非可見光 源,入侵
量子點(diǎn)紅外探測器的噪聲表征
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4.4
為了表征噪聲對(duì)量子點(diǎn)紅外探測器性能的影響,本文推導(dǎo)了噪聲的理論模型.該模型通過考慮納米尺度電子傳輸和微米尺度電子傳輸對(duì)激發(fā)能的共同影響,并結(jié)合噪聲增益,實(shí)現(xiàn)了對(duì)噪聲的估算.得到的結(jié)果與實(shí)驗(yàn)的數(shù)據(jù)相比,顯示了很好的一致性,從而驗(yàn)證了這個(gè)模型的正確性.
量子阱紅外探測器光敏元參數(shù)測試
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4.5
針對(duì)量子阱紅外探測器(qwip)光敏元靈敏度低,參數(shù)測試條件苛刻的局限,在充分研究其工作原理的前提下,構(gòu)建了其工作環(huán)境,設(shè)計(jì)了多個(gè)參數(shù)的測試方案.在液氮制冷條件下測試了8~9mgaas/algaas量子阱紅外探測器的電阻溫度特性、電流溫度特性,利用電流前放和鎖相放大依次對(duì)qwip的輸出電流信號(hào)進(jìn)行選頻放大,測試其光電流,得到了qwip光敏元電阻與溫度的對(duì)應(yīng)關(guān)系,驗(yàn)證了器件的負(fù)電阻溫度特性,進(jìn)而可以快速判斷探測器光敏元的有效性.測試采用labview8.0進(jìn)行數(shù)據(jù)處理、分析及顯示.通過對(duì)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的分析,qwip的阻抗隨溫度的降低呈指數(shù)上升,暗電流隨著工作溫度的降低而減小,光電流隨著溫度的降低而增大,表明探測器的性能隨工作溫度的降低而逐步增強(qiáng).
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職位:氣體消防工程師
擅長專業(yè):土建 安裝 裝飾 市政 園林