半導(dǎo)體端面泵浦激光簡(jiǎn)介

激光二極管泵浦固體激光器（Diode Pumped Solid state Laser－DPSSL）的種類很多，可以是連續(xù)的、脈沖的、調(diào)Q的，以及加倍頻混頻等非線性轉(zhuǎn)換的。工作物質(zhì)的形狀有圓柱和板條狀的。而泵浦的耦合方式可分為端面泵浦和側(cè)面泵浦，其中端面泵浦又可分為直接端面泵浦和光纖耦合端面泵浦兩種結(jié)構(gòu)。

相對(duì)于側(cè)面泵浦方式，端面泵浦的效率較高。這是因?yàn)?在泵浦激光模式不太差的情況下，泵浦光都能由會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)耦合到工作物質(zhì)中，耦合損失較少；另一方面，泵浦光也有一定的模式，而產(chǎn)生的振蕩光的模式與泵浦光模式有密切關(guān)系，匹配的效果好，因此，工作物質(zhì)對(duì)泵浦光的利用率也相對(duì)高一些。

正是由于端面泵浦方式效率高、模式匹配好、波長(zhǎng)匹配的優(yōu)點(diǎn)近年來(lái)在國(guó)際上發(fā)展極為迅速它在激光打標(biāo)、激光微加工、激光印刷、激光顯示技術(shù)、激光醫(yī)學(xué)和科研等領(lǐng)域都有廣泛的用途，具有很大的市場(chǎng)潛力。

1 .直接端面泵浦

直接端面泵浦的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)部分: 激光二極管泵浦源(由激光二極管陣列、驅(qū)動(dòng)源和致冷器組成) ,光學(xué)耦合系統(tǒng)和激光棒和諧振腔。泵浦所用的激光二極管陣列出射的泵浦光，經(jīng)由會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)將泵浦光耦合到晶體棒上，在晶體棒左端面鍍有多層介質(zhì)膜,對(duì)泵浦光的相應(yīng)波長(zhǎng)為高透、而對(duì)產(chǎn)生的激光束的相應(yīng)波長(zhǎng)為高反,腔的輸出鏡為鍍有多層介質(zhì)膜的凹面鏡。

2.光纖耦合端面泵浦

針對(duì)直接端面泵浦方式的弱點(diǎn)，人們又進(jìn)一步發(fā)展了光纖耦合的端面泵浦。端面泵浦激光器由激光二極管、兩個(gè)聚焦系統(tǒng)、耦合光纖、工作物質(zhì)和輸出反射鏡組成。與直接端面泵浦不同，這種結(jié)構(gòu)首先把激光二極管發(fā)射的光束質(zhì)量很差的激光耦合到光纖中，經(jīng)過(guò)一段光纖傳輸后，從光纖中出射的光束變成發(fā)散角較小的、圓對(duì)稱的、中間部分光強(qiáng)最大的泵浦光束。用這一輸出的泵浦光去泵浦工作物質(zhì)，由于它和振蕩激光在空間上匹配得很好，因此泵浦效率很高。由于激光二極管或二極管陣列與光纖間的耦合較與工作物質(zhì)的耦合容易，從而降低了對(duì)器件調(diào)整的要求。而且最重要的是這種耦合方式能使固體激光器輸出模式好、效率高的激光束。

1 .高功率端面泵浦固體激光器存在的問(wèn)題

在高功率端面泵浦固體激光器中，激光晶體吸收泵浦光而產(chǎn)生的熱效應(yīng)，對(duì)于激光器的穩(wěn)定性、輸出功率及效率、光束質(zhì)量等有著直接影響，這使得端面泵浦設(shè)計(jì)存在高功率擴(kuò)展問(wèn)題。

但是熱效應(yīng)所產(chǎn)生的直接后果--熱透鏡效應(yīng)和退偏，在很大程度上可通過(guò)優(yōu)化腔設(shè)計(jì)加以消除。近年來(lái)就發(fā)展了很多用于提高輸出功率的技術(shù)，如兩路耦合，高功率泵浦源，多個(gè)泵浦源光纖捆匝，多個(gè)增益介質(zhì)的多端面泵浦等等。這些技術(shù)相結(jié)合促進(jìn)了端面泵浦固體激光器的發(fā)展。

2 .幾種高功率端面泵浦固體激光器的介紹

①國(guó)內(nèi)的高功率端面泵浦固體激光器

雙端泵浦雙 Nd∶YVO4 激光器：

在適于激光二極管泵浦的眾多激光晶體中, Nd∶YVO4 晶體因在 1064nm 處的受激發(fā)射截面大,在 808nm處的吸收系數(shù)高,以及吸收譜線寬等參數(shù)均優(yōu)于其它現(xiàn)有的晶體材料,而倍受人們的關(guān)注[1]。

為了提高固體激光器的輸出功率可以利用多個(gè)激光晶體串接的方式。多棒串接實(shí)際上是光束相干合成的一種技術(shù)方案,其優(yōu)點(diǎn)是輸出功率可與棒數(shù)成比例的增加[2], 獲得更大的模體積[3,4]和高的光－光轉(zhuǎn)換效率。研究也同時(shí)表明,采用平行平面腔結(jié)構(gòu),整個(gè)系統(tǒng)可以得到與棒數(shù)成比例的激光輸出,且不會(huì)降低光束質(zhì)量,將兩根或多根 Nd:YAG 晶體串接起來(lái)使用,增加了工作物質(zhì)的長(zhǎng)度,獲得了更大的模體積,從而得到了高功率的輸出[5]。

雙Nd∶YVO4 晶體激光器,將晶體的端面鍍膜作為諧振腔的端面鏡,構(gòu)成了平行平面諧振腔。對(duì)平行平面諧振腔等效腔進(jìn)行理論分析后得出激光晶體吸收泵浦光產(chǎn)生的熱透鏡效應(yīng)對(duì)保持腔的穩(wěn)定性起到了重要的作用，使得等效腔迅速達(dá)到其幾何的穩(wěn)定腔[6]，在發(fā)展輸出功率為數(shù)百瓦至數(shù)千瓦量級(jí)的高功率固體激光器中,常采用多棒串接的技術(shù)方案。

在國(guó)內(nèi)首次進(jìn)行了雙端泵浦雙 Nd∶YVO4 激光器的實(shí)驗(yàn)研究,在抽運(yùn)功率為 20.74W 時(shí)獲得了 11W 的 1064nm TEM00 模激光輸出,其光-光轉(zhuǎn)化效率約為 53% 。

二極管端面泵浦混合腔Nd:YVO4 板條激光器：

近年來(lái)關(guān)于端面泵浦固體激光器的研究熱點(diǎn)之一，是如何有效地對(duì)激光晶體進(jìn)行冷卻，降低熱效應(yīng)的影響，從而在得到高功率的激光輸出的同時(shí)，又保證好的光束質(zhì)量。在眾多的研究工作中，采用了板條或者薄片狀的激光晶體，由于對(duì)其進(jìn)行大面積的冷卻的方法，取得了令人矚目的成就。

新型的混合腔板條激光器不但具備板條激光器高效冷卻的優(yōu)點(diǎn)，更具有傳統(tǒng)板條激光器所不具備的優(yōu)勢(shì)。它利用薄的片狀晶體（1mm）來(lái)做激光器的增益介質(zhì)，片狀晶體的兩個(gè)表面都被緊貼在熱沉上，結(jié)合混合腔，使其輸出光束的遠(yuǎn)場(chǎng)近似為高斯分布，具備很好的光束質(zhì)量[8]。

采用這種新型的板條激光器結(jié)構(gòu)，在國(guó)內(nèi)實(shí)現(xiàn)了此類激光器的連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，得到了波長(zhǎng)為

1064nm 穩(wěn)定的連續(xù)激光輸出，當(dāng)泵浦功率為 60.5W 時(shí)，輸出功率達(dá)到 16.2W 。

板條激光器諧振腔由一個(gè)凹面鏡和一個(gè)柱面鏡組成，其中凹面鏡為后腔鏡，曲率半徑 250mm ，鍍有 808nm 的增透膜和 1064nm 的全反膜；柱面鏡為前腔鏡，并耦合輸出激光，曲率半徑 150mm ，鍍有 1064nm的全反膜，兩腔鏡，放于共焦位置，腔長(zhǎng)為 50mm 。[9]

②近年來(lái)國(guó)外的高功率端面泵浦固體激光器

端面泵浦高功率運(yùn)轉(zhuǎn)固體激光器：

美國(guó)加州大學(xué)端面泵浦高功率運(yùn)轉(zhuǎn)固體激光器[10]是美國(guó)加州大學(xué)和美國(guó)Lawrence Livermore國(guó)家實(shí)驗(yàn)室合作，在1999年，進(jìn)一步提高光束質(zhì)量之后，采用 LD 端泵Yb:YAG棒獲得 200W 連續(xù)波和重復(fù)頻率 5kHz、195W 調(diào) Q 輸出，在光束質(zhì)量 M2=2.4 時(shí)獲得183W 調(diào) Q 輸出。同時(shí)增加了諧振腔設(shè)計(jì)的靈活性，運(yùn)用腔內(nèi)雙折射補(bǔ)償?shù)玫狡窆廨敵?，提高了效率，得到光束質(zhì)量 M2=3.2的112W連續(xù)波偏振光輸出。[11]

二極管列陣端面泵浦Yb:TAG固體激光器：

。實(shí)驗(yàn)中的泵浦源是由36個(gè)帶微柱透鏡的LD bars構(gòu)成，每個(gè)bar的長(zhǎng)度為15mm，采用硅基質(zhì)的微溝道制冷。泵浦模塊分為上下兩部分，激光由中間的一個(gè)直徑為6mm的圓孔通過(guò)。半導(dǎo)體列陣發(fā)出的泵浦光通過(guò)一個(gè)耦合透鏡，進(jìn)入晶體。耦合透鏡是由熔融石英制成的柱面透鏡與中間掏空的鍥形鋁光傳導(dǎo)管組成。在石英透鏡的中間開(kāi)有一個(gè)小孔，允許激光順利通過(guò)。鋁管內(nèi)表面呈四棱臺(tái)狀，且鍍有薄薄的一層銀用來(lái)反射泵浦光。該耦合透鏡可以將兩束 50×15mm2 的泵浦光會(huì)聚成 4.6×2.6mm2 的長(zhǎng)形光斑，壓縮比為63。為了減少裝置設(shè)計(jì)帶來(lái)的損耗，該實(shí)驗(yàn)中的晶體為復(fù)合棒結(jié)構(gòu)，即在晶體棒的兩端有兩個(gè)長(zhǎng)為 15mm 端帽，端帽中沒(méi)有摻雜激活離子，端帽的一端為與泵浦光的形狀相匹配的矩形，一端為與晶體棒相粘接的圓形。此外，晶體四周被拋光，且晶體棒中心處的直徑為2mm ，長(zhǎng)為50mm，由中心向兩端，直徑逐漸增加，與兩個(gè)端帽銜接處的直徑為2.2mm。此設(shè)計(jì)可以有效地減少由于拋光所引起的放大的自發(fā)輻射損耗以及寄生振蕩損耗。當(dāng)采用了可以進(jìn)行熱致雙折射補(bǔ)償?shù)碾p棒泵浦腔結(jié)構(gòu)之后，便獲得了1080W 的基頻輸出,光光效率為27.5% ，電光效率為 12.3%。

半導(dǎo)體端面泵浦激光國(guó)內(nèi)外高功率端面泵浦固體激光器的應(yīng)用

在應(yīng)用上，端面泵浦固體激光器以材料加工為主，包括了常規(guī)的激光加工：主要是材料加工，如激光標(biāo)記、激光焊接、激光切割和打孔等。結(jié)構(gòu)緊湊、性能良好、工作可靠的端面泵浦固體激光打標(biāo)機(jī)產(chǎn)品系列已經(jīng)在國(guó)內(nèi)得到了規(guī)模應(yīng)用，激光微加工、激光精密加工也都有廣泛推廣的趨勢(shì)。在國(guó)外，千瓦級(jí)的二極管端面泵浦固體激光器已有產(chǎn)品，主要受限于成本和市場(chǎng)需求的限制。

除材料加工外，大功率二極管端面泵浦固體激光器還可以用于激光核聚變、科學(xué)研究、醫(yī)療、檢測(cè)、分析、通訊、投影顯示以及軍事國(guó)防等領(lǐng)域，因而具有極其重要的應(yīng)用價(jià)值。

半導(dǎo)體端面泵浦激光結(jié)束語(yǔ)

我國(guó)在低功率端面泵浦固體激光器(< 200mw)技術(shù)比較成熟，產(chǎn)業(yè)化(光通訊應(yīng)用較多)也蓬勃發(fā)展。但是國(guó)外端面泵浦固體激光器市場(chǎng)化水平已經(jīng)達(dá)到數(shù)百瓦，實(shí)驗(yàn)室水平已經(jīng)達(dá)到千瓦級(jí)。而國(guó)內(nèi)的大功率端面泵浦固體激光器發(fā)展一直具有局限性，應(yīng)該積極進(jìn)行這方面的研究,如果能實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的發(fā)展,則必將帶來(lái)巨大的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。

產(chǎn)品特點(diǎn)

半導(dǎo)體泵浦激光打標(biāo)機(jī)技術(shù)先進(jìn)，電光轉(zhuǎn)換效率高，光束質(zhì)量好，適用各種金屬和多種非金屬材料打標(biāo)。 JMJB-EP10型半導(dǎo)體端面泵浦激光打標(biāo)機(jī)，光模式好，功耗低，特別適用于精細(xì)、精度要求很高的場(chǎng)合。

應(yīng)用領(lǐng)域

電子元器件、芯片、手機(jī)通訊、面板、精密器械、五金工具、量具、汽車零部件等。2100433B

工業(yè)激光設(shè)備如：激光打標(biāo)機(jī)、鐳雕機(jī)、激光雕刻機(jī)、激光劃片機(jī)等常用的端面泵浦激光器一般都是采用波長(zhǎng)為532nm以及808nm的半導(dǎo)體端面泵浦激光器。

半導(dǎo)體激光器可分為側(cè)面泵浦激光器和端面泵浦激光器兩種。相對(duì)于側(cè)面泵浦方式，端面泵浦的效率較高。這是因?yàn)?在泵浦激光模式不太差的情況下，泵浦光都能由會(huì)聚光學(xué)系統(tǒng)耦合到工作物質(zhì)中，耦合損失較少；另一方面，泵浦光也有一定的模式，而產(chǎn)生的振蕩光的模式與泵浦光模式有密切關(guān)系，匹配的效果好，因此，工作物質(zhì)對(duì)泵浦光的利用率也相對(duì)高一些。

正是由于端面泵浦方式效率高、模式匹配好、波長(zhǎng)匹配的優(yōu)點(diǎn)在國(guó)際上發(fā)展極為迅速，已成為激光學(xué)科的重點(diǎn)發(fā)展方向之一。它在激光打標(biāo)、激光微加工、激光印刷、激光顯示技術(shù)、激光醫(yī)學(xué)和科研等領(lǐng)域都有廣泛的用途，具有很大的市場(chǎng)潛力。

端面泵浦激光設(shè)備諧振腔，采用折疊腔的模式，在保證激光諧振腔體長(zhǎng)度的情況下，有效減少腔體物理體積。端面泵浦和側(cè)面泵浦激光器的內(nèi)部組成基本相同，由各種光學(xué)鏡片組合，最終形成激光輸

光路系統(tǒng) 側(cè)面泵浦和端面泵浦的區(qū)分，端面泵浦和側(cè)面泵浦激光器的根本區(qū)分在泵浦源的激勵(lì)方式不同，泵浦源是激勵(lì)發(fā)光晶體的側(cè)面還是端面來(lái)判定。本質(zhì)上都是激勵(lì)晶體物質(zhì)發(fā)光，通過(guò)諧振，最終輸出激光。