CCD平面度測試儀技術(shù)規(guī)格

"CCD光度計"是天文學(xué)專有名詞。來自中國天文學(xué)名詞審定委員會審定發(fā)布的天文學(xué)專有名詞中文譯名，詞條譯名和中英文解釋數(shù)據(jù)版權(quán)由天文學(xué)名詞委所有。

平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。

平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面 度誤差值;或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。

平面度誤差測量的常用方法有如下幾種:

1、平晶干涉法:用光學(xué)平晶的工作面體現(xiàn)理想平面，直接以干涉條紋的彎曲程度確定被測表面的平面度誤差值。主要用于測量小平面，如量規(guī)的工作面和千分尺測頭測量面的平面度誤差。

平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。

光波干涉法常利用平晶進行，圖為測量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說明被檢驗表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。平面是由直線組成的，因此直線度測量中直尺法、光學(xué)準(zhǔn)直法、光學(xué)自準(zhǔn)直法、重力法等也適用于測量平面度誤差。測量平面度時，先測出若干截面的直線度，再把各測點的量值按平面度公差帶定義(見形位公差)利用圖解法或計算法進行數(shù)據(jù)處理即可得出平面度誤差。也有利用光波干涉法和平板涂色法測量平面誤差的。

光波干涉法常利用平晶進行，圖為測量所得的不同干涉條紋。圖中a的干涉條紋是直的,而且間距相等,只在周邊上稍有彎曲。這說明被檢驗表面是平的，但與光學(xué)平晶不平行,而且在圓周部分有微小的偏差。圖中b的干涉條紋彎曲而且間隔不相等，表明被檢驗表面是球形的,平晶有微小傾斜。條紋彎曲度約為條紋間距的1.5倍,表示平面度誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中c的干涉條紋呈圓形，同樣表明被檢驗表面是球形表面。將條紋數(shù)目乘以所用光束波長的一半，即得所求的平面誤差為1.5×0.3μm=0.45μm。圖中d的干涉條紋成橢圓形排列，說明被檢驗表面是桶形的。可以把干涉圖案作為被檢驗表面的等高線,因此可以畫出該表面的形狀。這種方法僅適宜測量高光潔表面，測量面積也較小，但測量精確度很高。

2、打表測量法:打表測量法是將被測零件和測微計放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計沿實際表面逐點或沿幾條直線方向進行測量。打表測量法按評定基準(zhǔn)面分為三點法和對角線法:三點法是用被測實際表面上相距最遠(yuǎn)的三點所決定的理想平面作為評定基準(zhǔn)面，實測時先將被測實際表面上相距最遠(yuǎn)的三點調(diào)整到與標(biāo)準(zhǔn)平板等高;對角線法實測時先將實際表面上的四個角點按對角線調(diào)整到兩兩等高。然后用測微計進行測量，測微計在整個實際表面上測得的最大變動量即為該實際表面的平面度誤差。

3、液平面法:液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面，液平面由 "連通罐"內(nèi)的液面構(gòu)成，然后用傳感器進行測量。此法主要用于測量大平面的平面度誤差。

4、光束平面法:光束平面法是采用準(zhǔn)值望遠(yuǎn)鏡和瞄準(zhǔn)靶鏡進行測量，選擇實際表面上相距最遠(yuǎn)的三個點形成的光束平面作為平面度誤差的測量基準(zhǔn)面。

5、激光平面度測量儀:激光平面度測量儀用于測量大型平面的平面度誤差 。

6、利用數(shù)據(jù)采集儀連接百分表測量平面度誤差的方法 。

測量儀器:偏擺儀、百分表、數(shù)據(jù)采集儀。

測量原理:數(shù)據(jù)采集儀可從百分表中實時讀取數(shù)據(jù)，并進行平面度誤差的計算與分析，平面度誤差計算工式已嵌入我們的數(shù)據(jù)采集儀軟件中，完全不需要人工去計算繁瑣的數(shù)據(jù)，可以大大提高測量的準(zhǔn)確率。

1)無需人工用肉眼去讀數(shù)，可以減少由于人工讀數(shù)產(chǎn)生的誤差;

2)無需人工去處理數(shù)據(jù)，數(shù)據(jù)采集儀會自動計算出平面度誤差值;

3)測量結(jié)果報警，一旦測量結(jié)果不在平面度公差帶時，數(shù)據(jù)采集儀就會自動報警。